一种蒸镀装置及蒸镀方法、基板制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供一种蒸镀装置及蒸镀方法、基板，涉及显示技术领域，可以提高蒸镀过程中蒸镀材料的利用率，降低生产成本，且提高了蒸镀材料的蒸镀速率。该蒸镀装置，包括蒸发源、电子发射装置和蒸镀基台；所述蒸发源，用于对蒸镀材料加热，以使所述蒸镀材料气化；所述电子发射装置，用于使从所述蒸发源蒸发出的所述蒸镀材料带有电荷；所述蒸镀基台，用于固定目标基板；所述蒸镀基台可带电，且所带电的电性与从所述蒸发源蒸发出的所述蒸镀材料所带电荷的电性相反。用于对蒸镀材料进行蒸镀。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种蒸镀装置及蒸镀方法、基板。
技术介绍
目前，OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)显示装置，由于具有结构简单、优质的动态画面、宽视角、响应速度快、可柔化等优点而受到广泛关注。OLED显示装置已成为目前研究的重点与热点。现有技术中，OLED显示装置的基本结构包括阳极、发光层和阴极，其中，发光层的成膜方法有很多种，例如，蒸镀成膜法、分子束外延法、有机化学气相沉积法等。由于蒸镀成膜法具有操作简单、膜厚容易控制、对薄膜的污染小等优点，因而现有技术中多采用蒸镀成膜法形成发光层，即在真空环境下，将蒸镀材料加热使其蒸发，并沉积到目标基板上形成发光层。然而，传统的蒸镀方式是利用单一且为点状的蒸镀源作为蒸镀源，由于气化或升华出的分子并无一定的方向性，因而有非常多的蒸镀材料会附着在蒸镀腔体上，真正蒸镀到目标基板上的蒸镀材料的比率非常低，因此蒸镀材料在蒸镀过程中的损失比较严重，降低了蒸镀材料的利用率及蒸镀速率，增加了生产成本。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种蒸镀装置及蒸镀方法、基板，可以提高蒸镀过程中蒸镀材料的利用率，降低生产成本，且提高了蒸镀材料的蒸镀速率。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案：第一方面，提供一种蒸镀装置，包括蒸发源、电子发射装置和蒸镀基台；所述蒸发源，用于对蒸镀材料加热，以使所述蒸镀材料气化；所述电子发射装置，用于使从所述蒸发源蒸发出的所述蒸镀材料带有电荷；所述蒸镀基台，用于固定目标基板；所述蒸镀基台可带电，且所带电的电性与从所述蒸发源蒸发出的所述蒸镀材料所带电荷的电性相反。优选的，所述蒸镀装置还包括掩膜板；所述掩膜板放置于所述蒸发源和所述目标基板之间，所述掩膜板上具有开口图案；所述掩膜板可带电，且所带电的电性与从所述蒸发源蒸发出的所述蒸镀材料所带电荷的电性相同。进一步优选的，所述掩膜板为金属掩膜板。优选的，所述蒸镀装置还包括绝缘挡片；所述绝缘挡片伸出于所述金属掩膜板的开口图案边缘，以遮挡部分所述开口图案。优选的，所述掩膜板靠近所述蒸发源的一侧设置有凸块，所述凸块设置在所述开口图案的周围；其中，所述凸块为导电材料。进一步优选的，所述凸块的形状为三棱柱，三棱柱的第一侧面设置在所述掩膜板上，第二侧面朝向所述开口图案，第三侧面背离所述开口图案。优选的，在所述掩膜板为金属掩膜板的情况下，所述金属掩膜板和所述凸块一体成型。优选的，所述蒸发源包括加热线圈、加热电源和蒸发容器，所述加热线圈设置在所述蒸发容器内；所述蒸发容器，用于放置所述蒸镀材料；所述加热电源与所述加热线圈相连，用于为所述加热线圈加电，以使得所述加热线圈升温。优选的，所述电子发射装置包括一个第一电子枪，所述第一电子枪的电子发射口为条状；或者，包括多个排布成一行或阵列排布的第二电子枪，所述第二电子枪的电子发射口为点状。优选的，所述蒸镀装置还包括第一电源和第二电源；所述第一电源，用于使所述蒸镀基台带电；所述第二电源，用于使所述掩膜板带电。第二方面，提供一种蒸镀方法，包括：将目标基板放置在蒸镀基台上，控制蒸镀基台带电；对放置在蒸发源中的蒸镀材料进行加热，以使所述蒸镀材料气化；控制气化的所述蒸镀材料带电，其中，所述蒸镀基台所带电的电性与从所述蒸发源蒸发出的所述蒸镀材料所带电荷的电性相反，以使得所述蒸镀材料在所述蒸镀基台的电场力的作用下运动，在目标基板上形成膜层。优选的，控制气化的所述蒸镀材料带电，包括：向从蒸发源蒸发出的所述蒸镀材料发射电子，使电子附着在所述蒸镀材料上。优选的，在所述蒸镀装置包括掩膜板的情况下，所述方法还包括：将掩膜板放置于所述蒸发源和所述目标基板之间；控制所述掩膜板带电，且所带电的电性与从所述蒸发源蒸发出的所述蒸镀材料所带电荷的电性相同。第三方面，提供一种基板，所述基板上形成有膜层，所述膜层由上述的方法形成。本专利技术实施例提供一种蒸镀装置及蒸镀方法、基板，由于从蒸发源蒸发出的蒸镀材料带有电荷，且固定目标基板的蒸镀基台也可带电，并且蒸镀基台所带电的电性与蒸镀材料所带电荷的电性相反，因而在蒸发源蒸发出蒸镀材料后，在蒸镀基台电场力的作用下，蒸镀材料会改变运动方向，向蒸镀基台的方向运动，以沉积在目标基板上，从而避免了蒸镀材料无方向运动导致的蒸镀材料的浪费，提高了蒸镀材料的利用率，降低了生产成本。在此基础上，从蒸发源蒸发出的蒸镀材料在电场力的作用下，可加速向目标基板运动，从而提高了蒸镀材料的蒸镀速率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图一；图2为本专利技术实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图二；图3为本专利技术实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图三；图4为本专利技术实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图四；图5为本专利技术实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图五；图6为本专利技术实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图六；图7为本专利技术实施例提供的一种蒸镀方法的流程示意图。附图标记：10-蒸发源；101-加热线圈；102-加热电源；103-蒸发容器；20-电子发射装置；30-蒸镀基台；40-目标基板；50-蒸镀材料；60-掩膜板；70-绝缘挡片；80-凸块；801-第一侧面；802-第二侧面；803-第三侧面；90-第一电源；100-第二电源。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术实施例提供一种蒸镀装置，如图1所示，包括蒸发源10、电子发射装置20和蒸镀基台30；蒸发源10，用于对蒸镀材料50加热，以使蒸镀材料50气化；电子发射装置20，用于使从蒸发源10蒸发出的蒸镀材料50带有电荷；蒸镀基台30，用于固定目标基板40；蒸镀基台30可带电，且所带电的电性与从蒸发源10蒸发出的蒸镀材料50所带电荷的电性相反。需要说明的是，第一，对于电子发射装置20的结构不进行限定，以能使从蒸发源10蒸发出的蒸镀材料50带有电荷为准，例如可以是电子枪。此处，电子发射装置20可以通过发出电子，使电子附着在蒸镀材料50上，从而使蒸镀材料50带电，电子发射装置20可以发出正电子，也可以发出负电子。当电子发射装置20发出正电子时，正电子附着在从蒸发源10蒸发出的蒸镀材料50上，蒸镀材料50带正电；当电子发射装置20发出负电子时，负电子附着在从蒸发源10蒸发出的蒸镀材料50上，蒸镀材料50带负电。此处，电子发射装置20可以设置在蒸发源10内，也可以设置在蒸镀源10外，只要电子发射装置20能够使从蒸发源10蒸发出的蒸镀材料50带电即可。第二，对于蒸镀材料50的类型不进行限定，蒸镀材料50可以是有机材料，也可以是无机材料。此处，当利用上述蒸镀装置形成OLED显示装置的发光层时，蒸镀材料50一般为有机材料本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀装置，其特征在于，包括蒸发源、电子发射装置和蒸镀基台；所述蒸发源，用于对蒸镀材料加热，以使所述蒸镀材料气化；所述电子发射装置，用于使从所述蒸发源蒸发出的所述蒸镀材料带有电荷；所述蒸镀基台，用于固定目标基板；所述蒸镀基台可带电，且所带电的电性与从所述蒸发源蒸发出的所述蒸镀材料所带电荷的电性相反。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括蒸发源、电子发射装置和蒸镀基台；所述蒸发源，用于对蒸镀材料加热，以使所述蒸镀材料气化；所述电子发射装置，用于使从所述蒸发源蒸发出的所述蒸镀材料带有电荷；所述蒸镀基台，用于固定目标基板；所述蒸镀基台可带电，且所带电的电性与从所述蒸发源蒸发出的所述蒸镀材料所带电荷的电性相反。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括掩膜板；所述掩膜板放置于所述蒸发源和所述目标基板之间，所述掩膜板上具有开口图案；所述掩膜板可带电，且所带电的电性与从所述蒸发源蒸发出的所述蒸镀材料所带电荷的电性相同。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述掩膜板为金属掩膜板。4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括绝缘挡片；所述绝缘挡片伸出于所述金属掩膜板的开口图案边缘，以遮挡部分所述开口图案。5.根据权利要求2或3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述掩膜板靠近所述蒸发源的一侧设置有凸块，所述凸块设置在所述开口图案的周围；其中，所述凸块为导电材料。6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述凸块的形状为三棱柱，三棱柱的第一侧面设置在所述掩膜板上，第二侧面朝向所述开口图案，第三侧面背离所述开口图案。7.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，在所述掩膜板为金属掩膜板的情况下，所述金属掩膜板和所述凸块一体成型。8.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸发源包括加热线圈、加热电源和蒸发容器，所述加热线圈设置在所述蒸发容...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈武林，苏彦新，王卓，樊浩原，李兴华，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11