一种大直径石英坩埚的承重埚托制造技术
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种大直径石英坩埚埚，尤其是一种大直径石英坩埚的承重埚托。
技术介绍
目前拉晶生产中的单晶直径不断增大，只有不断提高投料量才能提高成品率和产量，这都需要一种大直径的石英坩埚。而石英坩埚的埚壁较薄，为了对其进行保护，需要一种结构合理的承重埚托。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：提供一种用于拉晶生产中的大直径石英坩埚的承重埚托。为了解决上述技术问题，本技术所采取的技术方案是：一种大直径石英坩埚的承重埚托，包括底托和埚壁护圈；底托的材质为石墨，形状为轴对称的形状，底托的底面的中部为水平支撑面，水平支撑面的周边连接一个圆锥面，圆锥面的母线与水平支撑面之间的角度为20°～30°，底托的顶面为与所述的石英坩埚的底面形状相配合的形状，底托的周边设置有用来与埚壁护圈连接的凹槽；埚壁护圈的材质为碳碳复合材料，形状为上下方向的圆管形状，圆管的内径尺寸与所述的石英坩埚的外径尺寸相匹配；埚壁护圈的底部安装在底托的周边的凹槽中。在所述的底托的周边的下部还设置有方便手抓并抬起该承重埚托的凸起。所述的圆锥面的母线与水平支撑面之间的角度为25°。本技术所取得的有益效果：采用分体型结构，便于操作人员一次性拆除石英坩埚及埚底料部分，减轻操作人员劳动强度，节约拆炉的时间；同时，相比整体结构，可以单一更换任一部件，延长其使用寿命；其埚壁护圈采用韧性更大的碳碳复合材料，高温下形变小，长时间使用不变形，内径无明显变化，石英坩埚受其承托保护更为稳定。下面结合附图和具体实施方式对本技术做进一步详细说明。附图说明图1为本技术的构造示意图。具体实施方式如图所示，一种大直径石英坩埚的承重埚托，包括...
【技术保护点】
一种大直径石英坩埚的承重埚托，其特征在于：包括底托(1)和埚壁护圈(2)；底托(1)的材质为石墨，形状为轴对称的形状，底托(1)的底面的中部为水平支撑面(3)，水平支撑面(3)的周边连接一个圆锥面(4)，圆锥面(4)的母线与水平支撑面(3)之间的角度为20°～30°，底托(1)的顶面(5)为与所述的石英坩埚的底面形状相配合的形状，底托(1)的周边设置有用来与埚壁护圈(2)连接的凹槽；埚壁护圈(2)的材质为碳碳复合材料，形状为上下方向的圆管形状，圆管的内径尺寸与所述的石英坩埚的外径尺寸相匹配；埚壁护圈(2)的底部安装在底托(1)的周边的凹槽中。
【技术特征摘要】
1.一种大直径石英坩埚的承重埚托，其特征在于：包括底托(1)和埚壁护圈(2)；底托(1)的材质为石墨，形状为轴对称的形状，底托(1)的底面的中部为水平支撑面(3)，水平支撑面(3)的周边连接一个圆锥面(4)，圆锥面(4)的母线与水平支撑面(3)之间的角度为20°～30°，底托(1)的顶面(5)为与所述的石英坩埚的底面形状相配合的形状，底托(1)的周边设置有用来与埚壁护圈(2)连接的凹槽；埚壁护圈(2)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：李广哲，焦鹏，陶建涛，赵聚来，
申请(专利权)人：宁晋晶兴电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13
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