一种扫描隧道显微镜制造技术

本发明专利技术公开了一种扫描隧道显微镜，包括机架，所述显微镜还包括沿前后方向滑动地安装在所述机架上的上基座、沿左右方向滑动地安装在所述上基座上的下基座，所述下基座还能够随所述上基座相对所述机架在前后方向上滑动，所述下基座上还设有用于放置样品的放样平台。该结构简单、紧凑，安装方便，同时大大增加了放样平台上样品的放置面积，提高了检测的精确度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种扫描隧道显微镜。
技术介绍
扫描隧道显微镜，是一种利用量子理论中的隧道效应探测物质表面结构的仪器，是将探针接近样品表面，然后在样品表面进行扫描，从而得到材料的表面信息。现有技术中的扫描隧道显微镜，通过放样平台在基座上在X轴与Y轴方向上运动来达到全面检测样品的目的，为了达到上述目的，通常扫描隧道显微镜中的放样结构需做的较大才能满足上述要求，而导致放样平台上的放样面积大大缩小。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术的不足，提供一种扫描隧道显微镜，其结构简单、紧凑，增大了放样平台上样品的放置面积。为达到上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种扫描隧道显微镜，包括机架，所述显微镜还包括沿前后方向滑动地安装在所述机架上的上基座、沿左右方向滑动地安装在所述上基座上的下基座，所述下基座还能够随所述上基座相对所述机架在前后方向上滑动，所述下基座上还设有用于放置样品的放样平台。优选地，所述上基座与所述机架两个部件中的一个部件上开设有沿前后延伸的第一滑槽，另一个部件上固设有能够沿所述第一滑槽的槽道延伸方向滑动地卡设在所述第一滑槽内的第一凸起部；所述下基座与所述上基座两个部件中的一个部件上开设有沿左右方向延伸的第二滑槽，另一个部件上固设有能够沿所述第二滑槽的槽道延伸方向滑动地卡设在所述第二滑槽内的第二凸起部。进一步优选地，所述上基座的左右两侧部上相对设有一对所述第一滑槽，相应地，所述机架的左右两侧部上设有一对所述第一凸起部；所述上基座的前后两侧部上相对设有一对所述第二滑槽，相应地，所述下基座的前后两侧部上设有一对所述第二凸起部。进一步优选地，所述第一滑槽、所述第一凸起部两个部件中至少有一个部件上安装有耐摩擦片；所述第二滑槽、所述第二凸起部两个部件中至少有一个部件上也安装有耐摩擦片。优选地，所述上基座左右两侧部中的一侧部与所述机架间设有供所述上基座钩挂在所述机架上的第一弹性钩挂件；所述下基座的前后两侧部中的一侧部与所述上基座间设有供所述下基座钩挂在所述上基座上的第二弹性钩挂件。通过压缩或释放第一弹性钩挂件及第二弹性钩挂件可分别控制第一凸起部与第一滑槽间、第二凸起部与第二滑槽间的摩擦力及压力。进一步优选地，所述第一弹性钩挂件与所述第二弹性钩挂件均为带钩挂孔的“T”型簧片。进一步优选地，所述上基座的左侧部与所述机架间设有所述第一弹性钩挂件，所述上基座的左右两侧部上相对开设有一对沿前后方向延伸的第一滑槽，所述第一弹性钩挂件上及所述机架的右侧部上分别设有能够沿所述第一滑槽的槽道延伸方向滑动地卡设在所述第一滑槽内的第一凸起部。进一步优选地，所述下基座的后侧部与所述上基座间设有所述第二弹性钩挂件，所述上基座的前侧部与所述下基座的后侧部上分别开设有沿左右方向延伸的第二滑槽，所述下基座的前侧部与所述第二弹性件上分别设有能沿所述第二滑槽的槽道延伸方向滑动地卡设在所述第二滑槽内的第二凸起部。优选地，所述上基座与所述机架间、所述下基座与所述上基座间设置有压电陶瓷片，通过所述压电陶瓷片的电反馈信号驱动所述上基座在所述机架上沿前后方向滑动、所述下基座在所述上基座上沿左右方向滑动。由于上述技术方案的运用，本专利技术与现有技术相比具有下列优点：本专利技术的扫描隧道显微镜，通过将上基座钩挂在机架上、下基座钩挂在上基座上，从而大大增加了放样平台上样品的放置面积，且该结构更为简单、紧凑，样品检测更为精确，节省的空间能够给磁场等其他实验设施提供条件。附图说明附图1为本专利技术所述的扫描隧道显微镜的结构示意图一；附图2为本专利技术所述的扫描隧道显微镜的结构示意图二；其中：1、机架；11、第一凸起部；2、上基座；21、第一滑槽；22、第二滑槽；3、下基座；31、第二凸起部；32、钩挂臂；4、放样平台；5、耐摩擦片；6、第一弹性件；7、第二弹性件；8、钩挂孔；9、压电陶瓷片。具体实施方式下面结合附图来对本专利技术的技术方案作进一步的阐述。参见图1、图2所示，一种扫描隧道显微镜，包括机架1、沿前后方向滑动地安装在机架1上的上基座2、沿左右方向滑动地安装在上基座2上的下基座3，该下基座3还能够随上基座2相对机架1在前后方向上滑动，该下基座3上还设有用于放置样品的放样平台4。这里，该上基座2与机架1两个部件中的一个部件上开设有沿前后方向延伸的第一滑槽21，另一个部件上固设有能够沿第一滑槽21的槽道延伸方向滑动地卡设在第一滑槽21内的第一凸起部11；下基座3与上基座2两个部件中的一个部件上开设有沿左右方向延伸的第二滑槽22，另一个部件上固设有能够沿第二滑槽22的槽道延伸方向滑动地卡设在第二滑槽22内的第二凸起部31。具体的，上基座2的左右两侧部上开设有一对第一滑槽21，相应地，机架1上设有一对与第一滑槽21相配合的第一凸起部11；上基座2的前后两侧部上开设有一对第二滑槽22，相应地，下基座3上设有一对与第二滑槽22相配合的第二凸起部31。为了降低凸起部与滑槽间的磨损，这里，该第一滑槽21、第一凸起部11两个部件中至少有一个部件上安装有耐摩擦片5；第二滑槽22、第二凸起部31两个部件中至少有一个部件上安装有耐摩擦片5。这里，上基座2与机架1间、下基座3与上基座2间设置有压电陶瓷片9，通过压电陶瓷片9的电反馈信号驱动上基座2在机架1上沿前后方向滑动、下基座3在上基座2沿左右方向滑动。为了使结构更紧凑、安装更简单，这里，上基座2左侧部与机架1间设有供上基座2钩挂在机架1上的第一弹性钩挂件6；下基座3的后侧部与上基座2间设有供下基座3钩挂在上基座2上的第二弹性钩挂件7，这里的第一弹性钩挂件6与第二弹性钩挂件7均为带钩挂孔8的“T”型簧片。通过设置“T”型簧片，不仅有利于上基座2与机架1间、下基座3与上基座2间的连接，同时通过调节簧片的压缩情况来调节第一滑槽21与第一凸起部11间、第二滑槽22与第二凸起部31间的摩擦力及压力。优选地，该上基座2的左右两侧部上相对开设有一对沿前后方向延伸的第一滑槽21，则第一弹性钩挂件6与机架1的右侧部上分开设有第一凸起部11；该上基座2的前侧部与下基座3的后侧部上分别开设有沿左右方向延伸的第二滑槽22，则第二弹性钩挂件7与下基座3的前侧部上分别设有第二凸起部31。进一步优选地，下基座3的前侧部的左右两侧上分别设有沿上下方向延伸的钩挂臂32，钩挂臂32的前侧部上设有所述的第二凸起部31。通过上述设置，不仅使得该放样结构更为紧凑、安装更为简单，同时还大大增加了放样平台4上样品的放置面积，提高了检测的精确度，且节省出来的空间还能给磁场等其他实验设施提供条件。上述实施例只为说明本专利技术的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本专利技术的内容并据以实施，并不能以此限制本专利技术的保护范围。凡根据本专利技术精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扫描隧道显微镜，包括机架，其特征在于，所述显微镜还包括沿前后方向滑动地安装在所述机架上的上基座、沿左右方向滑动地安装在所述上基座上的下基座，所述下基座还能够随所述上基座相对所述机架在前后方向上滑动，所述下基座上还设有用于放置样品的放样平台。

【技术特征摘要】
1.一种扫描隧道显微镜，包括机架，其特征在于，所述显微镜还包括沿前后方向滑动地安装在所述机架上的上基座、沿左右方向滑动地安装在所述上基座上的下基座，所述下基座还能够随所述上基座相对所述机架在前后方向上滑动，所述下基座上还设有用于放置样品的放样平台。2.根据权利要求1所述的扫描隧道显微镜，其特征在于，所述上基座与所述机架两个部件中的一个部件上开设有沿前后延伸的第一滑槽，另一个部件上固设有能够沿所述第一滑槽的槽道延伸方向滑动地卡设在所述第一滑槽内的第一凸起部；所述下基座与所述上基座两个部件中的一个部件上开设有沿左右方向延伸的第二滑槽，另一个部件上固设有能够沿所述第二滑槽的槽道延伸方向滑动地卡设在所述第二滑槽内的第二凸起部。3.根据权利要求2所述的扫描隧道显微镜，其特征在于，所述上基座的左右两侧部上相对设有一对所述第一滑槽，相应地，所述机架的左右两侧部上设有一对所述第一凸起部；所述上基座的前后两侧部上相对设有一对所述第二滑槽，相应地，所述下基座的前后两侧部上设有一对所述第二凸起部。4.根据权利要求2或3所述的扫描隧道显微镜，其特征在于，所述第一滑槽、所述第一凸起部两个部件中至少有一个部件上安装有耐摩擦片；所述第二滑槽、所述第二凸起部两个部件中至少有一个部件上也安装有耐摩擦片。5.根据权利要求1所述的扫描隧道显微镜，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：张磊，
申请(专利权)人：苏州衡微仪器科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32