蒸镀装置和托盘保持件制造方法及图纸

提供蒸镀装置和托盘保持件，对工件均匀进行蒸镀、并且进一步提高了生产效率。本发明专利技术的托盘保持件具有：框架，其具有第1旋转部件(1101)；以及旋转部(1200)，其具有第2旋转部件(1211)，并被安装成能够与所述第2旋转部件一起绕被所述框架支承的轴(1213)旋转。所述旋转部具有绕所述轴配置的多个工件保持用托盘(1251A、1251B、1251C)，所述第2旋转部件构成为，通过所述第1旋转部件与所述旋转部一起旋转。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及蒸镀装置和托盘保持件。
技术介绍
作为一例，蒸镀装置被用于在透镜等光学元件的表面形成反射防止膜。蒸镀装置包括用于释放出形成膜的物质的蒸镀源、和覆盖蒸镀源并能够绕中心轴旋转的拱顶。在拱顶上安装有多个托盘，在各个托盘上安装有多个工件，例如透镜。利用上述蒸镀装置来处理工件的工艺包括蒸镀准备步骤和蒸镀步骤。蒸镀准备步骤包括：在蒸镀装置上安装工件；准备蒸镀源；以及生成蒸镀用环境。在蒸镀步骤中，在蒸镀用环境中从蒸镀源释放出的物质到达安装于拱顶的工件，形成该物质的膜。在蒸镀准备步骤中，蒸镀装置的动作被中断。因此，为了提高蒸镀装置的生产效率，需要缩短由于蒸镀准备步骤造成的蒸镀装置的中断时间。在现有技术中，开发了如下的蒸镀装置：其构成为将拱顶分割为多个片段，使在双面安装了工件的该片段翻转(例如，专利文献1的图2和图6)。利用上述结构，能够缩短由于蒸镀准备步骤造成的蒸镀装置的中断时间，提高生产效率。但是，在上述结构中，无法相对于蒸镀源以适当的角度配置工件。因此，无法对多个工件均匀进行蒸镀。并且，蒸镀装置的生产效率的提高也不充分。专利文献1：日本特开2011-179102号公报因此，对于对多个工件均匀进行蒸镀、并且进一步提高了生产效率的蒸镀装置和托盘保持件存在需求。
技术实现思路
本专利技术的第1方式的托盘保持件具有：框架，其具有第1旋转部件；以及旋转部，其具有第2旋转部件，并被安装成能够与所述第2旋转部件一起绕被所述框架支承的轴旋转。所述旋转部具有绕所述轴配置的多个工件保持用托盘，所述第2旋转部件构
成为，通过所述第1旋转部件与所述旋转部一起旋转。本方式的托盘保持件能够对工件保持用托盘进行切换，其中，该工件保持用托盘配置成在安装到蒸镀装置的拱顶的开口中时，通过拱顶的旋转，其面覆盖拱顶的开口。因此，能够缩短由于蒸镀准备步骤造成的蒸镀装置的中断时间，提高蒸镀装置的生产效率。本专利技术的第2方式的蒸镀装置具有：蒸镀源；能够旋转的拱顶，其覆盖所述蒸镀源，并具有至少一个开口；至少一个第1杆，其设置于所述拱顶的外侧；以及至少一个托盘保持件，该托盘保持件具有：框架，其具有第1旋转部件；以及旋转部，其具有第2旋转部件，并被安装成能够与所述第2旋转部件一起绕被所述框架支承的轴旋转。所述旋转部具有绕所述轴配置的多个工件保持用托盘，所述托盘保持件以所述多个工件保持用托盘中的1个工件保持用托盘的面覆盖所述至少一个开口的方式设置于所述拱顶，所述至少一个第1杆构成为，能够处于在所述拱顶的旋转中不与所述第1旋转部件接触的待机位置、和在所述拱顶的旋转中能够与所述第1旋转部件接触的工作位置，所述第1旋转部件构成为，在所述至少一个第1杆处于工作位置的情况下，在所述拱顶的旋转中，通过与所述至少一个第1杆接触而进行旋转，所述第2旋转部件构成为，以在所述拱顶的旋转中，对配置成其面覆盖所述开口的工件保持用托盘进行切换的方式，通过所述第1旋转部件与所述旋转部一起旋转。在本方式的蒸镀装置中，托盘保持部具有多个工件保持用托盘，且能够通过拱顶的旋转，对配置成其面覆盖拱顶的开口的工件保持用托盘进行切换。因此，能够缩短由于蒸镀准备步骤造成的蒸镀装置的中断时间，提高蒸镀装置的生产效率。此外，由于拱顶的形状与以往的蒸镀装置没有区别，所以能够与以往的蒸镀装置同样地进行均匀的蒸镀。本专利技术的第2方式的第1实施方式的蒸镀装置还具有：设置在所述拱顶的外侧的至少一个第1检测用触点，所述旋转部还具有托盘显示用触点，该托盘显示用触点分别与所述多个工件保持用托盘对应，在所述拱顶的旋转中，与所述至少一个第1检测用触点接触。根据本实施方式，能够在拱顶的旋转中，检测托盘保持件内的托盘的相对位置。因此，能够在拱顶的旋转中，针对安装于拱顶的所有托盘保持件，确认托盘的切换动作。本专利技术的第2方式的第2实施方式的蒸镀装置还具有设置在所述拱顶的外侧的至少一个第2杆，所述旋转部具有分别与所述多个工件保持用托盘对应的第3旋转部件，所述多个工件保持用托盘分别具有第4旋转部件，并被安装成能够与所述第4旋转部件一起绕被所述旋转部支承的轴旋转，所述至少一个第2杆构成为，能够处于在所述拱顶的旋转中不与所述第3旋转部件接触的待机位置、和在所述拱顶的旋转中能够与所述第3旋转部件接触的工作位置，所述第3旋转部件构成为，在所述至少一个第2杆处于工作位置的情况下，在所述拱顶的旋转中，通过与所述至少一个第2杆接触而进行旋转，所述第4旋转部件构成为，以分别使所述多个工件保持用托盘翻转的方式，分别通过所述第3旋转部件与所述多个工件保持用托盘一起旋转。在本实施方式的蒸镀装置中，能够在拱顶的旋转中，分别使安装于托盘保持件的多个工件保持用托盘翻转。因此，在托盘的双面安装工件，在安装于一个面的工件的处理结束之后，使托盘翻转，对安装于另一个面的工件进行处理，由此能够进一步提高蒸镀装置的生产效率。本专利技术的第2方式的第3实施方式的蒸镀装置还具有设置在所述拱顶的外侧的至少一个第2检测用触点，所述多个工件保持用托盘还分别具有托盘面显示用触点，该托盘面显示用触点在所述拱顶的旋转中，与所述至少一个第2检测用触点接触。根据本实施方式，能够在拱顶的旋转中检测托盘面。因此，能够在拱顶的旋转中，针对安装于拱顶的所有托盘保持件，确认托盘的翻转动作。本专利技术的第2方式的第4实施方式的蒸镀装置还具有设置在所述拱顶的外侧的第3检测用触点，至少一个工件保持用托盘保持件包括多个工件保持用托盘保持件，所述多个工件保持用托盘保持件中的一个还具有至少一个旋转基准位置显示用触点，该至少一个旋转基准位置显示用触点在所述拱顶的旋转中，与所述第3检测用触点接触。根据本实施方式，能够在拱顶的旋转中检测拱顶的旋转基准位置。因此，能够针对安装于拱顶的所有托盘保持件，可靠地进行托盘的切换动作和托盘的翻转动作。在本专利技术的第2方式的第5实施方式的蒸镀装置中，所述旋转部具有3个工件保持用托盘。附图说明图1是示出本专利技术的蒸镀装置的结构的图。图2是用于说明本专利技术的蒸镀装置的特征性结构的图。图3是托盘保持件的主视图。图4是托盘保持件的侧视图。图5是托盘保持件的后视图。图6是用于说明本专利技术的蒸镀装置进行的蒸镀工艺的流程图。图7是用于说明以往的蒸镀装置和本专利技术的蒸镀装置进行的蒸镀准备工艺和蒸镀工艺的图。图8是用于说明利用旋转部的旋转进行的托盘切换动作的流程图。图9是用于说明托盘的翻转动作的流程图。图10A是用于说明旋转部旋转120度的动作的图。图10B是用于说明旋转部旋转120度的动作的图。图10C是用于说明旋转部旋转120度的动作的图。图10D是用于说明旋转部旋转120度的动作的图。图10E是用于说明旋转部旋转120度的动作的图。图10F是用于说明旋转部旋转120度的动作的图。图10G是用于说明旋转部旋转120度的动作的图。图10H是用于说明旋转部旋转120度的动作的图。图10I是用于说明旋转部旋转120度的动作的图。图10J是用于说明旋转部旋转120度的动作的图。图10K是用于说明旋转部旋转120度的动作的图。图10L是用于说明旋转部旋转120度的动作的图。图11A是用于说明托盘旋转180度的动作的图。图11B是用于说明托盘旋转180度的动作的图。图11C是用于说明托盘旋转180度的动作的图。图1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种托盘保持件，其具有：框架，其具有第1旋转部件；以及旋转部，其具有第2旋转部件，并被安装成能够与所述第2旋转部件一起绕被所述框架支承的轴旋转，在所述托盘保持件中，所述旋转部具有绕所述轴配置的多个工件保持用托盘，所述第2旋转部件构成为，通过所述第1旋转部件与所述旋转部一起旋转。

【技术特征摘要】
1.一种托盘保持件，其具有：框架，其具有第1旋转部件；以及旋转部，其具有第2旋转部件，并被安装成能够与所述第2旋转部件一起绕被所述框架支承的轴旋转，在所述托盘保持件中，所述旋转部具有绕所述轴配置的多个工件保持用托盘，所述第2旋转部件构成为，通过所述第1旋转部件与所述旋转部一起旋转。2.一种蒸镀装置，其具有：蒸镀源；能够旋转的拱顶，其覆盖所述蒸镀源，并具有至少一个开口；至少一个第1杆，其设置于所述拱顶的外侧；以及权利要求1所述的托盘保持件，所述托盘保持件以所述多个工件保持用托盘中的1个工件保持用托盘的面覆盖所述至少一个开口的方式设置于所述拱顶，所述至少一个第1杆构成为，能够处于在所述拱顶的旋转中不与所述第1旋转部件接触的待机位置、和在所述拱顶的旋转中能够与所述第1旋转部件接触的工作位置，所述第1旋转部件构成为，在所述至少一个第1杆处于工作位置的情况下，在所述拱顶的旋转中，通过与所述至少一个第1杆接触而进行旋转，所述第2旋转部件构成为，以在所述拱顶的旋转中，对配置成其面覆盖所述开口的工件保持用托盘进行切换的方式，通过所述第1旋转部件与所述旋转部一起旋转。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其中，所述蒸镀装置还具有设置在所述拱顶的外侧的至少一个第1检测用触点，所述旋转部还具有托盘显示用触点，该托盘显示用触点分别与所述多个工件保持用托盘对应，在所述拱顶的旋转中，与所述至少一个第1检测用触点接触。4.根据权利要求2或3所述的蒸镀装置，其中，所述蒸镀装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：樋口俊郎，上野博，木村仁，
申请(专利权)人：纳卢克斯株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP