激光管结构制造技术

本实用新型专利技术提出了一种激光管结构，包括激光管本体、镜片及密封门；激光管本体两端设有开口，镜片安装在每个开口处；密封门安装于激光管本体内，并在镜片自开口处卸下时与激光管本体共同构成一密封空间。在激光管本体两端分别安装两个密封门，当需要更换镜片时，先关闭密封门，使激光管中的特殊气体处于密封状态，接着进行镜片的更换，待镜片更换好后，打开密封门，可正常使用；关闭密封门进行镜片的更换能够避免外界空气进入激光管本体内与特殊气体进行混合，确保更换后激光管的性能，并且防止特殊气体的溢出，降低成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光退火领域，尤其涉及一种激光管结构。
技术介绍
在激光退火领域中，通常采用的都是准分子激光退火(ELA)设备进行激光退火。其中，激光由准分子激光退火设备重要部件之一激光管产生，激光管内部填充各种特殊气体，用于发射激光。具体的，请参考图1，准分子激光退火设备中的激光管结构包括激光管本体10和位于激光管本体10两端的镜片13，其中，激光管本体10包括呈圆筒状的第一部件11以及位于第一部件11两端的第二部件12，所述第二部件12具有一开口，为所述激光管本体10两端的开口，所述镜片13位于开口处，并且两端对齐，以便形成的激光通过。特殊气体贮存在激光管本体10内，并且由两端的镜片13进行密封。在准分子激光退火设备使用一段时间后，通常需要对准分子激光退火设备进行保养，也会对激光管进行保养和维护，如更换镜片13。然而，在更换镜片13时，卸载下需要更换的镜片13后，激光管本体10两端便会暴露在空气中，外界空气则会进入激光管本体10并与内部的特殊气体掺杂，导致后续激光形成出现问题，或者导致准分子激光退火设备的稳定性降低。此外，激光管本体10暴露出的两端还会导致特殊气体的溢出，浪费特殊气体，导致成本增加。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种激光管结构，能够避免在更换镜片时外界空气进入激光管本体内污染特殊气体，提高激光管的密封性，确保更换镜片后激光管的性能良好。为了实现上述目的，本技术提出了一种激光管结构，包括：激光管本体、镜片及密封门；所述激光管本体两端设有开口，所述镜片安装在每个开口处；所述密封门安装于所述激光管本体内，并在所述镜片自所述开口处卸下时与所述激光管本体共同构成一密封空间。进一步的，在所述的激光管结构中，所述密封门为一整体结构，一端固定安装于所述激光管本体中，另一端为可移动端。进一步的，在所述的激光管结构中，所述密封门为折叠门，所述密封门的可移动端能向固定端进行折叠；或者，所述密封门为卷曲门，所述密封门的可移动端能向固定端进行卷曲。进一步的，在所述的激光管结构中，所述密封门为一对开门，所述对开门包括两部分，每部分的一端固定安装于所述激光管本体中，另一端为可移动端。进一步的，在所述的激光管结构中，所述可移动端上设有密封条。进一步的，在所述的激光管结构中，所述密封门与所述激光管本体相连接的部分设有密封圈。进一步的，在所述的激光管结构中，所述密封门的材质与所述激光管本体的材质相同。进一步的，在所述的激光管结构中，所述密封门与所述镜片的距离小于等于3cm。进一步的，在所述的激光管结构中，所述密封门的尺寸大于等于所述开口的尺寸。进一步的，在所述的激光管结构中，所述密封门上设有控制所述密封门的打开或关闭的开关，所述开关位于所述激光管本体外，并与所述密封门连接。与现有技术相比，本技术的有益效果主要体现在：在激光管本体两端分别安装两个密封门，当需要更换镜片时，先关闭密封门，使激光管中的特殊气体处于密封状态，接着进行镜片的更换，待镜片更换好后，打开密封门，可正常使用；关闭密封门进行镜片的更换能够避免外界空气进入激光管本体内与特殊气体进行混合，确保更换后激光管的性能，并且防止特殊气体的溢出，降低成本。附图说明图1为现有技术中激光管结构示意图；图2为本技术实施例一中激光管结构取出镜片后的主视图；图3为沿图2中A-A’的剖面示意图；图4为本技术实施例二中激光管结构取出镜片后的主视图；图5为本技术实施例三中激光管结构取出镜片后的主视图。具体实施方式下面将结合示意图对本技术的激光管结构进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术，而仍然实现本技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本技术的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本技术。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。实施例一请参考图2和图3，在本实施例中，提出一种激光管结构，应用于准分子激光退火设备中，其内部填充有特殊气体，用于配合准分子激光退火设备发射出激光，所述激光管结构包括：激光管本体10、镜片13及密封门20；所述激光管本体10两端设有开口，所述镜片13安装在所述开口处；所述密封门20一端固定安装于所述激光管本体10中，另一端为可移动部分；所述密封门20分别靠近激光管本体10两端的所述镜片13，如图3所示。如图1所示，所述激光管本体10包括呈圆筒状的第一部件11以及位于第一部件11两端的第二部件12，所述第二部件12具有一开口即为所述激光管本体10两端的开口，本实施例中，所述激光管本体10两端的开口均为长条形开口，但应理解，所述激光管本体10的形状可以根据需求作相应变换，同样所述开口的形状也可以有相应变化，例如，三角形开口、五边形开口等。在本实施例中，如图2所示，所述密封门20为一整体结构，一端为固定端22，固定安装于所述激光管本体10中，另一端为可移动端21。所述可移动端21能向固定端22进行多次折叠，从而实现密封门20的打开或者关闭。所述密封门20与所述激光管本体10相连接的部分设有密封圈(图未示出)，密封圈起到密封作用，在密封门20关闭时，确保密封门20的密封效果，防止出现泄漏等情况。所述密封门20的材质与所述激光管本体10的材质相同。所述密封门20与所述镜片13的距离(即密封门20与镜片13在激光管本体10轴向方向上的距离)小于等于3cm，例如为1cm、1.5cm、2cm，能够确保密封门20密封激光管本体10内接近全部的特殊气体。优选方案中，所述密封门20的尺寸大于等于开口的尺寸，这样在镜片13取出时，密封门20能够密封镜片13处的开口位置，避免外界气体进入激光管本体10污染特殊气体。所述密封门20上设有开关(图未示出)，所述开关位于所述激光管本体10外，并与所述密封门20连接，控制所述密封门20的打开和关闭；通常由人工控制所述密封门20的打开和关闭。在进行镜片13的更换之前，先通过开关关闭所述密封门20，使其将激光管本体10内的特殊气体进行密封，然后再进行镜片13的更换；在镜片13更换完毕后，再通过开关打开所述密封门20，使激光管能够进行使用。这样通过密封门20进行密封，能够避免外界气体污染激光管本体10内的特殊气体，保证了激光管的性能。实施例二请参考图4，在本实施例中提出的激光管结构与实施例一中的大体一致，不同之处在于，所述密封门20为对开门，所述密封门20的两端固定在所述激光管本体10中，中间可打开和关闭。所述密封门20的中间连接处设有密封条(图未示出)。即所述密封门20为对开门，所述对开门包本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光管结构，其特征在于，包括：激光管本体、镜片及密封门；所述激光管本体两端设有开口，所述镜片安装在每个开口处；所述密封门安装于所述激光管本体内，并在所述镜片自所述开口处卸下时与所述激光管本体共同构成一密封空间。

【技术特征摘要】
1.一种激光管结构，其特征在于，包括：激光管本体、镜片及密封门；所述激光管本体两端设有开口，所述镜片安装在每个开口处；所述密封门安装于所述激光管本体内，并在所述镜片自所述开口处卸下时与所述激光管本体共同构成一密封空间。2.如权利要求1所述的激光管结构，其特征在于，所述密封门为一整体结构，一端固定安装于所述激光管本体中，另一端为可移动端。3.如权利要求2所述的激光管结构，其特征在于，所述密封门为折叠门，所述密封门的可移动端能向固定端进行折叠；或者，所述密封门为卷曲门，所述密封门的可移动端能向固定端进行卷曲。4.如权利要求1所述的激光管结构，其特征在于，所述密封门为一对开门，所述对开门包括两部分，每部分的一端固定安...

【专利技术属性】
技术研发人员：周诗丽，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32