【技术实现步骤摘要】
本技术涉及等离子刻蚀
,具体为一种稳定且操作便捷的硅片等离子刻蚀用夹具。
技术介绍
晶体硅太阳能电池片制作工艺通常包括制绒、扩散、刻蚀、沉积减反射膜、印刷电极等步骤,刻蚀步骤通常采用等离子刻蚀的方法,去除在扩散过程中硅片边缘形成的扩散磷。在目前的等离子刻蚀操作时,通常是将数百片电池片叠放在一起组成电池片组后再进行刻蚀操作,这需要专用的夹具来把数百片电池片夹紧。现有的太阳能电池片等离子刻蚀用夹具通常包括二块垫板和数根连杆构成,其中一块垫板与连杆垂直固定,另一块垫板可滑动连接在连杆上,二块垫板相互平行,操作人员把数百片电池片放入二块垫板之间,然后通过调节滑动连接在连杆上的一块垫板,把置于二块垫板之间的数百片电池片夹紧,即可放入等离子刻蚀机对电池片的边缘进行等离子刻蚀。由于电池片的表面比较光滑,当数百片电池片叠放在一起时,电池片之间会相互滑动,现有的太阳能电池片等离子刻蚀用夹具无法对数百片电池片进行定位,操作人员需通过手工把数百片电池片叠放整齐,劳动强度较大,同时,采用手工把数百片电池片叠放无法做到完全整齐,对此我们推出一种稳定且操作便捷的硅片等离子刻蚀用夹具,它操作更简单,工作效率更高,使用效果更好。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种稳定且操作便捷的硅片等离子刻蚀用夹具,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种稳定且操作便捷的硅片等离子刻蚀用夹具,包括底座和硅片,所述底座的一端固定安装有第一固定板,所述底座的另一端固定安装有第二固定板,所述第一固定板和第二固定板均垂直于底座,所述第二固定板两边的中部安装有固定杆,所述固 ...
【技术保护点】
一种稳定且操作便捷的硅片等离子刻蚀用夹具,包括底座(1)和硅片(12),其特征在于:所述底座(1)的一端固定安装有第一固定板(2),所述底座(1)的另一端固定安装有第二固定板(3),所述第一固定板(2)和第二固定板(3)均垂直于底座(1),所述第二固定板(3)两边的中部安装有固定杆(4),所述固定杆(4)的另一端固定连接于第一固定板(2)两边的中部,所述第二固定板(3)的中部安装有第一垫板(5),所述第一固定板(2)和第二固定板(3)的下部各安装有两个第一转轴(7),所述第一转轴(7)均安装有活动臂(8),所述活动臂(8)下端的外侧安装有第二转轴(13),所述第一固定板(2)上的第二转轴(13)和第二固定板(3)上的第二转轴(3)上连接安装有活动杆(6),所述硅片(12)相邻的两边放置于两根固定杆(4)之间,所述硅片(12)的一角放置于两根活动杆(6)之间,所述第一固定板(2)的中部安装有丝杠(9),所述丝杠(9)穿过第一固定板(2)延伸到第一固定板(2)的右侧,所述丝杠(9)的右端安装有轴承(10),所述轴承(10)的右侧固定安装有第二垫板(11),所述第二垫板(11)连接于硅片(1 ...
【技术特征摘要】
1.一种稳定且操作便捷的硅片等离子刻蚀用夹具,包括底座(1)和硅片(12),其特征在于:所述底座(1)的一端固定安装有第一固定板(2),所述底座(1)的另一端固定安装有第二固定板(3),所述第一固定板(2)和第二固定板(3)均垂直于底座(1),所述第二固定板(3)两边的中部安装有固定杆(4),所述固定杆(4)的另一端固定连接于第一固定板(2)两边的中部,所述第二固定板(3)的中部安装有第一垫板(5),所述第一固定板(2)和第二固定板(3)的下部各安装有两个第一转轴(7),所述第一转轴(7)均安装有活动臂(8),所述活动臂(8)下端的外侧安装有第二转轴(13),所述第一固定板(2)上的第二转轴(13)和第二固定板(3)上的第二转轴(3)上连接安装有活动杆(6),所述硅片(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:周士杰,陈圣铁,
申请(专利权)人:温州隆润科技有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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