The invention provides an organic ferroelectric based on P (VDF TrFE) thin film resistive switching memory. The resistive switching memory device includes a substrate, a substrate resistive medium layer and resistive film electrode on the dielectric layer; wherein, the resistive dielectric layer is P (VDF TrFE) film. The invention also provides a method for preparing the resistance switch memory, which can obtain the resistance switch thin film with excellent performance by controlling the preparation of the sol gel, the film throwing speed and the annealing condition. The main growth conditions of the invention are: the selection of the solvent, the stirring speed and the temperature, the holding time, the film throwing rate, the substrate, the annealing time and the conditions. Compared with the common resistance switch, the invention has the advantages of large resistance change, excellent cycle and fatigue performance. Preparation of P (VDF TrFE) films required raw materials simple, convenient operation, easy control, good crystallinity, low preparation temperature, non-toxic and environmentally friendly, suitable for mass production, the film can be widely used in electronic devices, especially the resistive switching memory.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及开关存储器
,尤其涉及一种基于有机铁电薄膜的电阻开关存储器及其制备方法。
技术介绍
近年来,阻变存储器作为一种新型的非易失性存储器受到了学术界和工业界的广泛关注。这种存储器具有存储速度快、功耗低、结构简单、可高密度集成等优点,更有望集合动态存储器的成本优势、静态存储器的高速读写和闪存的非易失性的特点,成为一种通用存储器。电阻开关特性首先由Hickmott等人在1962年发现,但是直到2000年,Ignatiev研究小组发现了氧化物薄膜的电阻开关特性后,人们才把目光聚焦在这种非常有应用价值的特性上。电阻开关存在于很多材料中,如钙钛矿材料、有机材料、非晶硅、金属氧化物材料等。目前,研究较多的是二元金属氧化物,如ZnO、NiO、TiO2、CuOx、Nb2O5、ZrO2等。当下,基于有机材料的电子器件因其便携性和可延展性而受到非常多的关注。然而,基于有机材料的电阻开关器件却鲜有报道,这主要是有机材料的电阻开关性能都不是很稳定,尤其是循环性能和疲劳性能都非常差。为适应下一代电子产品便携性、形状可变性和人体适用性等方面的进一步需求,基于有机材料的电子器件逐渐演变为电子产业发展的趋势。然而在有机阻变存储器方面却一直没有得到有效的突破。当下研究比较多的阻变存储器,虽然性能优异,但是这种阻变特性大多是在无机材料中才有,这严重制约了存储器件的多样化发展。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的缺点与不足,提供一种基于有机铁电P(VDF-TrFE)薄膜的电阻开关存储器及其制备方法,利用溶胶凝胶技术(Sol-Gel),通过甩膜可以制作出性能非常优异的基 ...
【技术保护点】
一种基于有机铁电P(VDF‑TrFE)薄膜的电阻开关存储器,其特征在于:一所述电阻开关存储器包括:衬底、衬底上的阻变介质层以及阻变介质层上的电极膜;其中,衬底从上至下依次为Pt、Ti、SiO2和Si;阻变介质层为有机铁电P(VDF‑TrFE)薄膜。
【技术特征摘要】
1.一种基于有机铁电P(VDF-TrFE)薄膜的电阻开关存储器,其特征在于:一所述电阻开关存储器包括:衬底、衬底上的阻变介质层以及阻变介质层上的电极膜;其中,衬底从上至下依次为Pt、Ti、SiO2和Si;阻变介质层为有机铁电P(VDF-TrFE)薄膜。2.根据权利要求1所述的电阻开关存储器,其特征在于:所述有机铁电P(VDF-TrFE)薄膜厚度为300-1500纳米。3.根据权利要求1所述的电阻开关存储器,其特征在于:所述电极膜为30nm的金膜。4.根据权利要求1所述的电阻开关存储器,其特征在于:所述Pt层厚度为50nm。5.一种如权利要求1-4任一项所述的基于有机铁电P(VDF-TrFE)薄膜的电阻开关存储器的制备方法,包括以下步骤:将物质的量比为70:30的有机铁电P(VDF-TrFE)颗粒溶于有机溶液中,配制...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘向力,王成迁,
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学深圳研究生院,
类型:发明
国别省市:广东;44
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