一种高效超声旋转涂膜装置制造方法及图纸

一种高效超声旋转涂膜装置，涉及一种涂膜装置，所述装置包括主轴传动机构，摆动机构，限位机构；主轴传动机构包括动力电机（11）、电机联接板Ⅰ（1）、电机联接板Ⅱ（2）、真空室（3）、密封圈Ⅰ（4）、密封圈Ⅱ（5）、回转体（6）、轴端垫圈（7）、支撑立杆（8）、减震体（9）、吸盘（10）；动力电机（11）固定在电机联接板Ⅱ（2）上，电机联接板Ⅱ（2）通过减震体（9）固定在电机联接板Ⅰ（1）上，电机联接板Ⅰ（1）通过支撑立杆（8）固定在底板（32）上，轴端垫圈（7）与动力电机（11）输出轴连接，该装置最大限度地将喷涂液精确地喷涂到待施工的基材表面，该装置应用到工业生产、农业生产、科研实验中需要进行精细加工的领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种涂膜装置，特别是涉及一种高效超声旋转涂膜装置。
技术介绍
超声雾化喷涂是一种薄膜制备工艺，它用于在固体材料( 即基体) 的表面喷涂薄膜，其工艺流程大致包括超声雾化、热解、喷涂三个步骤。由于这种工艺具有设备结构简单、工艺重复性好、操作安全可靠、过程无需真空设备支持、尾气污染小、可以连续大面积快速沉积等特点，因此具有广泛的应用前景和市场。在现有的喷涂工艺中，主要是利用压缩空气经喷枪将喷涂液挤压喷射到基材表面。但这种工艺存在着不可避免的缺陷，诸如喷涂均匀度不够、涂层厚度不可控、涂膜质量差、溶液反弹严重、浪费较大等问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种高效超声旋转涂膜装置，该装置最大限度地将喷涂液精确地喷涂到待施工的基材表面，该装置应用到工业生产、农业生产、科研实验中需要进行精细加工的领域。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的：一种高效超声旋转涂膜装置，所述装置包括主轴传动机构，摆动机构，限位机构；主轴传动机构包括动力电机、电机联接板Ⅰ、电机联接板Ⅱ、真空室、密封圈Ⅰ、密封圈Ⅱ、回转体、轴端垫圈、支撑立杆、减震体、吸盘；动力电机固定在电机联接板Ⅱ上，电机联接板Ⅱ通过减震体固定在电机联接板Ⅰ上，电机联接板Ⅰ通过支撑立杆固定在底板上，轴端垫圈与动力电机输出轴连接，将回转体固定在动力电机输出轴上，真空室固定在动力电机端面上；摆动机构包括减速电机、摆臂支座、电机固定座、摆臂轴、轴承隔套、摆臂板、锁紧套、喷头固定板；减速电机与电机固定座连接，电机固定座与摆臂支座固定，摆臂支座固定在壳体上，摆臂轴通过滚动轴承固定在摆臂支座上，轴承隔套将两个滚动轴承隔开，喷头固定板固定在摆臂板上，摆臂板与锁紧套连接；限位机构包括底座板、侧立板、后立板、上盖板、后盖板、限位开关固定座、调整螺杆；侧立板、后立板固定在底座板上，调整螺杆与侧立板连接。所述的一种高效超声旋转涂膜装置，所述真空室内部装有密封圈Ⅰ和密封圈Ⅱ，吸盘与回转体连接固定。所述的一种高效超声旋转涂膜装置，所述锁紧套通过锁紧螺杆固定在摆臂轴上，摆臂轴与减速电机输出轴连接固定。所述的一种高效超声旋转涂膜装置，所述限位开关固定板安装在调整螺杆上。本专利技术的优点与效果是：本专利技术机体体积小、结构简单、操作方便、单元模块化组装，能够最大限度地将喷涂液精确地喷涂到待施工的基材表面，该装置应用到工业生产、农业生产、科研实验中需要进行精细加工的领域。附图说明图1是本专利技术主轴传动机构示意图；图2是本专利技术摆动机构示意图；图3是本专利技术限位机构示意图；图4是本专利技术整机结构示意图。图中：1-电机联接板Ⅰ；2-电机联接板Ⅱ；3-真空室；4-密封圈Ⅰ；5-密封圈Ⅱ；6-回转体；7-轴端垫圈；8-支撑立杆；9-减震体；10-吸盘；11-动力电机。图中：12-摆臂支座；13-电机固定板；14-摆臂轴；15-轴承隔套；16-摆臂板；17-锁紧套；18-喷头固定板；19-减速电机；20-锁紧螺杆；21-滚动轴承；22-底座板；23-侧立板；24-后立板；25-上盖板；26-后盖板；27-限位开关固定板；28-调整螺杆；29-壳体；30-防护圈；31-超声雾化喷头；32-底板。具体实施方式下面结合实施例对本专利技术进行详细说明。一种高效超声旋转涂膜装置，包括主轴传动机构，摆动机构，限位机构。主轴传动机构包括动力电机、电机联接板Ⅰ、电机联接板Ⅱ、真空室、密封圈Ⅰ、密封圈Ⅱ、回转体、轴端垫圈、支撑立杆、减震体、吸盘；动力电机固定在电机联接板Ⅱ上，电机联接板Ⅱ通过减震体固定在电机联接板Ⅰ上，电机联接板Ⅰ通过支撑立杆固定在底板上，轴端垫圈与动力电机输出轴连接，将回转体固定在动力电机输出轴上，真空室固定在动力电机端面上，内部装有密封圈Ⅰ和密封圈Ⅱ，吸盘与回转体连接固定。动力电机旋转从而带动吸盘转动，真空室通过锁母直通连接真空源，使待喷涂的基片被吸附在吸盘上，实现表面喷涂薄膜。摆动机构包括减速电机、摆臂支座、电机固定座、摆臂轴、轴承隔套、摆臂板、锁紧套、喷头固定板；减速电机与电机固定座连接，电机固定座与摆臂支座固定，摆臂支座固定在壳体上，摆臂轴通过滚动轴承固定在摆臂支座上，轴承隔套将两个滚动轴承隔开，喷头固定板固定在摆臂板上，摆臂板与锁紧套连接，锁紧套通过锁紧螺杆固定在摆臂轴上，摆臂轴与减速电机输出轴连接固定。减速电机旋转，从而带动摆臂轴转动，实现摆臂板往复运动。限位机构包括底座板、侧立板、后立板、上盖板、后盖板、限位开关固定座、调整螺杆；侧立板、后立板固定在底座板上，调整螺杆与侧立板连接，限位开关固定板安装在调整螺杆上。调整螺杆顺时针或逆时针旋转来调整限位开关的相对位置，从而实现摆臂板不同的摆动角度。实施例1：如图所示，本专利技术一种高效超声旋转涂膜装置包括：主轴传动机构：动力电机11固定在电机联接板Ⅱ2上，电机联接板Ⅱ2通过减震体9固定在电机联接板Ⅰ1上，电机联接板Ⅰ1通过支撑立杆8固定在底板32上，轴端垫圈7与动力电机轴连接，将回转体6固定在动力电机轴上，真空室3固定在动力电机11端面上，内部装有密封圈Ⅰ4和密封圈Ⅱ5，吸盘10与回转体6连接固定。摆动机构：减速电机19与电机固定座13连接，电机固定座13与摆臂支座12固定，摆臂支座12固定在壳体29上，摆臂轴14通过滚动轴承21固定在摆臂支座12上，轴承隔套15将两个滚动轴承隔开，喷头固定板18固定在摆臂板16上，摆臂板16与锁紧套17连接，锁紧套17通过锁紧螺杆20固定在摆臂轴14上，摆臂轴14与减速电机19输出轴连接固定。限位机构：侧立板23、后立板24固定在底座板22上，调整螺杆28与侧立板23连接，限位开关固定板27安装在调整螺杆28上，上盖板25和后盖板26固定在侧立板23上。使用过程：将待涂膜的基片放在吸盘10上，接通真空气源，将超声雾化喷头31安装在喷头固定板7上，连接好供液设备，根据基片的外径调整好摆臂板5的摆动角度，安装好防护圈30。通过操作面板设置好吸盘10转数和超声雾化喷头31的摆动速度，从而实现基片表面的超声薄膜喷涂。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高效超声旋转涂膜装置，其特征在于，所述装置包括主轴传动机构，摆动机构，限位机构；主轴传动机构包括动力电机（11）、电机联接板Ⅰ（1）、电机联接板Ⅱ（2）、真空室（3）、密封圈Ⅰ（4）、密封圈Ⅱ（5）、回转体（6）、轴端垫圈（7）、支撑立杆（8）、减震体（9）、吸盘（10）；动力电机（11）固定在电机联接板Ⅱ（2）上，电机联接板Ⅱ（2）通过减震体（9）固定在电机联接板Ⅰ（1）上，电机联接板Ⅰ（1）通过支撑立杆（8）固定在底板（32）上，轴端垫圈（7）与动力电机（11）输出轴连接，将回转体（6）固定在动力电机11输出轴上，真空室（3）固定在动力电机（11）端面上；摆动机构包括减速电机（19）、摆臂支座（12）、电机固定座（13）、摆臂轴（14）、轴承隔套（15）、摆臂板（16）、锁紧套（17）、喷头固定板（18）；减速电机（19）与电机固定座（13）连接，电机固定座（13）与摆臂支座（12）固定，摆臂支座（12）固定在壳体（29）上，摆臂轴（14）通过滚动轴承（21）固定在摆臂支座（12）上，轴承隔套（15）将两个滚动轴承隔开，喷头固定板（18）固定在摆臂板（16）上，摆臂板（16）与锁紧套（17）连接；限位机构包括底座板（22）、侧立板（23）、后立板（24）、上盖板（25）、后盖板（26）、限位开关固定座（27）、调整螺杆（28）；侧立板（23）、后立板（24）固定在底座板（22）上，调整螺杆（28）与侧立板（23）连接。...

【技术特征摘要】
1.一种高效超声旋转涂膜装置，其特征在于，所述装置包括主轴传动机构，摆动机构，限位机构；主轴传动机构包括动力电机（11）、电机联接板Ⅰ（1）、电机联接板Ⅱ（2）、真空室（3）、密封圈Ⅰ（4）、密封圈Ⅱ（5）、回转体（6）、轴端垫圈（7）、支撑立杆（8）、减震体（9）、吸盘（10）；动力电机（11）固定在电机联接板Ⅱ（2）上，电机联接板Ⅱ（2）通过减震体（9）固定在电机联接板Ⅰ（1）上，电机联接板Ⅰ（1）通过支撑立杆（8）固定在底板（32）上，轴端垫圈（7）与动力电机（11）输出轴连接，将回转体（6）固定在动力电机11输出轴上，真空室（3）固定在动力电机（11）端面上；摆动机构包括减速电机（19）、摆臂支座（12）、电机固定座（13）、摆臂轴（14）、轴承隔套（15）、摆臂板（16）、锁紧套（17）、喷头固定板（18）；减速电机（19）与电机固定座（13）连接，电机固定座（13）与摆臂支座（12）固定，摆臂支座（12）固定在壳体（29...

【专利技术属性】
技术研发人员：张学斌，张旭，赵闯，
申请(专利权)人：沈阳科晶自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21