本实用新型专利技术公开了一种金刚石电镀设备上的带搅拌的扬砂装置,该装置包括安装在机架内的储备槽和安装在机架外的工艺槽,储备槽的槽口处安设有多个立式扬砂泵;且每个扬砂泵的进口与储备槽相连通,且每个扬砂泵的出口均与工艺槽槽底内的喷砂管相连通;储备槽内安装有第一搅拌机构,工艺槽的顶部内安装有第二搅拌机构;扬砂泵工作后,储备槽内的药水通过第一搅拌机构一次搅拌后送到工艺槽内进行二次搅拌,搅拌后的药水通过喷砂管喷出。本实用新型专利技术通过立式扬砂泵和工艺槽内的喷砂管来实现喷洒药水,且储备槽与工艺槽内均设置有对药水进行搅拌的搅拌机构,通过搅拌机构实现扬砂,进而保证扬砂均匀,不容易留下死角,且金刚石磨料不会堆积在一起。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电镀设备领域,尤其涉及一种金刚石电镀设备上的带搅拌的扬砂装置。
技术介绍
随着国家新能源战略计划的制定和实施及半导体行业的发展,尤其是太阳能电池对大尺寸的需求越来越大,对硅片的厚度不断降低,对切割精度越来越高,从而对金刚石线锯的生产设备要求也越来越高。金刚石线锯在生产时,需要把带有金刚石磨料的药水送到工艺槽内,而金刚石磨料具有密度高、黏度高等特点。目前在金刚石电镀设备的扬砂装置都是用卧式泵输送到工艺槽内,再通过空气搅拌来实现扬砂。采用此种方法容易留下死角,金刚石磨料容易堆积在一起。
技术实现思路
针对上述技术中存在的不足之处,本技术提供一种扬砂均匀及不留死角的金刚石电镀设备上的带搅拌的扬砂装置。为实现上述目的,本技术提供一种金刚石电镀设备上的带搅拌的扬砂装置,包括安装在机架内的储备槽和安装在机架外的工艺槽,所述储备槽的槽口处安设有多个立式扬砂泵;且每个扬砂泵的进口与储备槽相连通,且每个扬砂泵的出口均与工艺槽槽底内的喷砂管相连通;所述储备槽内安装有第一搅拌机构,所述工艺槽的顶部内安装有第二搅拌机构;扬砂泵工作后,储备槽内的药水通过第一搅拌机构一次搅拌后送到工艺槽内进行二次搅拌,搅拌后的药水通过喷砂管喷出。其中,所述储备槽的槽口处可拆卸连接有槽盖,所述储备槽内安装有对药水进行加热的加热管;且所述加热管从槽盖底端延伸至储备槽的槽底处。其中,所述第一搅拌机构包括第一搅拌电机、传动轴和一侧均固定在传动轴上的多片第一搅拌叶片,所述第一搅拌电机与传动轴驱动连接后带动第一搅拌叶片转动。其中,所述第二搅拌机构包括安装在工艺槽的槽盖处的第二搅拌电机和与第二搅拌电机驱动连接的多片T字型第二搅拌叶片,所述多片第二搅拌叶片的上端位于工艺槽的顶部;第二搅拌电机驱动多片第二搅拌叶片进行转动。其中,每个扬砂泵均通过固定板安装在储备槽的槽盖上。本技术的有益效果是:与现有技术相比,本技术提供的金刚石电镀设备上的带搅拌的扬砂装置,采用立式扬砂泵,扬砂泵的进口与储备槽相连通,且出口与喷砂管相连通,通过扬砂泵和槽内的喷砂管来实现喷洒药水,且储备槽与工艺槽内均设置有对药水进行搅拌的搅拌机构,通过搅拌机构实现扬砂,进而保证扬砂均匀,不容易留下死角,且金刚石磨料不会堆积在一起。附图说明图1为本技术的金刚石电镀设备上的带搅拌的扬砂装置的结构图;图2为图1的剖视图。主要元件符号说明如下:10、机架 11、储备槽12、工艺槽 13、扬砂泵14、喷砂管 15、第一搅拌机构16、第二搅拌机构 17、储备槽的槽盖18、加热管 19、固定板151、第一搅拌电机 152、传动轴153、第二搅拌叶片 161、第二搅拌电机162、第二搅拌叶片。具体实施方式为了更清楚地表述本技术,下面结合附图对本技术作进一步地描述。请参阅图1-2,本技术提供的金刚石电镀设备上的带搅拌的扬砂装置,包括安装在机架10内的储备槽11和安装在机架外的工艺槽12,储备槽11的槽口处安设有多个立式扬砂泵13;且每个扬砂泵13的进口与储备槽11相连通,且每个扬砂泵13的出口均与工艺槽12槽底内的喷砂管14相连通;储备槽11内安装有第一搅拌机构15,工艺槽12的顶部内安装有第二搅拌机构16;扬砂泵13工作后,储备槽11内的药水通过第一搅拌机构15一次搅拌后送到工艺槽11内进行二次搅拌,搅拌后的药水通过喷砂管14喷出。相较于现有技术的情况,本技术提供的金刚石电镀设备上的带搅拌的扬砂装置,采用立式扬砂泵13,扬砂泵13的进口与储备槽11相连通,且出口与喷砂管14相连通,通过扬砂泵13和槽内的喷砂管14来实现喷洒药水,且储备槽与工艺槽内均设置有对药水进行搅拌的搅拌机构,通过搅拌机构实现扬砂,进而保证扬砂均匀,不容易留下死角,且金刚石磨料不会堆积在一起。在本实施例中,储备槽11的槽口处可拆卸连接有槽盖,储备槽11内安装有对药水进行加热的加热管15;且加热管15从储备槽的槽盖17底端延伸至储备槽11的槽底处。加热管15有助于提高搅拌的均匀性。本案中扬砂泵13的进口与储备槽11之间及扬砂泵13的出口与工喷砂管之间均通过管路连通。在本实施例中,第一搅拌机构15包括第一搅拌电机151、传动轴152和一侧均固定在传动轴152上的多片第一搅拌叶片153,第一搅拌电机151与传动轴152驱动连接后带动第一搅拌叶片153转动。第二搅拌机构16包括安装在工艺槽12的槽盖处的第二搅拌电机161和与第二搅拌电机161驱动连接的多片T字型第二搅拌叶片162,多片第二搅拌叶片162的上端位于工艺槽的顶部;第二搅拌电机驱动多片第二搅拌叶片进行转动。本案中并不局限搅拌叶片的具体形状数量。在本实施例中,每个扬砂泵13均通过固定板19安装在储备槽的槽盖17上。本案中并不局限于扬砂泵13的安装方式,可以根据实际需要进行改变。本案为扬砂装置在金刚石电镀设备上的具体应用,工作前先把装有金刚石磨料的药水加储备槽中,到达指定液位后,开启设备,扬砂泵开始工作,把储备槽的药水经管路送到工艺槽,经工艺槽槽底的喷砂管喷出。在扬砂泵工作的时候,工艺槽内的第二搅拌机构也同时工作,对喷出的药水进行二次搅拌,这样就能充分的保证药水的均匀性。本案具有设计简单、安装方便、制造成本低、泵的使用寿命长、扬砂均匀、不留死角等特点。以上公开的仅为本技术的几个具体实施例,但是本技术并非局限于此,任何本领域的技术人员能思之的变化都应落入本技术的保护范围。本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种金刚石电镀设备上的带搅拌的扬砂装置,其特征在于,包括安装在机架内的储备槽和安装在机架外的工艺槽,所述储备槽的槽口处安设有多个立式扬砂泵;且每个扬砂泵的进口与储备槽相连通,且每个扬砂泵的出口均与工艺槽槽底内的喷砂管相连通;所述储备槽内安装有第一搅拌机构,所述工艺槽的顶部内安装有第二搅拌机构;扬砂泵工作后,储备槽内的药水通过第一搅拌机构一次搅拌后送到工艺槽内进行二次搅拌,搅拌后的药水通过喷砂管喷出。
【技术特征摘要】
1.一种金刚石电镀设备上的带搅拌的扬砂装置,其特征在于,包括安装在机架内的储备槽和安装在机架外的工艺槽,所述储备槽的槽口处安设有多个立式扬砂泵;且每个扬砂泵的进口与储备槽相连通,且每个扬砂泵的出口均与工艺槽槽底内的喷砂管相连通;所述储备槽内安装有第一搅拌机构,所述工艺槽的顶部内安装有第二搅拌机构;扬砂泵工作后,储备槽内的药水通过第一搅拌机构一次搅拌后送到工艺槽内进行二次搅拌,搅拌后的药水通过喷砂管喷出。2.根据权利要求1所述的金刚石电镀设备上的带搅拌的扬砂装置,其特征在于,所述储备槽的槽口处可拆卸连接有槽盖,所述储备槽内安装有对药水进行加热的加热管;且所述加热管从槽盖底端延伸至储备槽的槽...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡文茂,
申请(专利权)人:深圳市超晋达超声工程设备有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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