一种水冷盘钎焊结构制造技术
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及LED刻蚀机，尤其涉及一种LED刻蚀机水冷盘钎焊结构。
技术介绍
LED刻蚀机是LED光源生产过程中的重要的设备，刻蚀的效果直接关系到光源芯片的质量高低，进而影响光源的质量；刻蚀，它是半导体制造工艺，微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤,是与光刻相联系的图形化处理的一种主要工艺；其中水冷盘在刻蚀工艺区的下方，通过控制盘内水的流量带走工艺过程中产生的热量，实现工艺温度的控制；在洁净的真空反应腔中，不允许除反应气体以外的其他灰尘、杂质等异物的出现，水冷盘的外部经过超声波及化学清洗，满足工艺环境的要求，一旦钎焊式的冷却水道发生泄漏，冷却水会污染工艺环境，同时影响真空度；传统的水冷盘钎焊结构，水冷盘上贯穿的工艺孔与内部的冷却水道之间间隙小，增加了钎焊难度，不但容易堵塞工艺孔和冷却水道，而且容易发生泄漏。
技术实现思路
本技术目的是提供一种水冷盘钎焊结构，解决了以上技术问题。为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本技术所采用的技术方案是：一种水冷盘钎焊结构，包括钎焊片；所述的钎焊片一侧设置有水道盖板，另一侧设置有水道底板；所述的水道盖板上设有第一工艺孔，冷却水进口和冷却水出口；其特征在于；所述的水道底板上设置有第二工艺孔和第一螺旋冷却水道；所述的第一螺旋冷却水道一侧设置有第二螺旋冷却水道；所述的第一螺旋冷却水道和第二螺旋冷却水道之间通过水道弯头连通，周边设置有螺旋凹槽。作为优选的技术方案：所述的第一螺旋冷却水道断面为“∪”形，设置有第一直水道。作为优选的技术方案：所述的第二螺旋冷却水道断面为“∪”形，设置有第二直水道。作为优选的技术方...
【技术保护点】
一种水冷盘钎焊结构，包括钎焊片（1）；所述的钎焊片（1）一侧设置有水道盖板（2），另一侧设置有水道底板（3）；所述的水道盖板（2）上设有第一工艺孔（4），冷却水进口（5）和冷却水出口（6）；其特征在于；所述的水道底板（3）上设置有第二工艺孔（7）和第一螺旋冷却水道（8）；所述的第一螺旋冷却水道（8）一侧设置有第二螺旋冷却水道（9）；所述的第一螺旋冷却水道（8）和第二螺旋冷却水道（9）之间通过水道弯头（11）连通，周边设置有螺旋凹槽（10）。
【技术特征摘要】
1.一种水冷盘钎焊结构，包括钎焊片（1）；所述的钎焊片（1）一侧设置有水道盖板（2），另一侧设置有水道底板（3）；所述的水道盖板（2）上设有第一工艺孔（4），冷却水进口（5）和冷却水出口（6）；其特征在于；所述的水道底板（3）上设置有第二工艺孔（7）和第一螺旋冷却水道（8）；所述的第一螺旋冷却水道（8）一侧设置有第二螺旋冷却水道（9）；所述的第一螺旋冷却水道（8）和第二螺旋冷却水道（9）之间通过水道弯头（11）连通，周边设置有螺旋凹槽（10）。2.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：管明月，周红旗，
申请(专利权)人：靖江先锋半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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