一种三氯氢硅生产尾气回收方法技术

本发明专利技术公开了一种三氯氢硅生产尾气回收方法，其特征在于，该方法将流化床反应器的合成气体经冷凝后，不凝气体（尾气）送入压缩机过压缩后进入氢气膜分离器分离氢气，氢气膜分离器的非渗透气送入回收冷凝器中，经过回收冷凝器进一步冷凝后，得到三氯氢硅、四氯化硅，不凝气体为氯化氢，重新作为原料返回流化床反应器使用，三氯氢硅和四氯化硅则为回收的产品。分离出的氢气可以作为燃料或用于生产其它产品的原料，也可直接排入大气。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及化工
的一种工艺，特别是一种三氯氢硅生产尾气回 收方法。
技术介绍
^氯氢硅(HSiCl》是一种用途非常广泛的有.机硅单体，主要用于生产 半导体硅、单晶硅和多晶硅的原料，广泛应用于国防、国民经济乃至人们日 常生活的各个领域。近年来，我国对三氯氢硅的需求量越来越大。在建或拟 建三氯氢硅装置也越来越多。但是，各个地方鉴于对环保要求越来越高、为 了使得三氯氢硅生产达到环保要求、满足国家节能减排的要求，对尾气的回 -收利用也日益重要。 ~众所周知，在流化床反应器生产三氯氢硅过程中，合成气体从流化床反 应器出来，温度达到了 250°C 350°C，经过除尘、逐级冷却以及冷凝后， 还有一部分不凝气体，这部分气体中含有氯化氢、氢气、以及三氯氢硅和四 氯化硅。通常的理解是，三氯氢硅和四氯化硅的常压下沸点分别是31.8°C 和57.6°C，理论上讲只要能够冷却到低于其最低沸点即可将三氯氢硅全部 冷凝下来，但是、实际^h由于混合气体中有氢气的存在，即使,冷到〒3(TC，也 不能全部冷凝下来，此部分含有约13%左右的三氯氢硅和四氯化硅的混合气 体，在传统的或者目前现有的生产工艺中，此部分直接送去了洗涤，没有将 这部分气体进一步回收(主要是回收三氯氢硅、四氯化硅和氯化氢)，造成 原料消耗高、不经济，也不利于环境保^。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的缺陷或不足，本专利技术的目的在于，提供一种三 氯氢硅生产尾气回收方法。为了实现上述任务，本专利技术采取如下的技术解决方案，其特征在于，该方法将流化床反应器 合成气体经冷凝后，不凝气体(即尾气)送入压縮机经过压縮后进入氢气膜 分离器分离氢气，氢气膜分离器的非渗透气送入回收冷凝器中，经过回收冷 凝器进一步冷凝后，得到三氯氢硅、四氯化硅，不凝气体为氯化氢，其中的 氯化氢重新作为原料返回流化床反应器使用，三氯氢硅和四氯化硅则为回收 的产品。本专利技术利用氢气渗透性强的特点，采用压縮、氢气膜分离器分离氢气和 非渗透气，使得氢气可以很容易的经过膜渗、透出来，而其它的气体则不易渗 透该膜(非渗透气)，从而达到氢气从混合气体中分离出来(渗透气)的目 的，分离出来的氢气(渗透气)可以作为燃料或用于生产其它产品的原料， 也可直接排入大气。非渗透气在经过冷凝后又可以将三氯氢硅和四氯化硅冷 凝下来，不凝^体中的氯化氢则返回使用。附图说明图1是三氯氢硅生产尾气回收方法框图； 图2是生产工艺过程框图； 以下结合附图对本专利技术作进一步的详细说明。具体实施例方式-本专利技术的方法，对现有的流化床反应器生产三氯氢硅的工艺经过除尘、 合^气体采用氟里昂直接蒸发冷凝工艺，逐级冷却以及冷凝后，还有一部分 不凝气体溢出，因此，这部分气体必须加以回收，回收的氯化氢重新作为原 料返回使用；回收的三氯氢硅作为产品，回收的氢气作为燃料或用于生产其 它产品的原料。申请人首次在生产工艺中使用本专利技术的三氯氢硅生产尾气回收方法(图 1)，该方法利用氢气渗透性强的特点，经过压縮、氢气一级膜分离、再压縮，氢气二级膜分离工艺，使得氢气可以很容易的经过膜渗透出来将氢气从工艺 尾气中分离出来。分离氢气的目的就是进一步回收三氯氢硅和氯化氢，提高 总收率。 .经过流化床反应器出来的合成气体经冷凝后，不凝气体(尾气)经过压縮(0.65MPa A)后进入氢气膜分离器(该氢气膜分离器为大连化学物理研 究所提供)，渗透过氢气膜分离器中的气体称之渗透气，即回收的氢气，纯 度可达到98%以上；没有渗透过膜的气体称之非渗透气，即氯化氢和三氯氢 硅等混合气体。除去氢气的非渗透气再经过回收冷凝器回收三氯氢硅，以提 高产品收率；不凝气体则为氯化氢返回至原料系统中。本专利技术的三氯氢硅生产尾气回收方法见图1，各物流号名称、组成及 操作参数见表l.。表l:各物流号名称、组成及操作参数如下'<table>table see original document page 5</column></row><table>合计薦 100100 100操作压力(MPaA)0. 570. 57操作温度°c-35-35采用本专利技术的方法的生产工艺过程参见附图2。在该工艺中，原料硅粉， 在氮气的保护下通过管道将其输送到硅粉原料仓。通过星型加料器把原料仓 中的硅粉加入到仓式气力输送泵中，由仓式气力输送泵将硅粉通过管道连续 送入单体合成装置的烘粉炉，且在烘粉炉内进行干燥，设定烘粉炉温度为 150°C。" "在烘粉炉经热氮气烘干后的合格硅粉，用加热至15(TC的氯化氢气体输 送到本专利技术的三氯氢硅大型流化床反应器底部。在三氯氢硅流化床反应器 内，控制温度在250。C 35(TC和0.05MPa(G)压力下，硅粉和氯化氢进行气 固相反应，生成三氯氢硅和四氯化硅。以上反应均是放热反应。.反应放出的的热量采用22(TC的导热油将及应热的移出，导热油吸热 后，温度升到235'C，此时将导热油和水在废热锅炉中发生热交换，可产生 l.OMPa的蒸汽，导热油如此循环可有效控制合成反应器反应温度，达到安 全、稳定运行的目的。三氯氢硅流化床反应器反应生成的三氯氢硅和四氯化硅混合气体先经 旋风分离器及袋式过滤器，将其中残存的硅粉回收，再送入冷凝器冷却，冷 凝器将部分尾气送尾气洗涤塔，由尾气洗涤塔排至界外区进行废'水处理或放 空，其余绝大部分氯硅垸冷凝为液体。所得的氯硅垸混合物送至单体精馏装 置进行分离，从而得到较高纯度的三氯氢硅和四氯化硅产品(99.5%以上)。反应放出的的热量采用22(TC 25(TC的导热油将反应热的移出，导热 油吸热后，温度升到235 265°C，此时将导热油和水在废热锅炉中发生热 交换，可产生l.OMPa的蒸汽，导热油如此循环可有效控制合成反应器反应 温度，达到安全、稳定运行的目的。本专利技术的特点是利用氢气渗透性强的特点，首先将氢气从尾气系统中 分离出来，进而通过冷凝将三氯氢硅和四氯化硅冷凝下来，不凝气为氯化氢 气体，返回至三氯氢硅流化床反应器原料系统。采用本专利技术可以使三氯氢硅 的生产工艺过程中产生一定量的尾气，通过本专利技术的尾气回收方法，可以完 全回收尾气，达到节能减排的效果，满足环保要求。而且三氯氢硅生产总收 率达到92%，降低了原料消耗，经济效益显著。权利要求1.，其特征在于，该方法将流化床反应器生产尾气冷凝后的不凝气体送入压缩机过压缩后进入氢气膜分离器分离氢气，氢气膜分离器的非渗透气送入回收冷凝器中，经过回收冷凝器进一步冷凝后，得到三氯氢硅、四氯化硅以及氯化氢，其中的氯化氢重新作为原料返回流化床反应器使用，三氯氢硅和四氯化硅则为回收的产品。2. 如权利要求l所述的方法，其特征在于，所述的压縮机的出口压力 为0.65MPa，以满足膜分离器要求。'3. 如权利要求l所述的方法，其特征在于，所述的非渗透气经过回收 冷凝器冷到-35。。。全文摘要本专利技术公开了，其特征在于，该方法将流化床反应器的合成气体经冷凝后，不凝气体(尾气)送入压缩机过压缩后进入氢气膜分离器分离氢气，氢气膜分离器的非渗透气送入回收冷凝器中，经过回收冷凝器进一步冷凝后，得到三氯氢硅、四氯化硅，不凝气体为氯化氢，重新作为原料返回流化床反应器使用，三氯氢硅和四氯化硅则为回收的产品。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三氯氢硅生产尾气回收方法，其特征在于，该方法将流化床反应器生产尾气冷凝后的不凝气体送入压缩机过压缩后进入氢气膜分离器分离氢气，氢气膜分离器的非渗透气送入回收冷凝器中，经过回收冷凝器进一步冷凝后，得到三氯氢硅、四氯化硅以及氯化氢，其中的氯化氢重新作为原料返回流化床反应器使用，三氯氢硅和四氯化硅则为回收的产品。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：魏涛，孙文，廖端友，汪玉林，郑云峰，程惠亭，闫小茹，
申请(专利权)人：浙江开化合成材料有限公司，华陆工程科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：33[中国|浙江]