光栅划刻刀定向角的测量装置及其测量方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种光栅刻划刀定向角的测量装置，包括底座、刀架安装座、刻度盘和光源组件，其中，刀架安装座用于安装具有待检测的刻划刀的刀架，刀架安装座和刻度盘均安装在底座上，并且刻度盘上设置有观测视口，以对刻划刀的位置进行定位，指针用于指示光源组件在刻度盘上的位置，而刻划刀的定向面会反射光源发出的光，测量者通过观测视口观测到发射的光线则可计算出定向角。采用上述装置在测量定位角时，只需要转动光源组件的位置即可实现检测，检测过程简单，检测效率高。本发明专利技术还公开了上述光栅刻划刀定向角的测量装置的测量方法。

Grating row measuring device and measuring method of knife orientation angle

The invention discloses a grating measuring device of directional angle cutter, which comprises a base, a knife installing seat, a dial and a light source module, the turret mount turret installation has to be detected for graver, knife mounting seat and dial are arranged on the base, and the dial is arranged on the observation in order to locate the viewport, graver position indicator pointer is used to the light source component on the dial position, and directional surface graver will reflect the light emitted by the light source, measurements are used to calculate the orientation angle by observing the viewport observed emitted light. When the device is used for measuring the positioning angle, only the position of the light source component can be rotated, the detection process is simple, and the detection efficiency is high. The invention also discloses a measuring method for the measuring device of the grating cutting knife directional angle.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及衍射光栅
，具体的说，是涉及一种光栅刻划刀定向角的测量装置及其测量方法。
技术介绍
运用光栅刻划机制作衍射光栅是研制衍射光栅母板的主要方法之一，该方法是利用光栅刻划刀在光栅基底的铝膜或金膜上挤压成一系列规则槽形且等间距的光栅刻线。光栅刻线的槽形参数是刻划光栅的效率、杂散光强度、鬼线强度等光栅性能指标的重要影响因素之一，然而光栅刻线的槽形是由光栅刻划刀的各参数所决定，因此，光栅刻划刀各参数的精确测量是制作高质量刻划衍射光栅的必要条件之一。机械方法制作衍射光栅前需要调节的光栅刻划刀参数有定向角、方位角和俯仰角。现有技术中，光栅刻划刀的定向角通过所刻槽形间接测量，进而对定向角进行调整，该方法具体步骤如下：(1)用光栅刻划刀在光栅基底上刻划数条刻线；(2)运用原子力显微镜测量所刻划的光栅槽形，进而得出光栅刻划刀的定向角；(3)然后将所得的定向角与理论的定向角比较；(4)如果(3)中提到的两角度的角度值相等则定向角调整完毕，如果两角度值不相等则重复上述步骤。现有技术中光栅划刻刀定向角调节时，由于没有直接的测量装置，可能会由于调整量不合适出现反复调整的现象。因此，现有定向角测量技术较为复杂、效率低，尤其对定向角要求高的衍射光栅更为不利。因此，如何提供一种光栅划刻刀定向角的测量装置，以提高测量的效率，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种光栅划刻刀定向角的测量装置，以提高测量的效率。本专利技术还提供了上述光栅刻划刀定向角的测量装置的测量方法。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种光栅划刻刀定向角的测量装置，其包括：底座；安装在所述底座上的刀架安装座，所述刀架安装座用于安装具有待检测刻划刀的刀架；安装在所述底座上的刻度盘，所述刻度盘的基准位置设置有观测视口，所述观测视口用于定位所述刻划刀的位置；用于提供光的光源组件；用于指示所述光源组件在所述刻度盘上位置的指针。优选地，上述的测量装置中，所述底座包括：基座；设置在所述基座上的燕尾槽；与所述燕尾槽滑动配合的燕尾滑块，所述刀架安装座安装在所述燕尾滑块上。优选地，上述的测量装置中，所述刀架安装座到所述底座距离可调的设置在所述底座上，所述刀架安装座通过锁紧螺钉固定在所述燕尾滑块上。优选地，上述的测量装置中，所述刻度盘上固定有至少两个具有观测狭缝的安装板，且所述安装板沿所述刻度盘的高度方向分布，所有的所述安装板的所述观测狭缝形成所述观测视口。优选地，上述的测量装置中，所有的所述观测狭缝均相对布置，且与所述刻度盘的基准位置相对。优选地，上述的测量装置中，还包括可转动的安装在所述刻度盘上的摇臂，所述光源组件和所述指针均安装在所述摇臂上，所述摇臂的转动中心与所述刻度盘的圆心重合。优选地，上述的测量装置中，所述光源组件包括：固定在所述摇臂端部的光源；罩设在所述光源上的固定灯罩，所述固定灯罩具有第一透光狭缝；可转动的罩设在所述固定灯罩外侧的活动灯罩，所述活动灯罩具有与所述第一透光狭缝配合的第二透光狭缝；所述指针一端指向所述第一透光狭缝，另一端指向所述刻度盘上的刻度。优选地，上述的测量装置中，所述摇臂上设置有用于固定所述摇臂位置的定位装置。优选地，上述的测量装置中，所述定位装置包括：安装在所述摇臂的通孔内的弹性安装座；安装在所述弹性安装座内的弹性触点，所述弹性触点一端能够与所述刻度盘相抵；调整螺钉，所述调整螺钉与所述弹性安装座螺纹连接，所述调整螺钉与所述弹性触点之间设置有压簧。一种光栅划刻刀定向角的测量方法，采用如上述任一项所述的测量装置，其包括步骤：将安装有待检测的刻划刀的刀架安装在刀架安装座上，并调整所述刀架安装座的位置直至刻划刀的刀刃通过刻度盘的圆心；测量人员的观测视线位于观测视口的正上方，打开光源，并向刻划刀的定向面对应的方向转动摇摆，当测量人员初次观测到刻划刀的定向面反射的光源发出的光线时，停止转动摇臂；读取指针所指刻度盘上的刻度值，观测视口与所述指针之间的角度为θ，光栅刻刀的定向角α为：α＝θ/2。经由上述的技术方案可知，本专利技术公开了一种光栅刻划刀定向角的测量装置，包括底座、刀架安装座、刻度盘和光源组件，其中，刀架安装座用于安装具有待检测的刻划刀的刀架，刀架安装座和刻度盘均安装在底座上，并且刻度盘上设置有观测视口，以对刻划刀的位置进行定位，指针用于指示光源组件在刻度盘上的位置，而刻划刀的定向面会反射光源发出的光，测量者通过观测视口观测到发射的光线则可计算出定向角。采用上述装置在测量定位角时，只需要转动光源组件的位置即可实现检测，检测过程简单，检测效率高。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的光栅刻划刀定向角的测量装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的光栅刻划刀定向角的测量装置的俯视图；图3为本专利技术实施例提供的光栅刻划刀定向角的测量装置的定位装置的结构示意图；图4为本专利技术实施例提供的光栅刻划到定向角的测量方法的流程图。具体实施方式本专利技术的核心是提供一种光栅划刻刀定向角的测量装置，以提高测量的效率。本专利技术的另一核心是提供上述光栅刻划刀定向角的测量装置的测量方法。下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。如图1-图3所示，本专利技术公开了一种光栅刻划刀定向角的测量装置，包括底座、刀架安装座103、刻度盘2和光源组件8，其中，刀架安装座103用于安装具有待检测的刻划刀的刀架，刀架安装座103和刻度盘2均安装在底座上，并且刻度盘2上设置有观测视口，以对刻划刀的位置进行定位，指针5用于指示光源组件8在刻度盘2上的位置，而刻划刀的定向面会反射光源发出的光，测量者通过观测视口观测到发射的光线后则可计算出定向角。采用上述装置在测量定位角时，只需要转动光源组件8的位置即可实现检测，检测过程简单，检测效率高。具体的实施例中，将底座设置为基座101、燕尾槽和燕尾滑块102，其中，燕尾槽设置在基座101上，燕尾滑块102与燕尾槽配合，并且燕尾滑块102能够在燕尾槽内滑动，以改变安装在燕尾滑块102上的刀架安装座103的位置。通过燕尾滑块102的滑动可方便对刀架在刀架安装座103内的安装和拆卸，在检测时需要将刀架与观测视口正对，即刀架正好位于观测视口的正下方。对于燕尾滑块102相对于燕尾槽的固定可通过固定螺钉105进行固定，具体地，通过转动固定螺钉105而使固定螺钉与燕尾滑块102相抵，从而限制燕尾滑块102的位置。优选地，上述刀架安装座103到底座距离为可调的方式，即刀架安装座103为高度可调的安装在底座上，这种设置方式可实现刀架安装座103上下位置的调节，而燕尾滑块102与燕尾槽的配合可实现前后直线方向的调节。上述设置方式可提高该检测装置的适用范围。具体的，刀架安装座1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光栅划刻刀定向角的测量装置，其特征在于，包括：底座；安装在所述底座上的刀架安装座(103)，所述刀架安装座(103)用于安装具有待检测刻划刀的刀架；安装在所述底座上的刻度盘(2)，所述刻度盘(2)的基准位置设置有观测视口，所述观测视口用于定位所述刻划刀的位置；用于提供光的光源组件(8)；用于指示所述光源组件(8)在所述刻度盘(2)上位置的指针(5)。

【技术特征摘要】
1.一种光栅划刻刀定向角的测量装置，其特征在于，包括：底座；安装在所述底座上的刀架安装座(103)，所述刀架安装座(103)用于安装具有待检测刻划刀的刀架；安装在所述底座上的刻度盘(2)，所述刻度盘(2)的基准位置设置有观测视口，所述观测视口用于定位所述刻划刀的位置；用于提供光的光源组件(8)；用于指示所述光源组件(8)在所述刻度盘(2)上位置的指针(5)。2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述底座包括：基座(101)；设置在所述基座(101)上的燕尾槽；与所述燕尾槽滑动配合的燕尾滑块(102)，所述刀架安装座(103)安装在所述燕尾滑块(102)上。3.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于，所述刀架安装座(103)到所述底座距离可调的设置在所述底座上，所述刀架安装座(103)通过锁紧螺钉(104)固定在所述燕尾滑块(102)上。4.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述刻度盘(2)上固定有至少两个具有观测狭缝(6)的安装板，且所述安装板沿所述刻度盘(2)的高度方向分布，所有的所述安装板的所述观测狭缝(6)形成所述观测视口。5.根据权利要求4所述的测量装置，其特征在于，所有的所述观测狭缝(6)均相对布置，且与所述刻度盘(2)的基准位置相对。6.根据权利要求1-5任一项所述的测量装置，其特征在于，还包括可转动的安装在所述刻度盘(2)上的摇臂(3)，所述光源组件(8)和所述指针(5)均安装在所述摇臂(3)上，所述摇臂(3)的转动中心与所述刻度盘(2)的圆心重合。7.根据权利要求6所述的测量装...

【专利技术属性】
技术研发人员：张善文，糜小涛，唐玉国，吉日噶兰图，于宏柱，卢禹先，冯树龙，齐向东，巴音贺希格，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22