一种硅晶片生产装置制造方法及图纸

技术编号:14043393 阅读:116 留言:0更新日期:2016-11-21 15:36
本实用新型专利技术一种硅晶片生产装置,属于硅晶片生产领域,包括多晶硅盛放箱,所述多晶硅盛放箱设有第一挡板,所述多晶硅盛放箱通过传送带连接超高温熔解炉,所述超高温熔解炉内腔设有第二挡板,所述第二挡板两侧底部均设有移动滑板,所述移动滑板顶部分别设有P型石英坩埚、N型石英坩埚,所述高温熔解炉一侧连接冷却箱,所述冷却箱从左到右依次连接切断装置、滚圆装置、切片装置与倒角装置,所述倒角装置从上到下依次连接研磨装置、腐蚀装置、抛光装置、清洗装置与检验装置,所述检验装置一侧连接自动包装装置,本实用新型专利技术通过两种放有不同掺杂剂的石英坩埚,经过一系列的工艺可以生产出具有不同电特性的硅晶片,结构简单,设计合理,实用性强。

【技术实现步骤摘要】

本技术一种硅晶片生产装置,属于硅晶片生产领域。
技术介绍
用于光伏行业多晶硅料熔化后结晶生长的一个设备,由于光伏行业多晶硅料的定向凝固过程需要先对硅料进行融化,然后定向结晶生长,硅液的生长需要在结晶设备容器内进行,大多的硅料的定向结晶是用铸锭炉完成的,硅料在同一铸锭炉内进行着熔化和定向凝固,这种设备价格昂贵,生产周期较长,无法实现硅料熔化和定向凝固分开进行,对设备的要求过高,因此将传送带与超高温度溶解箱相对应,在完成溶解之后进行加热后再将硅液移动至冷却箱,操作灵活,结晶方式简单,产品质量也稳定,同样可以达到铸锭炉的效果,现实生活中我们会需要具有不同电特性的硅,往往是在生产加工出来以后在进行电离,因此,需要进一步改进。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题克服现有的缺陷,提供一种硅晶片生产装置,通过两种放有不同掺杂剂的石英坩埚,经过一系列的工艺可以生产出具有不同电特性的硅晶片,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为了解决上述技术问题,本技术提供了如下的技术方案:一种硅晶片生产装置,包括多晶硅盛放箱,所述多晶硅盛放箱设有第一挡板,所述多晶硅盛放箱通过传送带连接超高温熔解炉,所述超高温熔解炉内腔设有第二挡板,所述第二挡板两侧底部均设有移动滑板,所述移动滑板顶部分别设有P型石英坩埚、N型石英坩埚,所述高温熔解炉一侧连接冷却箱,所述冷却箱从左到右依次连接切断装置、滚圆装置、切片装置与倒角装置,所述倒角装置从上到下依次连接研磨装置、腐蚀装置、抛光装置、清洗装置与检验装置,所述检验装置一侧连接自动包装装置。进一步而言,所述P型石英坩埚内腔掺杂剂为硼,所述N型石英坩埚内腔掺杂剂为磷、锑、砷其中一种。进一步而言,所述移动滑板通过滑道与冷却箱滑动连接。进一步而言,所述切片装置的材料为金刚石,所述腐蚀装置的材料采用氢氧化钠、乙酸与硝酸的混合物。进一步而言,所述超高温熔解炉两侧均设有出气孔,所述传送带上设有若干圆形凸起。本技术有益效果:本技术通过两种放有不同掺杂剂的石英坩埚,经过一系列的工艺可以生产出具有不同电特性的硅晶片,结构简单,设计合理,实用性强。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本技术的实施例一起用于解释本技术,并不构成对本技术的限制。图1是本技术一种硅晶片生产装置结构图。图2是本技术一种硅晶片生产装置超高温熔解炉内部结构图。图中标号:1、多晶硅盛放箱;2、第一挡板;3、传送带;4、超高温熔解炉;5、第二挡板;6、移动滑板;7、P型石英坩埚;8、N型石英坩埚;9、冷却箱;10、切断装置;11、滚圆装置;12、切片装置;13、倒角装置;14、研磨装置;15、腐蚀装置;16、抛光装置;17、清洗装置;18、检验装置;19、自动包装装置;20、出气孔;21、圆形凸起。具体实施方式以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术,并不用于限定本技术。如图1-图2所示,一种硅晶片生产装置,包括多晶硅盛放箱1,所述多晶硅盛放箱1设有第一挡板2,所述多晶硅盛放箱1通过传送带3连接超高温熔解炉4,所述超高温熔解炉4内腔设有第二挡板5,所述第二挡板5两侧底部均设有移动滑板6,所述移动滑板6顶部分别设有P型石英坩埚7、N型石英坩埚8,所述高温熔解炉4一侧连接冷却箱9,所述冷却箱9从左到右依次连接切断装置10、滚圆装置11、切片装置12与倒角装置13,所述倒角装置13从上到下依次连接研磨装置14、腐蚀装置15、抛光装置16、清洗装置17与检验装置18,所述检验装置18一侧连接自动包装装置19。更具体而言,所述P型石英坩埚7内腔掺杂剂为硼,所述N型石英坩埚8内腔掺杂剂为磷、锑、砷其中一种,通过不同的掺杂剂可以制造出不同电特性的硅锭。更具体而言,所述移动滑板6通过滑道与冷却箱9滑动连接,通过移动滑板6可以将熔解的硅移动至冷却箱9冷却。更具体而言,所述切片装置12的材料为金刚石,所述腐蚀装置15的材料采用氢氧化钠、乙酸与硝酸的混合物,金刚石的材质特别硬,适用于切割,混合物的腐蚀性更强。更具体而言,所述超高温熔解炉4两侧均设有出气孔20,所述传送带3上设有若干圆形凸起21,通过出气孔20可防止炉内温度过高,通过圆形凸起21可增大运输的摩擦力。本技术有益效果:本技术通过两种放有不同掺杂剂的石英坩埚,经过一系列的工艺可以生产出具有不同电特性的硅晶片,结构简单,设计合理,实用性强。以上为本技术较佳的实施方式,本技术所属领域的技术人员还能够对上述实施方式进行变更和修改,因此,本技术并不局限于上述的具体实施方式,凡是本领域技术人员在本技术的基础上所作的任何显而易见的改进、替换或变型均属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅晶片生产装置,包括多晶硅盛放箱(1),其特征在于,所述多晶硅盛放箱(1)设有第一挡板(2),所述多晶硅盛放箱(1)通过传送带(3)连接超高温熔解炉(4),所述超高温熔解炉(4)内腔设有第二挡板(5),所述第二挡板(5)两侧底部均设有移动滑板(6),所述移动滑板(6)顶部分别设有P型石英坩埚(7)、N型石英坩埚(8),所述高温熔解炉(4)一侧连接冷却箱(9),所述冷却箱(9)从左到右依次连接切断装置(10)、滚圆装置(11)、切片装置(12)与倒角装置(13),所述倒角装置(13)从上到下依次连接研磨装置(14)、腐蚀装置(15)、抛光装置(16)、清洗装置(17)与检验装置(18),所述检验装置(18)一侧连接自动包装装置(19)。

【技术特征摘要】
1.一种硅晶片生产装置,包括多晶硅盛放箱(1),其特征在于,所述多晶硅盛放箱(1)设有第一挡板(2),所述多晶硅盛放箱(1)通过传送带(3)连接超高温熔解炉(4),所述超高温熔解炉(4)内腔设有第二挡板(5),所述第二挡板(5)两侧底部均设有移动滑板(6),所述移动滑板(6)顶部分别设有P型石英坩埚(7)、N型石英坩埚(8),所述高温熔解炉(4)一侧连接冷却箱(9),所述冷却箱(9)从左到右依次连接切断装置(10)、滚圆装置(11)、切片装置(12)与倒角装置(13),所述倒角装置(13)从上到下依次连接研磨装置(1...

【专利技术属性】
技术研发人员:邹文龙张力峰田利中白青松梁会宁
申请(专利权)人:苏州晶樱光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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