一种用于低应力低氧化处理的高温高真空退火装置制造方法及图纸

一种用于低应力低氧化处理的高温高真空退火装置，包括氮气装置、真空冷却箱、排真空回收和发散装置，所述氮气装置包括氮气储存装置、氮气解压装置、调压排送装置，三者依次串联在氮气输送管上，氮气装置和排真空回收和发散装置连接在真空冷却箱上；真空冷却箱包括至少两只真空箱，两者并列设置，两者之间设置进气分气管，所述真空箱还设置有排气管和交换管，一只真空箱与另一只并列设置的真空箱的交换管都连接在它们之间的气体交换装置中；排真空回收和发散泵组其中至少2组为氮气排真空回收和发散泵，3组为空气排真空回收和发散泵，所述排真空回收和发散泵的所有进出气管都串联在主抽气管和主排放管上。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及热处理装置领域，具体为一种用于低应力低氧化处理的高温高真空退火装置。
技术介绍
高温高真空退火装置是晶振制造过程中的一种冷却装置，它能满足该冷却要求，但真空加工下还是应密封度和温度等原因产生真空环境需要大量的限制条件，从而造成的成本上升，所以我们需要能多批量生产的真空退火装置。
技术实现思路
本技术的目的是设计一种用于低应力低氧化处理的高温高真空退火装置，拥有两个或两个以上的真空箱，能轮流或共同进行冷却处理，并且可以更加节约的利用冷却气体。本技术是通过下述技术方案实现的：一种用于低应力低氧化处理的高温高真空退火装置，包括氮气装置、真空冷却箱、排真空回收和发散装置，所述氮气装置包括氮气储存装置、氮气解压装置、调压排送装置，三者依次串联在氮气输送管上，氮气装置和排真空回收和发散装置连接在真空冷却箱上；真空冷却箱包括至少两只真空箱，两者并列设置，两者之间设置进气分气管，所述真空箱还设置有排气管和交换管，一只真空箱与另一只并列设置的真空箱的交换管都连接在它们之间的气体交换装置中，所述气体交换装置，包括气泵和气体暂存仓，所述气体交换装置也设置有排气管；所述排气管连接排真空回收和发散装置，所述排气管和交换管、进气分气管上都设置有气泵；所述真空回收和发散装置包括若干组排真空回收和发散泵组、氮气适力装置，所述氮气适力装置设置连接在输送真空冷却箱和排真空回收和发散泵组之间，氮气适力装置包括T形分气管和设置在T型输气管左边的压力泵，以及右边的适压泵组成，适压泵通过内排送管连接到真空回收和发散装置上，压力泵通过单循环管连接到适压泵；排真空回收和发散泵组其中至少2组为氮气排真空回收和发散泵，3组为空气排真空回收和发散泵，所述排真空回收和发散泵的所有进出气管都串联在主抽气管和主排放管上。作为优选所述氮气排真空回收和发散泵由调压泵、解压泵、氮气过滤装置、氮气储存筒组成，所述空气辅助排真空回收和发散泵由空气调压泵、空气解压泵，空气过滤装置、空气排出泵组成。作为优选所述真空冷却箱和排真空回收和发散装置之间还设置有冷压缩机。本技术与
技术介绍
相比，具有的有益的效果是：拥有两个或两个以上的真空箱，能轮流或共同进行冷却处理，并且可以更加节约的利用冷却气体，可以任一控制一个真空箱进行使用，也可以控制2个真空箱进行使用，2个或2个真空箱进行使用的时候是一定会有一定时间间隔进行开箱和进料的，所以本装置能解除这个空隙时间中的同步排气和进气的问题，也能降多于的气体补气到旁边的一个真空箱中。附图说明图1 为本技术整体组合图。具体实施方式下面通过实施例，结合附图，对本技术的技术方案作进一步具体的说明：如图1所示，一种用于低应力低氧化处理的高温高真空退火装置，包括氮气装置（1）、真空冷却箱（2）、排真空回收和发散装置（3），所述氮气装置包括氮气储存装置（4）、氮气解压装置（5）、调压排送装置（6）,三者依次串联在氮气输送管（7）上，氮气装置和排真空回收和发散装置连接在真空冷却箱上；真空冷却箱包括至少两只真空箱（8），两者并列设置，两者之间设置进气分气管（9），所述真空箱还设置有排气管（10）和交换管（11），一只真空箱与另一只并列设置的真空箱的交换管都连接在它们之间的气体交换装置（12）中，所述气体交换装置，包括气泵（13）和气体暂存仓（14），所述气体交换装置也设置有排气管；所述排气管连接排真空回收和发散装置，所述排气管、交换管、进气分气管上都设置有气泵（15）；所述真空回收和发散装置包括若干组排真空回收和发散泵组（16）、氮气适力装置（17），所述氮气适力装置设置连接在输送真空冷却箱和排真空回收和发散泵组之间，氮气适力装置包括T形分气管（18）和设置在T型输气管左边的压力泵（19），以及右边的适压泵（20）组成，适压泵通过内排送管（21）连接到真空回收和发散装置上，压力泵通过单循环管（22）连接到适压泵；排真空回收和发散泵组其中至少2组为氮气排真空回收和发散泵（23），3组为空气排真空回收和发散泵（24），所述排真空回收和发散泵的所有进出气管都串联在主抽气管（25）和主排放管（26）上。作为优选所述氮气排真空回收和发散泵由调压泵、解压泵、氮气过滤装置、氮气储存筒组成，所述空气辅助排真空回收和发散泵由空气调压泵、空气解压泵，空气过滤装置、空气排出泵组成。作为优选所述真空冷却箱和排真空回收和发散装置之间还设置有冷压缩机（27）。本文中所描述的具体实施例仅仅是对本技术精神作举例说明。本技术所属
的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本技术的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于低应力低氧化处理的高温高真空退火装置，其特征是：包括氮气装置（1）、真空冷却箱（2）、排真空回收和发散装置（3），所述氮气装置包括氮气储存装置（4）、氮气解压装置（5）、调压排送装置（6）,三者依次串联在氮气输送管（7）上，氮气装置和排真空回收和发散装置连接在真空冷却箱上；真空冷却箱包括至少两只真空箱（8），两者并列设置，两者之间设置进气分气管（9），所述真空箱还设置有排气管（10）和交换管（11），一只真空箱与另一只并列设置的真空箱的交换管都连接在它们之间的气体交换装置（12）中，所述气体交换装置，包括气泵（13）和气体暂存仓（14），所述气体交换装置也设置有排气管；所述排气管连接排真空回收和发散装置，所述排气管、交换管、进气分气管上都设置有气泵（15）；所述真空回收和发散装置包括若干组排真空回收和发散泵组（16）、氮气适力装置（17），所述氮气适力装置设置连接在输送真空冷却箱和排真空回收和发散泵组之间，氮气适力装置包括T形分气管（18）和设置在T型输气管左边的压力泵（19），以及右边的适压泵（20）组成，适压泵通过内排送管（21）连接到真空回收和发散装置上，压力泵通过单循环管（22）连接到适压泵；排真空回收和发散泵组其中至少2组为氮气排真空回收和发散泵（23），3组为空气排真空回收和发散泵（24），所述排真空回收和发散泵的所有进出气管都串联在主抽气管（25）和主排放管（26）上。...

【技术特征摘要】
1.一种用于低应力低氧化处理的高温高真空退火装置，其特征是：包括氮气装置（1）、真空冷却箱（2）、排真空回收和发散装置（3），所述氮气装置包括氮气储存装置（4）、氮气解压装置（5）、调压排送装置（6）,三者依次串联在氮气输送管（7）上，氮气装置和排真空回收和发散装置连接在真空冷却箱上；真空冷却箱包括至少两只真空箱（8），两者并列设置，两者之间设置进气分气管（9），所述真空箱还设置有排气管（10）和交换管（11），一只真空箱与另一只并列设置的真空箱的交换管都连接在它们之间的气体交换装置（12）中，所述气体交换装置，包括气泵（13）和气体暂存仓（14），所述气体交换装置也设置有排气管；所述排气管连接排真空回收和发散装置，所述排气管、交换管、进气分气管上都设置有气泵（15）；所述真空回收和发散装置包括若干组排真空回收和发散泵组（16）、氮气适力装置（17），所述氮气适力装置设置连接在输送真空冷却箱...

【专利技术属性】
技术研发人员：汤海燕，
申请(专利权)人：汇隆电子金华有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33