一种OLED有机蒸发源装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种OLED有机蒸发源装置，包括内衬及由内衬组成的蜂巢，所述蜂巢内设有升降杆、有机蒸发源、坩埚、晶振探头和电极，其中，升降杆将有机蒸发源和晶振探头连为一体，坩埚置于有机蒸发源上，电极与有机蒸发源连接；所述有机蒸发源上设有开孔，且在其上设有小挡板；所述有机蒸发源至少有2个。与现有技术相比，本实用新型专利技术具有以下优点：可根据器件结构需求来随意选择组合，提高器件制备的灵活性；可根据需要调节蒸镀基板与有机蒸发源之间的距离，达到节约材料及保证膜厚均一性的要求；有机蒸发源可设置在不同平面内，因而使得位置设置更加灵活，且互不污染，增加同一腔体内的有机蒸发源数量。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于有机发光二极管加工装置
，涉及一种有机蒸发源技术，具体涉及一种OLED有机蒸发源装置。
技术介绍
目前有机发光二极管的主流制备技术和方法是蒸镀法，即在真空腔体内加热有机小分子材料，使其升华或者熔融气化成材料蒸汽，透过金属光罩的开孔沉积在玻璃基板上。现有技术中，在对显示装置的显示器件进行加工制造时，一般采用蒸镀坩埚。蒸镀坩埚具有容置装置，容置装置放置于加热源中，容置装置的开口处安装有坩埚盖，坩埚盖设有蒸发孔。其工作原理为：将蒸镀材料放入容置装置，蒸镀材料包括有机材料；将蒸镀坩埚置于点源中，点源加热蒸镀坩埚使气态蒸镀材料从坩埚盖的蒸发孔均匀蒸发出；坩埚盖的上方设有传感器，传感器用于检测所述气态蒸镀材料的蒸发速度；传感器将检测信号反馈回所述点源，使点源根据蒸镀材料的蒸发速度控制对蒸镀坩埚的加热强度。因上述现有技术中的坩埚是静止的放置在蒸发源中，由于不能完全确保坩埚周围均匀加热，坩埚内的材料受热存在不均匀的现象，导致蒸发过程也存在不稳定现象。此外，当前的有机蒸发源技术方案是平面式，如图1所示，即蒸镀腔体中所有的有机蒸发源均在同一平面内，蒸发口与蒸镀基板距离一致且固定不变，与晶振探头相互独立不为一体。为了达到一个很好的器件效果，目前有机材料种类以及层数越来越多，导致有机蒸发源数量也越来越多。这种技术方案下，为了避免不同性质材料相互污染，同一腔体的有机蒸发源数量不能太多，因此蒸镀设备变得很复杂昂贵，制备节拍也受很大影响，尤其是对研发设备。
技术实现思路
解决的技术问题：为了克服现有技术的缺陷，获得一种有机蒸发源可设置在不同平面内，且有机蒸发源可上下升降，蒸发口与蒸镀基板距离可变，晶振探头与有机蒸发源连为一体的装置，本技术提供了一种OLED有机蒸发源装置。技术方案：一种OLED有机蒸发源装置，包括内衬及由内衬组成的蜂巢，所述蜂巢内设有升降杆、有机蒸发源、坩埚、晶振探头和电极，其中，升降杆将有机蒸发源和晶振探头连为一体，坩埚置于有机蒸发源上，电极与有机蒸发源连接；所述有机蒸发源上设有开孔，且在其上设有小挡板；所述有机蒸发源至少有2个。每个有机蒸发源可以独立控制升降，调节其与蒸镀基板之间的距离，且晶振探头与有机蒸发源为一体也可以同时升降；有机蒸发源处于由内衬组成的蜂窝中；其上有开孔，开孔不能影响有机蒸发源的升降和蒸发；小挡板紧贴着开孔，且关的时候能完全盖住开孔，开的时候不影响有机蒸发源升降和蒸发。优选的，所述有机蒸发源置于不同的平面内。优选的，所述小挡板上设有中挡板，用以辅助控制有机蒸发源中的材料蒸镀。优选的，所述有机蒸发源位置呈“九宫格”形式分布。优选的，所述有机蒸发源位置呈圆形分布。有益效果：(1)本技术所述有机蒸发源装置在蒸镀前可将蒸镀速率调至所需的稳定速率，有效提高制备节拍；(2)所述有机蒸发源装置可以根据器件结构需求来随意选择组合，提高器件制备的灵活性；(3)所述有机蒸发源装置可根据需要调节蒸镀基板与有机蒸发源之间的距离，达到节约材料及保证膜厚均一性的要求；(4)所述有机蒸发源可设置在不同平面内，因而使得位置设置更加灵活，且互不污染，增加同一腔体内的有机蒸发源数量；(5)同种材料性质的有机蒸发源可放置在同一腔体内，从而减少设备复杂性，降低设备成本。附图说明图1是现有技术中某一OLED有机蒸发源装置正视图；图2是实施例1的OLED有机蒸发源装置正视图；图3是实施例1的OLED有机蒸发源装置俯视图；图4是实施例2的OLED有机蒸发源装置俯视图；图5是实施例3的OLED有机蒸发源装置正视图；其中，1为内衬，2为升降杆，3为有机蒸发源，4为坩埚，5为晶振探头，6为蜂巢，7为小挡板，8为中挡板，9为电极，10为挡板，11为开孔。具体实施方式以下实施例进一步说明本专利技术的内容，但不应理解为对本专利技术的限制。在不背离本专利技术精神和实质的情况下，对本专利技术方法、步骤或条件所作的修改和替换，均属于本专利技术的范围。
若未特别指明，实施例中所用的技术手段为本领域技术人员所熟知的常规手段。实施例1如图2、图3所示，本技术所述的OLED有机蒸发源装置中的有机蒸发源3呈“九宫格”形式布置，包括内衬1及由内衬1组成的蜂巢6，所述蜂巢6内设有升降杆2、有机蒸发源3、坩埚4、晶振探头5和电极9，其中，升降杆2将有机蒸发源3和晶振探头5连为一体，坩埚4置于有机蒸发源3上，电极9与有机蒸发源3连接；所述有机蒸发源3上设有开孔11，且在其上设有小挡板7；所述有机蒸发源3至少有2个。升降杆2由伺服电机供电，控制有机蒸发源3和晶振探头5的升降；有机蒸发源3加热由缠绕在其壁上的加热丝和电极控制。坩埚4的材质为石英玻璃。根据工艺要求，先将所有有机蒸发源3蒸镀速率调至预设值并稳定；然后，在沉积第一层时，打开中挡板8，将该位置的有机蒸发源3与蒸镀基板距离调到40cm，其中，未调整前蒸镀基板位置在所有蒸发源正上方100～150cm处，有机蒸发源3位置不变，再打开小挡板7开始蒸镀沉积有机材料，结束后关闭小挡板7，将蒸发源降至初始位置并关闭中挡板8；接着，分别打开蜂巢6中第2个与第9个位置的中挡板8，图3中一共形成16个蜂巢6，图示中的有机蒸发源3所在位置为第一个蜂巢6，然后依次类推，将两者与蒸镀基板距离均调到50cm，其它有机蒸发源3位置不变，再打开两者的小挡板7开始蒸镀沉积有机材料，结束后关闭小挡板7，将有机蒸发源3降至初始位置并关闭中挡板8。实施例2与实施例1的区别在于，本实施例所述的OLED有机蒸发源装置中的有机蒸发源3呈圆形布置。如图4所示，所述OLED有机蒸发源装置为圆柱体，包括内衬1及由内衬1组成的蜂巢6，蜂巢6为圆柱体。所述蜂巢6内设有升降杆2、有机蒸发源3、坩埚4、晶振探头5和电极9，其中，升降杆2将有机蒸发源3和晶振探头5连为一体，坩埚4置于有机蒸发源3上，电极9与有机蒸发源3连接；所述有机蒸发源3上设有开孔11，且在其上设有小挡板7，小挡板7为圆形；所述有机蒸发源3至少有2个。升降杆2由伺服电机供电，控制有机蒸发源3和晶振探头5的升降；有机蒸发源3加热由缠绕在其壁上的加热丝和电极控制。坩埚4的材质为石英玻璃。实施例3与实施例1的区别在于，本实施例所述的OLED有机蒸发源装置中的有机蒸发源3分布在不同平面内。如图5所示，所述OLED有机蒸发源装置包括两层，上一层的有机蒸发源3位置固定，下一层的有机蒸发源3为可升降形式。所述下一层的蜂巢6内设有升降杆2、有机蒸发源3、坩埚4、晶振探头5和电极9，其中，升降杆2将有机蒸发源3和晶振探头5连为一体，坩埚4置于有机蒸发源3上，电极9与有机蒸发源3连接；所述有机蒸发源3上设有开孔11，且在其上设有小挡板7；所述有机蒸发源3至少有2个。所述上一层的蜂巢6内有机蒸发源3与晶振探头5相互独立，且不可以同时升降。有机蒸发源3加热由缠绕在其壁上的加热丝和电极控制。坩埚4的材质为石英玻璃。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种OLED有机蒸发源装置，其特征在于，包括内衬(1)及由内衬(1)组成的蜂巢(6)，所述蜂巢(6)内设有升降杆(2)、有机蒸发源(3)、坩埚(4)、晶振探头(5)和电极(9)，其中，升降杆(2)将有机蒸发源(3)和晶振探头(5)连为一体，坩埚(4)置于有机蒸发源(3)上，电极(9)与有机蒸发源(3)连接；所述有机蒸发源(3)上方设有开孔(11)，且在其上设有小挡板(7)；所述有机蒸发源(3)至少有2个。

【技术特征摘要】
1.一种OLED有机蒸发源装置，其特征在于，包括内衬(1)及由内衬(1)组成的蜂巢(6)，所述蜂巢(6)内设有升降杆(2)、有机蒸发源(3)、坩埚(4)、晶振探头(5)和电极(9)，其中，升降杆(2)将有机蒸发源(3)和晶振探头(5)连为一体，坩埚(4)置于有机蒸发源(3)上，电极(9)与有机蒸发源(3)连接；所述有机蒸发源(3)上方设有开孔(11)，且在其上设有小挡板(7)；所述有机蒸发源(3)至少有2个。2.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴空物，
申请(专利权)人：南京高光半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32