柔性基板制作方法和柔性基板技术

本发明专利技术实施例提供了一种柔性基板制作方法和柔性基板，解决了现有柔性基板制作方法的工艺复杂度高以及生产成本高的问题。该柔性基板制作方法包括：在一刚性基板表面形成至少一个凹槽；在所述刚性基板表面涂布柔性衬底材料，所述柔性衬底材料覆盖所述至少一个凹槽；以及对所述柔性衬底材料进行烘烤。

Flexible substrate manufacturing method and flexible substrate

The embodiment of the invention provides a flexible substrate manufacturing method and a flexible substrate, and solves the problem that the prior flexible substrate manufacturing method has the advantages of high process complexity and high production cost. The flexible substrate manufacturing method includes at least one groove is formed on a rigid substrate surface; the rigid substrate surface coated flexible substrate, the flexible substrate material covering the at least one groove; and baking on the flexible substrate material.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示器制备
，具体涉及一种柔性基板制作方法和柔性基板。
技术介绍
柔性液晶显示屏或柔性OLED(有机发光显示器)显示屏中薄膜晶体管(TFT)是制备在一个柔性基板上的。该柔性基板的制备过程一般为：将柔性衬底材料(例如，聚酰亚胺)涂布在一个刚性基板(例如玻璃基板)上，然后再对该柔性衬底材料进行加热烘烤，以固化形成柔性基板。但由于柔性衬底材料与刚性基板的受热膨胀系数不同，热应力会使刚性基板的四周发生翘曲。为了解决上述问题，现有技术中存在两种解决方案。一种是在对柔性衬底材料进行烘烤时采用治具固定刚性基板，以避免刚性基板四周发生翘曲，但采用额外的治具会增加柔性基板制作过程的成本。另一种是人为控制柔性衬底材料的涂布面积，使柔性衬底材料分成很多小块分别涂布在刚性基板上，但这会大大增加柔性基板制作过程的工艺复杂度。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种柔性基板制作方法和柔性基板，解决了现有柔性基板制作方法中为防止基板在烘烤中发生翘曲的工艺复杂度高以及生产成本高的问题。本专利技术一实施例提供的一种柔性基板制作方法和柔性基板包括：在一刚性基板表面形成至少一个凹槽；在所述刚性基板表面涂布柔性衬底材料，所述柔性衬底材料覆盖所述至少一个凹槽；以及对所述柔性衬底材料进行烘烤。其中，在所述刚性基板表面涂布柔性衬底材料，所述柔性衬底材料覆盖所述至少一个凹槽包括：仅在所述刚性基板表面的至少一个凹槽中涂布柔性衬底材料，所述柔性衬底材料仅填充所述至少一个凹槽；或在所述刚性基板表面涂布柔性衬底材料，所述柔性衬底材料覆盖包括所述至少一个凹槽在内的整个刚性基板表面。其中，通过控制所述柔性衬底材料的涂布速度和浆料用量使所述柔性衬底材料覆盖包括所述至少一个凹槽在内的整个刚性基板表面，或使所述柔性衬底材料仅填充所述至少一个凹槽。其中，在所述刚性基板表面涂布柔性衬底材料的方式为以下几项中的一种或多种：旋转涂布，狭缝式涂布和滚轮式涂布。其中，所述至少一个凹槽中每个凹槽的尺寸与所要制作的显示屏体的尺寸相对应。其中，在一刚性基板表面形成至少一个凹槽包括：在所述刚性基板表面涂布光刻胶层；采用掩膜板对所述光刻胶层进行曝光显影以使所述光刻胶层形成掩膜图案，其中所述掩膜图案暴露出刚性基板表面的部分的尺寸与所述至少一个凹槽的尺寸相对应；对暴露的刚性基板表面进行刻蚀以形成所述至少一个凹槽，去除所述光刻胶层。其中，在所述刚性基板表面涂布光刻胶层的方式为以下几项中的一种或多种：旋转涂布，狭缝式涂布和滚轮式涂布。其中，对暴露的所述刚性基板表面进行刻蚀以形成所述至少一个凹槽包括：采用湿法刻蚀工艺对暴露的所述刚性基板表面进行刻蚀以形成所述至少一个凹槽。本专利技术一实施例还提供一种柔性基板，包括：刚性基板，所述刚性基板表面设有至少一个凹槽；柔性衬底材料，涂布于所述刚性基板表面并覆盖所述至少一个凹槽。其中，所述柔性衬底材料覆盖包括所述至少一个凹槽在内的整个刚性基板表面，或仅填充所述至少一个凹槽。本专利技术实施例提供的一种柔性基板制作方法和柔性基板，通过将柔性衬底材料涂布在设置有凹槽的刚性基板上，以将柔性材料层简便地分成多个小块，分散了柔性衬底材料受热时的热应力，避免了刚性基板在受热时四周发生翘曲。同时，整个制作过程既没有采用外部治具，也没有增加柔性衬底材料涂布的工艺难度，相比现有技术降低了柔性基板的生成成本，简化了工艺流程。附图说明图1所示为本专利技术一实施例提供的一种柔性基板制作方法的流程示意图。图2所示为本专利技术一实施例提供的一种刚性基板的结构示意图。图3所示为本专利技术一实施例提供的一种柔性基板的结构示意图。图4所示为本专利技术另一实施例提供的一种柔性基板的结构示意图。图5所示为本专利技术另一实施例所提供的柔性基板制作方法的流程示意图。图6～图9所示为本专利技术一实施例所提供的柔性基板制作方法的原理分解示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。图1所示为本专利技术一实施例提供的一种柔性基板制作方法的流程示意图。如图1所示，该柔性基板制作方法，包括：步骤101：如图2所示，在一刚性基板1表面形成至少一个凹槽2。该至少一个凹槽2的尺寸需与所要制作的显示屏体的尺寸相对应，例如凹槽2的面积尺寸需与所要制作显示屏体的面积尺寸相对应。每个凹槽2在填充了满足柔性基板工艺需求厚度的柔性衬底材料3后，在所填充的柔性衬底材料3表面便可进一步制备薄膜晶体管以制作完整的显示屏体。应当理解，一个刚性基板1上可形成的凹槽2数量可根据刚性基板1的大小以及所要制作的显示屏体的尺寸而定，本专利技术对一个刚性基板1表面所包括的凹槽2数量并不做限定。步骤102：在刚性基板1表面涂布柔性衬底材料3，柔性衬底材料3覆盖至少一个凹槽2。具体而言，柔性衬底材料3在刚性基板1表面的涂布方式可有两种。第一种涂布方式如图3所示，即，仅在刚性基板1表面的至少一个凹槽2中涂布柔性衬底材料3，柔性衬底材料3仅填充该至少一个凹槽2。这样相比于现有技术中将柔性衬底材料3覆盖在平整的刚性基板1上，柔性衬底材料3被该至少一个凹槽2分成了至少一个小块，从而分散了在后续的烘烤过程中柔性衬底材料3的热应力，可有效的避免刚性基板1发生翘曲变形。柔性衬底材料3的另一涂布方式如图4所示，柔性衬底材料3覆盖了包括至少一个凹槽2在内的整个刚性基板1表面。这样该至少一个凹槽2其实将柔性衬底材料3分割成了两种厚度，凹槽2上方柔性衬底材料3的厚度为b，凹槽2外刚性基板1表面柔性衬底材料3的厚度为a，b是大于a的。由于柔性衬底材料3的热应力会随厚度的减少而降低，故凹槽2外刚性基板1表面柔性衬底材料3的热应力会小于凹槽2上方柔性衬底材料3的热应力。因此当凹槽2上方柔性衬底材料3的厚度b满足了柔性基板工艺需求厚度时，相比于现有技术中将柔性衬底材料3全部覆盖在平整的刚性基板1上，整层柔性衬底材料3作为一个整体其整体厚度是有所减薄的，因而受热膨胀时的热应力也是比较小的；同时，多个凹槽2内的柔性衬底材料3也会分散整层柔性衬底材料3的应力，从而避免刚性基板1发生翘曲变形。应当理解，以上两种涂布方式的选择可通过控制柔性衬底材料3的涂布速度和浆料用量实现。若要使柔性衬底材料3仅填充该至少一个凹槽2，则需对柔性衬底材料3的涂布速度和浆料用量进行相对严格的控制；同时，为了使得凹槽2内的柔性衬底材料3厚度能够达到柔性基板工艺需求厚度，凹槽2的深度也需与柔性基板工艺需求厚度相对应。若要使柔性衬底材料3覆盖包括至少一个凹槽2在内的整个刚性基板1表面，则无需对柔性衬底材料3的涂布速度和浆料用量进行相对严格的控制，只要凹槽2上方柔性衬底材料3的厚度能够满足柔性基板工艺需求厚度即可。无论采用以上两种涂布方式中的哪一种，均可起到减小和分散柔性衬底材料3热应力的作用，因此本专利技术对具体采用哪种涂布方式并不做限定。步骤103：对柔性衬底材料3进行烘烤。对柔性衬底材料3进行烘烤后便形成了完整的柔性基板，然后便可在该柔性基板上制作薄膜晶体管。由此可见，本专利技术实施例通过将柔性衬底材料本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性基板制作方法，其特征在于，包括：在一刚性基板表面形成至少一个凹槽；在所述刚性基板表面涂布柔性衬底材料，所述柔性衬底材料覆盖所述至少一个凹槽；以及对所述柔性衬底材料进行烘烤。

【技术特征摘要】
1.一种柔性基板制作方法，其特征在于，包括：在一刚性基板表面形成至少一个凹槽；在所述刚性基板表面涂布柔性衬底材料，所述柔性衬底材料覆盖所述至少一个凹槽；以及对所述柔性衬底材料进行烘烤。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述刚性基板表面涂布柔性衬底材料，所述柔性衬底材料覆盖所述至少一个凹槽包括：仅在所述刚性基板表面的至少一个凹槽中涂布柔性衬底材料，所述柔性衬底材料仅填充所述至少一个凹槽；或在所述刚性基板表面涂布柔性衬底材料，所述柔性衬底材料覆盖包括所述至少一个凹槽在内的整个刚性基板表面。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，通过控制所述柔性衬底材料的涂布速度和浆料用量使所述柔性衬底材料覆盖包括所述至少一个凹槽在内的整个刚性基板表面，或使所述柔性衬底材料仅填充所述至少一个凹槽。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在所述刚性基板表面涂布柔性衬底材料的方式为以下几项中的一种或多种：旋转涂布，狭缝式涂布和滚轮式涂布。5.根据权利要求1至4中任一所述的方法，其特征在于，所述至少一个凹槽中每个凹槽的尺寸与所要制作的显示屏...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺良伟，郭瑞，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32