【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种离子镀设备的辅助装置，特别是涉及一种用于多弧离子镀设备弧源磁场控制的装置。
技术介绍
目前，多弧离子镀设备通常采用直圆柱形状的阴极弧源磁场控制元件，在使用不同的合金靶材作为阴极弧源时，经常需要对阴极弧源进行调弧操作，调弧过程中有时需要拆卸阴极弧源磁场控制元件，目前拆卸工具均采用特制扳手，这种扳手一般采用铸铁材料，尖部容易脆断，且无法修复，也会对其两侧的冷却水管接头造成影响。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于多弧离子镀设备弧源磁场控制的装置，该装置将原有的直圆柱形弧源磁场控制的元件制成成六棱柱形状弧源磁场控制的元件，用六边形扳手对阴极弧源磁场控制元件进行拆卸，更为方便、快捷、可靠。本技术的目的是通过以下技术方案实现的：一种用于多弧离子镀设备弧源磁场控制的装置，所述装置包括炉体、靶座、弧源磁场控制的元件；炉体的下部设有靶座，靶座上对称的设有两个通管，两个通管中间设有外部为六棱柱形状柱体，该柱体为弧源磁场控制的元件，柱体内部为带有内螺纹的通孔，该六棱柱形状柱体与炉体采用螺纹连接，连接端带有外螺纹。本技术的优点与效果是：1.本技术一种用于多弧离子镀设备弧源磁场控制的装置，通过该装置用于弧源磁场控制的元件可以方便进行调弧操作。2.本技术装置内部为带有内螺纹的通孔，用于放置磁体和调整磁体位置，该元件与炉体采用螺纹连接，连接端带有外螺纹。该用于弧源磁场控制的元件易于加工，外观为六棱柱形状，便于拆卸和安装。附图说明图1用于弧源磁场控制的元件俯视图；图2用于弧源磁场控制的元件主视图。具体实施方式下面结合实施例对本技术进行详细说明。本技术一种用于多弧离子...
【技术保护点】
一种用于多弧离子镀设备弧源磁场控制的装置，其特征在于，所述装置包括炉体（1）、靶座（2）、弧源磁场控制的元件（3）；炉体（1）的下部设有靶座（2），靶座（2）上对称的设有两个通管，两个通管中间设有外部为六棱柱形状柱体，该柱体为弧源磁场控制的元件（3），柱体内部为带有内螺纹的通孔，该六棱柱形状柱体与炉体采用螺纹连接，连接端带有外螺纹。
【技术特征摘要】
1.一种用于多弧离子镀设备弧源磁场控制的装置，其特征在于，所述装置包括炉体（1）、靶座（2）、弧源磁场控制的元件（3）；炉体（1）的下部设有靶座（2），靶座（2）上对称...
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