一种扩散炉石英舟结构制造技术
Quartz boat structure of diffusion furnace
The utility model discloses a diffusion furnace quartz boat structure, including quartz holder, fixed on the frame of Zhou Zhou Zhou Zhou Zhou care on the quartz is fixed on the frame of the boat, at least four cross rods along the diffusion furnace quartz tube in the axial direction of the rail is provided with a clamping groove for placing the wafer, the cross bar. The slot spacing and distance consistent. The utility model has the advantages of simple structure and low cost, and can effectively improve the production efficiency of the silicon wafer process.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片工艺设备领域，尤其涉及一种扩散炉石英舟结构。
技术介绍
在光伏行业，高温扩散炉主要用于对单晶硅片、多晶硅片进行掺杂，形成PN结。随着光伏行业的发展，人们一直在追求产能的提升。其中，石英舟是硅片在工艺时的载体。现有的石英舟的结构，使硅片放置在石英舟上后，与炉体石英管的轴线垂直且与水平成87°的角，这样排列的硅片，要增加硅片的数量，只能把石英舟进行加长，这样就会导致炉体的恒温区过长，从而温度控制的难度加大。因此如何提供一种石英舟结构，使炉体恒温区长度不变或者稍微加长的情况下，可以放置更多的硅片，提高生产效率，是业界亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术为了解决现有的问题，提供一种扩散炉石英舟结构，包括石英舟舟托、固定在石英舟舟托上的舟架，固定在舟架上的至少四根横杆，所述横杆沿扩散炉的石英管的轴线方向开设有用于放置硅片的卡槽，各横杆上的卡槽间距及距离一致。在一实施例中，所述横杆设有四根，其中第一、第二根横杆固定在舟架底部，第三、第四根横杆分别固定在第一、第二根横杆两侧的舟架侧边。在上述实施例中，卡槽有两种方式，一种是卡槽与横杆的轴向方向垂直，使硅片与水平面呈90度角度。另一种是卡槽与横杆的轴向方向呈87度，使硅片与水平面呈87度角度。本技术结构简单，石英舟的改造成本较低，通过使硅片与轴线方向平行，可以放置更多的硅片，有效提高生产效率，基本上不改变炉体恒温区的长度。附图说明图1是本技术的剖视图；图2是图1的A-A剖面图。具体实施方式下面结合附图对本技术进一步进行说明。图1至图2示出了本技术的一优选实施例提出的扩散炉石英舟结构，具体包括石英舟舟托1，...
【技术保护点】
一种扩散炉石英舟结构，包括石英舟舟托、固定在石英舟舟托上的舟架，固定在舟架上的至少四根横杆，其特征在于，所述横杆沿扩散炉的石英管的轴线方向开设有用于放置硅片的卡槽，各横杆上的卡槽间距及距离一致。
【技术特征摘要】
1.一种扩散炉石英舟结构，包括石英舟舟托、固定在石英舟舟托上的舟架，固定在舟架上的至少四根横杆，其特征在于，所述横杆沿扩散炉的石英管的轴线方向开设有用于放置硅片的卡槽，各横杆上的卡槽间距及距离一致。2.如权利要求1所述的扩散炉石英舟结构，其特征在于，所述横杆设有四根，其中第一、第二根横杆固定在...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨宝立，周湘源，张勇，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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