测试温箱制造技术

本实用新型专利技术提出一种测试温箱，包括箱体，所述箱体内开设有至少一个空腔，空腔壁隔开室温环境和所述箱体内的测试环境；所述空腔的至少一空腔壁可打开和关闭，并且该空腔的腔壁能够隔热，腔体内外之间可以实现直接的电气连接。本实用新型专利技术涉及半导体功能及可靠性测试领域，改进现有温箱结构，能够同时在一个温箱内测试多个被测对象，温箱内密闭的测试环境不受影响。温箱内外的电气连接通道不再受到侧面连接方式中的尺寸限制，可以直接实现超大通道容量、最短路径的电气连接，从而提高试验密度、实现符合现有高速电子产品的高速要求。

Test temperature box

The utility model provides a temperature test box, which comprises a box body, wherein the box body is provided with at least one cavity, the cavity wall test environment at ambient temperature and separated from the box body; at least one cavity wall of the cavity can be opened and closed, and the cavity wall of the cavity can be insulated, between inside and outside the cavity direct electrical connection. The utility model relates to the field of semiconductor function and reliability testing, which improves the structure of the existing temperature box, and can simultaneously test a plurality of measured objects in a temperature chamber. Electrical connection box temperature inside and outside the channel no longer is restricted by the size of side connection, can achieve electrical large channel capacity, shortest path connection, so as to improve test density, meet the requirement of high speed of the high-speed electronic products.

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体功能及可靠性测试领域，具体涉及一种测试温箱，该测试温箱可用于被测对象在指定温度环境下的测试。
技术介绍
在半导体行业中，所有电子产品及其部件，如手机或者手机内部芯片、器件，或者航天部件等，均需要进行功能及可靠性测试，包括在极限高温或极限低温环境下测试这些对象，通常是将这些被测对象放置在测试温箱中，设置温箱内的温度，并通过施加电信号并引出测试数据，从而监控被测对象的性能。现有的温箱，通常的结构为一箱体，箱体具有一个可打开关闭的箱门，箱体内部以水平或垂直方式放置一个或多个试验载板，在试验载板上放置被测对象，关闭箱门后形成一相对封闭的测试环境。由于需要对被测对象进行测试监控，一些做法是将控制被测对象运行并对其工作状态进行监控的控制部件直接放置于箱体内，而由于箱体内的温度通常是极限温度，控制部件在极限温度下工作是非常容易老化的，因而这种方式下控制部件的寿命很短；另一些做法是通过在箱体上开孔或槽，然后通过信号线或插座引出电气连接通道到外部的测试设备中，然而该方式依然存在问题，受开孔大小、导线直径、插座尺寸以及插座上接触点密度的限制，温箱内外只能实现较少的电气连接通道；而现在不少中、大规模电子产品对电气通道的需求远超出这种方式可以提供的通道数目，导致无法对受测对象实现全面的功能分析；此外，一根监控信号线通常只能连接一被测对象，如果一块试验载板原本可以实现更高试验密度，但因监控信号无法全部引出而被迫降低试验密度，将导致试验效率受限，试验成本增加。 此外，目前通过信号线或插座接口引出的方式，信号线的传输速率低；而现有的电子产业，数据传输速率要求越来越高，该信号线引出的方式无法满足如此高速率的信号传输，从而模拟并测试产品在真实工作情况下的功能及可靠性情况。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种测试温箱，改进现有温箱，能够在一个温箱内突破传统电气通道形式对内外连接的通道数量及测试速度的限制，大幅度提高温箱试验效率；温箱内密闭的测试环境不受影响，并且通道的高速传输速率可以真正适应现有的电子产品的试验需求。为解决上述问题，本技术提出一种测试温箱，包括箱体，所述箱体内设有至少一个温区，每个温区内开设至少一个空腔，空腔壁隔开室温环境和所述箱体的测试环境；所述空腔的至少一空腔壁由可拆卸的试验载板构成，通过试验载板打开和关闭空腔，该试验载板插入箱体后形成的空腔壁能够隔热，且试验载板上的分别位于空腔内外的两个表面之间具有电气连接通道。根据本技术的一个实施例，所述箱体内开设有多个空腔，各空腔在一个方向上或多个方向上并列间隔布置。根据本技术的一个实施例，在所述空腔的一个立面上设置一透明窗口以及相关控制按键，当试验载板插入箱体形成密闭空腔后，通过透明观察窗口观察内部试验情况，通过相关按键进行控制电气连接通道上的被测试对象的测试操作。根据本技术的一个实施例，在所述可拆卸试验载板上、在与箱体相交一个边缘具有多个插拔式电力接口、电信号或/和光信号通信接口，使得试验载板插入温箱后，从温箱本体获取电力供应，同时通过通信接口将试验载板接入到外部控制系统。根据本技术的一个实施例，每个所述温区均还包括至少一个温度传感 及温度控制部件，置于所述箱体的测试环境内，用以使测试环境达到指定的测试温度。根据本技术的一个实施例，每个温区均还包括至少一个循环气流控制装置，置于所述温区的测试环境内，用以控制在所述温区的测试环境内形成循环气流。根据本技术的一个实施例，在所述空腔上的当试验载板插入后与试验载板接触的位置，设置有用以连接试验载板的插拔式电力接口、电信号或/和光信号通信接口，使得试验载板插入温箱后，从温箱本体获取电力供应，同时通过通信接口将试验载板接入到外部控制系统。根据本技术的一个实施例，所述试验载板构造为一可插入或抽出的试验载板式结构，试验载板的面向测试环境的一面安放被测试对象；试验载板的面向室温环境的一面设有支持被测试对象运行的控制子系统。根据本技术的一个实施例，所述试验载板上设置有一定数量设置在所述电气连接通道中连通空腔内外的导体部件，以电导通连接置于测试环境中的被测对象和置于室温环境中的控制子系统；所述试验载板上还设有隔热部件，所述隔热部件包围导体部件并充满在测试环境及室温环境之间的部件的间隙，以隔开室温环境和所述箱体的测试环境。根据本技术的一个实施例，所述试验载板中的导体部件为具有一定活动行程的金属探针，所述隔热部件同时构成为所述金属探针的探针容器的一部分。根据本技术的一个实施例，所述箱体对应所述试验载板的位置处设有控制机构，用于将试验载板锁定或释放，及控制打开或关闭气体流动通道；正常使用中，当试验载板被控锁定时，控制打开气体流动通道；当气体流动通道被控关闭后，控制释放试验载板，使其对应的空腔被打开时不会影响箱体内其它腔体的正常工作。采用上述技术方案后，本技术相比现有技术具有以下有益效果：通过 在箱体内开设空腔，将现有的多个试验载板封闭在一个腔体内的箱体构造成为了包括一封闭测试环境的箱体，及位于箱体内但又被室温环境相隔开的多个独立的空腔，每个空腔仅设置一块试验载板，这样就可以避免在试验过程中需要处置某个试验载板时，因打开箱门而导致相同腔体内其它所有试验载板受到影响的情况。同时，还完全改变了现有试验载板必须完全处于试验箱腔体内部的情况，而将试验载板本身改造成密闭的空腔的一个组成部分，从而使得试验载板的两面分别处于试验温度环境内和开放的室温环境内。温箱内外的电气连接通道不再受到侧面连接方式中的尺寸限制，可以直接实现超大通道容量、最短路径的电气连接，从而提高试验密度、实现符合现有高速电子产品的高速要求。由于被试验对象与控制子系统分别位于试验载板的两面，中间设置电气连接通道，可以通过高密度短距离的金属探针直接连接，因而可以使得被测对象的测试数据通过金属探针直接传输给测试设备，而无需像现有技术的信号线一样通过长引线传输，解决了长引线传输速率低的问题。并且可以同时在箱体内的不同空腔中放置不同被测对象进行测试，实现了一箱体同时测试多被测对象；并且将控制子系统放置在室温环境中，不会像一些将支持部件放置在试验板上的应用那样因高低温环境而快速老化，因而寿命可以较久，工作更稳定。附图说明图1为本技术一实施例的测试温箱的半剖立体结构示意图；图2为本技术一实施例的测试温箱的侧面剖视结构示意图；图3为本技术一实施例的测试温箱的立体结构示意图；图4为本技术另一实施例的测试温箱的立体结构示意图；图5为本技术一实施例的测试温箱的内部气流示意图；图6为本技术一实施例的测试温箱的电导通连接结构示意图。图7为本技术一实施例的测试温箱的多温区结构示意图。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似推广，因此本技术不受下面公开的具体实施的限制。图1简单地示出了本技术实施例测试温箱，包括箱体1，在该箱体1内至少设有一个温区本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试温箱，包括箱体，其特征在于，所述箱体内设有至少一个温区，每个温区内开设至少一个空腔，空腔壁隔开室温环境和所述箱体的测试环境；所述空腔的至少一空腔壁由可拆卸的试验载板构成，通过试验载板打开和关闭空腔，该试验载板插入箱体后形成的空腔壁能够隔热，且试验载板上的分别位于空腔内外的两个表面之间具有电气连接通道。

【技术特征摘要】
1.一种测试温箱，包括箱体，其特征在于，所述箱体内设有至少一个温区，每个温区内开设至少一个空腔，空腔壁隔开室温环境和所述箱体的测试环境；所述空腔的至少一空腔壁由可拆卸的试验载板构成，通过试验载板打开和关闭空腔，该试验载板插入箱体后形成的空腔壁能够隔热，且试验载板上的分别位于空腔内外的两个表面之间具有电气连接通道。2.如权利要求1所述的测试温箱，其特征在于，所述箱体内开设有多个空腔，各空腔在一个方向上或多个方向上并列间隔布置。3.如权利要求1所述的测试温箱，其特征在于，在所述空腔的一个立面上设置一透明窗口以及相关控制按键，当试验载板插入箱体形成密闭空腔后，通过透明观察窗口观察内部试验情况，通过相关按键进行控制电气连接通道上的被测试对象的测试操作。4.如权利要求3所述的测试温箱，其特征在于，在所述可拆卸试验载板上、在与箱体相交一个边缘具有多个插拔式电力接口、电信号或/和光信号通信接口，使得试验载板插入温箱后，从温箱本体获取电力供应，同时通过通信接口将试验载板接入到外部控制系统。5.如权利要求1-4中任意一项所述的测试温箱，其特征在于，每个所述温区均还包括至少一个温度传感及温度控制部件，置于所述箱体的测试环境内，用以使测试环境达到指定的测试温度。6.如权利要求5所述的测试温箱，其特征在于，每个温区均还包括至少一个循环气流控制装置，置于所述温区的测试环境内，用以控制在所述温区的测试环境内形成循环气流。7.如权利要求1所述的测试温箱...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵龙，
申请(专利权)人：上海战旗电子有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31