【技术实现步骤摘要】
本技术一种硅晶片生产装置,属于硅晶片生产领域。
技术介绍
用于光伏行业多晶硅料熔化后结晶生长的一个设备,由于光伏行业多晶硅料的定向凝固过程需要先对硅料进行融化,然后定向结晶生长,硅液的生长需要在结晶设备容器内进行,大多的硅料的定向结晶是用铸锭炉完成的,硅料在同一铸锭炉内进行着熔化和定向凝固,这种设备价格昂贵,生产周期较长,无法实现硅料熔化和定向凝固分开进行,对设备的要求过高,因此将传送带与超高温度溶解箱相对应,在完成溶解之后进行加热后再将硅液移动至冷却箱,操作灵活,结晶方式简单,产品质量也稳定,同样可以达到铸锭炉的效果,现实生活中我们会需要具有不同电特性的硅,往往是在生产加工出来以后在进行电离,因此,需要进一步改进。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题克服现有的缺陷,提供一种硅晶片生产装置,通过两种放有不同掺杂剂的石英坩埚,经过一系列的工艺可以生产出具有不同电特性的硅晶片,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为了解决上述技术问题,本技术提供了如下的技术方案:一种硅晶片生产装置,包括多晶硅盛放箱,所述多晶硅盛放箱设有第一挡板,所述多晶硅盛放箱通过传送带连接超高温熔解炉,所述超高温熔解炉内腔设有第二挡板,所述第二挡板两侧底部均设有移动滑板,所述移动滑板顶部分别设有P型石英坩埚、N型石英坩埚,所述高温熔解炉一侧连接冷却箱,所述冷却箱从左到右依次连接切断装置、滚圆装置、切片装置与倒角装置,所述倒角装置从上到下依次连接研磨装置、腐蚀装置、抛光装置、清洗装置与检验装置,所述检验装置一侧连接自动包装装置。进一步而言,所述P型石英坩埚内腔掺杂剂为硼,所述N型石英坩埚内腔掺杂剂为磷、 ...
【技术保护点】
一种硅晶片生产装置,包括多晶硅盛放箱(1),其特征在于,所述多晶硅盛放箱(1)设有第一挡板(2),所述多晶硅盛放箱(1)通过传送带(3)连接超高温熔解炉(4),所述超高温熔解炉(4)内腔设有第二挡板(5),所述第二挡板(5)两侧底部均设有移动滑板(6),所述移动滑板(6)顶部分别设有P型石英坩埚(7)、N型石英坩埚(8),所述高温熔解炉(4)一侧连接冷却箱(9),所述冷却箱(9)从左到右依次连接切断装置(10)、滚圆装置(11)、切片装置(12)与倒角装置(13),所述倒角装置(13)从上到下依次连接研磨装置(14)、腐蚀装置(15)、抛光装置(16)、清洗装置(17)与检验装置(18),所述检验装置(18)一侧连接自动包装装置(19)。
【技术特征摘要】
1.一种硅晶片生产装置,包括多晶硅盛放箱(1),其特征在于,所述多晶硅盛放箱(1)设有第一挡板(2),所述多晶硅盛放箱(1)通过传送带(3)连接超高温熔解炉(4),所述超高温熔解炉(4)内腔设有第二挡板(5),所述第二挡板(5)两侧底部均设有移动滑板(6),所述移动滑板(6)顶部分别设有P型石英坩埚(7)、N型石英坩埚(8),所述高温熔解炉(4)一侧连接冷却箱(9),所述冷却箱(9)从左到右依次连接切断装置(10)、滚圆装置(11)、切片装置(12)与倒角装置(13),所述倒角装置(13)从上到下依次连接研磨装置(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:邹文龙,张力峰,田利中,白青松,梁会宁,
申请(专利权)人:苏州晶樱光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。