压印装置及物品的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种压印装置及物品的制造方法。该压印装置使用模具在基板上的压印材料中形成凹凸图案，该压印装置包括：固化单元，其被构造为固化所述压印材料；移动单元，其被构造为使所述模具和所述基板相对地移动；检测单元，其被构造为检测由所述模具反射的光与由所述基板反射的光的图案；以及处理单元，其被构造为基于在通过使用所述移动单元加宽所述模具与所述基板之间的间隔而将所述模具与所述压印材料分离期间、由所述检测单元检测到的图案，来获得关于所述模具与所述基板上的所固化的压印材料的分离状态的信息。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及压印装置及物品的制造方法。
技术介绍
近来，作为诸如各种器件(例如，诸如IC和LSI的半导体器件、液晶器件、诸如CCD的摄像器件、以及磁头)的物品的制造技术，能够形成精细图案的压印技术已受到关注。在诸如硅晶片或玻璃板的基板上的树脂与形成有精细图案的模具(模)彼此接触的状态下，压印技术固化树脂并将精细图案转印到基板上。压印技术包括几种树脂固化方法，已知作为树脂固化方法之一的光固化方法。在光固化方法中，在透明模具与紫外线固化树脂接触的状态下进行紫外线照射，然后在曝光并固化树脂后，分离模具。利用光固化方法的压印技术适合于制造器件，因为其可以例如经由透明模具来观察基板上的对准标记。在利用这种压印技术的压印装置中，将模具与基板上的固化树脂分离的脱模可能引起问题。如果不适当地进行脱模，则基板上的固化树脂可能被撕裂，树脂可能残留在模具的图案(凹部)中引起堵塞，并且模具或基板可能从预定位置偏移(或变形)。这些导致物品的成品率以及压印装置的运行率下降。因此，适当地进行脱模导致物品的成品率以及压印装置的运行率增大。在日本特表2006-528088号公报和日本特开2011-205039号公报中提出了针对该目的的技术。日本特表2006-528088号公报公开了一种通过在压印装置外部向模具的图案表面涂敷表面活性剂(脱模剂)来减小模具与树脂之间的粘附性的技术。日本特开2011-205039号公报公开了一种通过在压印装置中提供测量脱模所需的力的测量单元并且在该力超出阈值的情况下向基板涂敷脱模剂来减小模具与树脂之间的粘附性的技术。在各传统技术中，能够降低基板上形成的图案中的缺陷的发生率。然而，难以把握模具与树脂之间的分离状态，并且物品的成品率以及压印装置的运行率在异常脱模条件下可能会受影响。特别地，由于异常脱模由各种因素引起，因此为了明确这些因素，需要把握(评价)模具与基板之间的分离状态。另一方面，可以通过测量脱模所需的力来估计模具与基板之间的分离状态。然而，其精度较低，还为了设置阈值还需要进行困难的工作。
技术实现思路
本专利技术供给一种优势在于将模具与基板上的固化压印材料分离的同时评价模具与压印材料之间的分离状态的压印装置。根据本专利技术的一方面，提供一种压印装置，其使用模具在基板上的压印材料中形成凹凸图案，该压印装置包括：固化单元，其被构造为固化所述压印材料；移动单元，其被构造为使所述模具和所述基板相对地移动；检测单元，其被构造为检测由所述模具反射的光与由所述基板反射的光的图案；以及处理单元，其被构造为基于在通过使用所述移动单元加宽所述模具与所述基板之间的间隔而将所述模具与所述压印材料分离期间、由所述检测单元检测到的图案，来获得关于所述模具与所述基板上的所固化的压印材料的分离状态的信息。根据本专利技术的另一方面，提供一种物品的制造方法，该制造方法包括以下步骤：使用压印装置在基板上形成图案；以及对形成有所述图案的所述基板进行处理，其中，所述压印装置使用模具在所述基板上的压印材料中形成凹凸图案，所述压印装置包括：固化单元，其被构造为固化所述压印材料；移动单元，其被构造为使所述模具和所述基板相对地移动；检测单元，其被构造为检测由所述模具反射的光与由所述基板反射的光的图案；以及处理单元，其被构造为基于在通过使用所述移动单元加宽所述模具与所述基板之间的间隔而将所述模具与所述压印材料分离期间、由所述检测单元检测到的图案，来获得关于所述模具与所述基
板上的所固化的压印材料的分离状态的信息。根据以下参照附图对示例性实施例的描述，本专利技术的其他特征将变得清楚。附图说明图1是示出根据本专利技术的一方面的压印装置的布置的示意图。图2是示出根据本专利技术的一方面的压印装置的布置的示意图。图3是示出根据本专利技术的一方面的压印装置的布置的示意图。图4是示出干涉图案、以及模具与基板之间的间隙的图。图5A至图5D是示出在将模具与基板上的固化树脂分离时干涉图案的改变的图。图6A和图6B是示出当将模具与基板的投射(shot)区域上的树脂分离时的干涉图案的图。图7A和图7B是示出在各干涉条纹的各距离差超出阈值的情况下的干涉图案的图。图8A和图8B是示出当将模具与基板上的固化树脂分离时的干涉图案的图。具体实施方式以下将参照附图等来描述本专利技术的优选实施例。注意，在整个附图中相同的附图标记表示相同的部件，将不对其重复描述。<第一实施例>图1、图2和图3是各自示出根据本专利技术的一方面的压印装置100的布置的示意图。压印装置100是进行利用模具使压印材料在基板上成型并且在基板上形成图案(凹凸图案)的压印处理的光刻装置。压印装置100采用树脂作为压印材料，并且采用通过紫外线照射来固化树脂的光固化方法作为树脂固化方法。压印装置100包括基板台102、模具台106、树脂供给单元108、移
动单元110、光源112、观测器(scope)114、检测单元116、处理单元118、涂布单元119以及控制单元120。基板台102在保持诸如硅晶片或玻璃板的基板ST的同时经由基板卡盘移动。基板台102将基板ST定位在预定位置。基板台102通过例如驱动致动器(例如线性电机)来移动。模具104由透过来自光源112的紫外线的材料(例如石英)形成。模具104具有已形成应当被转印到基板ST的图案(三维图案)的图案表面104a。模具台106经由模具卡盘保持模具104。树脂供给单元108包括将树脂RS作为液滴排出的多个分配器，并且将树脂RS供给(涂敷)到基板(应当形成图案的投射区域)上。更具体地，通过在将树脂RS从形成树脂供给单元108的分配器排出的同时移动(扫描移动或步进式移动)基板台102，可以将树脂RS涂敷到基板上。移动单元110包括由气缸或线性电机形成的致动器，并且对保持模具104的模具台106进行移动，即对模具104进行移动。如图2中所示，移动单元110通过将模具104向下移动(即，缩小模具104与基板ST之间的间隔)来使模具104与基板上的树脂RS彼此接触。另外，如图3中所示，移动单元110通过将模具104向上移动(即，加宽模具104与基板ST之间的间隔)来将模具104与基板上的固化树脂RS分离(脱模)。如上所述，移动单元110具有使模具104和基板ST相对移动的功能。注意，可以通过对保持基板ST的基板台102进行移动，即垂直移动基板ST或者垂直移动模具104和基板ST二者，来使模具104和基板ST相对移动。在模具104与基板上的树脂RS彼此接触的状态下，光源112经由模具104利用紫外线照射树脂RS并且固化树脂RS。换言之，光源112用作固化基板上的树脂RS的固化单元。观测器114检测基板ST上配设的对准标记以及模具104上配设的对准标记。观测器114还可以检测基板台102上配设的基准标记等。检测单元116包括发射具有窄波长范围的光(照明光)的光源，例
如，诸如卤素灯、氙灯、或金属卤化物等的辐射灯。检测单元116检测模具104反射的光与基板ST反射的光之间的干涉图案(干涉条纹，即，所谓的牛顿环)，从而获得关于模具104与基板ST之间的分离状态的信息。令d为模具104与基板ST之间的间隙，λ为照明光的波长。在这种情况下，当满足2d＝mλ(m是自然数)时，模具本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压印装置，其使用模具在基板上的压印材料中形成凹凸图案，该压印装置包括：固化单元，其被构造为固化所述压印材料；移动单元，其被构造为使所述模具和所述基板相对地移动；检测单元，其被构造为检测由所述模具反射的光与由所述基板反射的光的图案；以及处理单元，其被构造为基于在通过使用所述移动单元加宽所述模具与所述基板之间的间隔而将所述模具与所述压印材料分离期间、由所述检测单元检测到的图案，来获得关于所述模具与所述基板上的所固化的压印材料的分离状态的信息。

【技术特征摘要】
2014.08.14 JP 2014-1651981.一种压印装置，其使用模具在基板上的压印材料中形成凹凸图案，该压印装置包括：固化单元，其被构造为固化所述压印材料；移动单元，其被构造为使所述模具和所述基板相对地移动；检测单元，其被构造为检测由所述模具反射的光与由所述基板反射的光的图案；以及处理单元，其被构造为基于在通过使用所述移动单元加宽所述模具与所述基板之间的间隔而将所述模具与所述压印材料分离期间、由所述检测单元检测到的图案，来获得关于所述模具与所述基板上的所固化的压印材料的分离状态的信息。2.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述处理单元通过将由所述检测单元检测到的图案与当所述模具与所述压印材料正常分离时获得的基准图案进行比较，来获得所述信息。3.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述处理单元基于所述图案，获得在将所述模具与所述压印材料分离期间所述模具的变形量作为所述信息。4.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述处理单元基于所述图案，获得所述压印材料和所述模具彼此分离的区域与所述压印材料和所述模具彼此不分离的区域之间的边界位置作为所述信息。5.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述处理单元基于所述图案，获得所述基板的基准位置与边界位置之间的距离作为所述信息，该边界位置在所述压印材料和所述模具彼此分离的区域与所述压印材料和所述模具彼此不分离的区域之间。6.根据权利要求5所述的压印装置，其中，所述基准位置包括所述基板上的投射区域中的重心位置。7.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述检测单元在将所述模具与所述基板上的所固化的压印材料分离期间检测多个图案，并且所述处理单元基于所述多个图案，获得将所述模具与所述压印材料
\t分离所需的时间作为所述信息。8.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述检测单元在将所述模具与所述基板上的所固化的压印材料分离期间检测多个图案，并且所述处理单元基于所述多个图案，获得当所述模具与所述压印材料分离时所需的力作为所述信息。9.根据权利要求1所述的压印装置，所述压印装置还包括：控制单元，其被构造为基于由所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：宝田洋佑，相原泉太郎，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP