一种沉积类金刚石膜的传动及夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种磁过滤真空阴极弧沉积类金刚石膜的装置，该装置能使夹持的工件同时进行均匀公转和自转运动。本实用新型专利技术的方案为一种对工件进行镀类金刚石膜时采用装置，具有行星轮系传动机构，中心轮、固定轴、支承系杆、回转轴、行星轮，使行星轮的运动是绕固定轴公转和绕回转轴自转的复合运动。行星轮上立杆固定工件。本实用新型专利技术具有如下优点：工件同时进行公转和自转的复合运动，确保从发射源溅射的离子均匀注入工件表面，实现工件的镀膜层厚度均匀，附着力高，膜层摩擦系数小的优点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种传动装置，特别是沉积类金刚石膜的均匀传动及夹持装置。
技术介绍
采用磁过滤真空阴极弧沉积类金刚石膜，能使工件具有极高性能表面，如：膜层厚度均匀、摩擦系数小。在机械、石化、航空航天、军工、汽车等行业的应用十分广泛。阴极电弧沉积是在真空腔体内使靶表面产生一个电弧。电弧由石墨阴极匹配的一个触发电极引起，由于接触点电流密度大，使石墨阴极熔化，向外发射电子，同时大量阴极材料离子被蒸发出来形成离子气体，随即被电场加速的电子碰撞离化，形成等离子体，通过弧形弯管磁场引导等离子体向一个方向运动，在运动过程中，大颗粒离子和中性离子飞溅到管壁上，从而过滤后的小颗粒离子向工件所在位置运动，溅射到工件表面，形成均匀分布的原子团，原子团吸收原子或离子长大达到饱和，原子团通过合并而扩大，完成膜的生成。目前国内一般采用是圆形的真空腔体，同时沿真空腔体圆周相差120°方向均匀分布这样3个同样的磁弯管。若圆柱形工件在真空腔体内中固定不动，等离子体的方向也是不变的，工件面向等离子体运动的表面沉积的等离子数量远大于背向等离子的表面，镀膜层的厚度将很不均匀，工件表面的摩擦系数将较大。对于尺寸精度要求较高零件，不仅要控制表面机械强度性能，还要控制表面类金刚石膜层厚度。就有必要设计开发一套使等离子体在圆柱形表面均匀沉积的装置。
技术实现思路
本技术提供一种装置，能实现使工件沉积的类金刚石膜膜层厚度均匀。本技术的方案为：一种沉积类金刚石膜的均匀传动装置工装，包括中心轮、固定轴、支承系杆、回转轴、行星轮和立杆，中心轮固定，中心轮的中心有固定轴，固定轴与支承系杆固定连接，固定轴下端安装的齿轮可在电机带动下旋转，并带动支承系杆绕固定轴旋转，回转轴与支承系杆通过固定销固定在一起，行星轮通过轴承安装在回转轴上。工装的回转运动机构采用了行星轮系传动机构，中心轮固定，固定轴与支承系杆通过固定销固装在一起，固定轴下端的齿轮在电机带动下做旋转运动。支承系杆在固定轴作用下转动，回转轴与支承系杆通过固定销固定在一起，随支承系杆做同向转动。安装在回转轴上的行星轮也将随支承系杆转动(称之为公转)，由于行星轮与中心轮的外齿啮合传动，使其绕回转轴，即自身轴线，旋转称之为自转。为便于装夹工件，本技术的行星轮沿圆周有一定数量的螺纹圆孔，小直径的立杆与行星轮圆孔连接，立杆上端有小孔。有空工件可直接套在立杆上进行相关表面处理，无孔工件通过钢丝、立杆上端小孔固定。为进一步为保证类金刚石膜膜层厚度均匀，采用电机与固定轴外齿啮合传动，确保支承系杆均匀转动，工件转动均匀。本技术具有如下优点：实现工件的类金刚石膜膜层厚度均匀，表面改性层附着力高，膜层摩擦系数小的优点。附图说明图1 本技术的俯视图；图2 本技术的正视图；图3 本技术的仰视图；图4 本技术的立杆示意图。具体实施方式见图1至图3，本工装的回转运动机构采用了行星轮系传动机构，中心轮3固定，不做旋转运动，固定轴2与支承系杆l通过固定销6安装在一起，固定轴2下端的齿轮在电机带动下做旋转运动，支承系杆在固定轴2作用下，以图示位置和方向绕固定轴2做逆时针旋转时，回转轴4与支承系杆1通过固定销6固定在一起，随支承系杆做同向转动，安装在回转轴4上的行星轮5也将随之逆时针转动(称之为公转)。由于行星轮5与中心轮3的外齿啮合传动，使其绕回转轴(自身轴线)逆时针旋转(称之为自转)。因此。行星轮5的运动是绕固定轴2公转和绕回转轴4自转的复合运动。行星轮5沿圆周有一定数量的螺纹圆孔。由此实现，装夹在行星轮5上的工件自转与旋转，使电极上溅射出的离子均匀的沉积在工件表面。见图4，小直径的立杆7（与行星轮螺纹圆孔连接），立杆7上端有小孔。有孔工件可直接套在立杆上进行处理，立杆7上端小孔固定钢丝，钢丝捆扎固定好无孔工件，无孔工件也可进行相关的镀膜处理。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种沉积类金刚石膜的均匀传动装置，其特征在于：包括中心轮、固定轴、支承系杆、回转轴、行星轮和立杆，中心轮固定，中心轮的中心有固定轴，固定轴与支承系杆固定连接，固定轴下端安装的齿轮可在电机带动下旋转，并带动支承系杆绕固定轴旋转，回转轴与支承系杆通过固定销固定在一起，行星轮通过轴承安装在回转轴上。

【技术特征摘要】
1.一种沉积类金刚石膜的均匀传动装置，其特征在于：包括中心轮、固定轴、支承系杆、回转轴、行星轮和立杆，中心轮固定，中心轮的中心有固定轴，固定轴与支承系杆固定连接，固定轴下端安装的齿轮可在电机带动下旋转，并带动支承系杆绕固定轴旋转，回转轴与支承系杆通过固定销固定在一起，行星轮通过轴承安装在回转轴上。2.根据权利要求1所述的沉积类金刚石膜的均匀传动装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：游中厚，
申请(专利权)人：成都飞机工业集团有限责任公司，
类型：新型
国别省市：四川;51