本发明专利技术公开了一种环保光刻胶清洗液及其制备方法，该清洗液包括以下组分：5‑丁基海因酸、富马酸二甲酯、三(3‑甲氧基苯基)膦、十四烷基二甲基甜菜碱、油酸聚乙二醇酯、茶皂素、碳分子筛、癸基葡糖苷、水杨酸异丁酯、D‑塔罗糖醇、2‑（二乙醇胺基）乙磺酸、白桦脂酸、紫罗兰酮、二烯丙基二甲基氯化铵、月桂酰二乙醇胺份、聚乙二醇双酸酯、脱氢松香酸、α‑松油醇、去离子水。本发明专利技术制备的光刻胶清洗剂的清洗效果佳，无腐蚀，在清洗力和不腐蚀基材两个性能上达到一个良好的平衡。此外，该光刻胶清洗剂中不存在大量的酸碱试剂，对环境危害小，也无需增加额外的续处理成本，市场应用前景良好。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于电子材料
，具体涉及一种环保光刻胶清洗液及其制备方法。
技术介绍
光刻工艺是用于制造触控电路、印刷电路、集成电路、显示屏和基因芯片等领域中所使用的常规工艺，而光刻胶是光刻工艺中重要原材料之一。光刻胶是由感光树脂、增感剂和溶剂等成分组成的且对光敏感的混合液体。目前光刻胶的型号多样，根据其显影原理大体可分为正性胶和负性胶。光刻胶的作用主要是在材料表面形成掩膜，曝光后进行图形转移。在光刻工艺中，得到所需图形后应该去除残留光刻胶，之后进行下一道工序。在光刻胶的去除工序中，需要使用合适的光刻胶清洗液，以期能够完全将光刻胶去除，同时保证基材不被腐蚀。然而，目前市场上的光刻胶清洗液在清洗力和不腐蚀基材两个性能上无法达到一个良好的平衡。此外，现有技术的光刻胶清洗液普遍含有大量的酸碱试剂，对环境影响较大，且增加后续的处理成本。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种环保光刻胶清洗液及其制备方法，以解决以上至少一种技术问题。本专利技术的技术方案来如下：一种环保光刻胶清洗液，包括以下重量份的组分：5-丁基海因酸5-12份、富马酸二甲酯2-6份、三(3-甲氧基苯基)膦2-8份、十四烷基二甲基甜菜碱4-10份、油酸聚乙二醇酯3-8份、茶皂素1-5份、碳分子筛1-4份、癸基葡糖苷2-6份、水杨酸异丁酯2-6份、D-塔罗糖醇1-4份、2-（二乙醇胺基）乙磺酸2-6份、白桦脂酸3-7份、紫罗兰酮0.2-1份、二烯丙基二甲基氯化铵1-3份、月桂酰二乙醇胺1-4份、聚乙二醇双酸酯0.8-3份、脱氢松香酸2-6份、α-松油醇5-9份、去离子水18-25份。上述技术方案中，包括以下重量份的组分：5-丁基海因酸7-11份、富马酸二甲酯2.5-5.3份、三(3-甲氧基苯基)膦3-6.8份、十四烷基二甲基甜菜碱4.2-7.5份、油酸聚乙二醇酯3.5-7.6份、茶皂素1.2-4.6份、碳分子筛1.5-3.6份、癸基葡糖苷2.2-5.4份、水杨酸异丁酯3-5.6份、D-塔罗糖醇1.3-3.8份、2-（二乙醇胺基）乙磺酸2.4-5.7份、白桦脂酸3.8-6.5份、紫罗兰酮0.4-0.9份、二烯丙基二甲基氯化铵1.2-2.8份、月桂酰二乙醇胺1.4-3.7份、聚乙二醇双酸酯0.9-2.3份、脱氢松香酸2.4-5.2份、α-松油醇5.6-8.4份、去离子水19-23份。上述技术方案中，包括以下重量份的组分：5-丁基海因酸8.9份、富马酸二甲酯3.6份、三(3-甲氧基苯基)膦4.5份、十四烷基二甲基甜菜碱6.2份、油酸聚乙二醇酯4.8份、茶皂素2.6份、碳分子筛2.7份、癸基葡糖苷4.8份、水杨酸异丁酯3.9份、D-塔罗糖醇1.7份、2-（二乙醇胺基）乙磺酸3.5份、白桦脂酸4.6份、紫罗兰酮0.7份、二烯丙基二甲基氯化铵1.6份、月桂酰二乙醇胺2.3份、聚乙二醇双酸酯1.6份、脱氢松香酸3.8份、α-松油醇7.3份、去离子水21份。本专利技术的另一技术方案来如下：环保光刻胶清洗液的制备方法，包括如下制备步骤：步骤1）将茶皂素加入去离子水中，搅拌溶解，然后加入二烯丙基二甲基氯化铵、脱氢松香酸、5-丁基海因酸、2-（二乙醇胺基）乙磺酸和癸基葡糖苷，在50-90℃温度下，以300-800rpm的速度搅拌40-80min，得溶液A；步骤2）将富马酸二甲酯、D-塔罗糖醇、月桂酰二乙醇胺、十四烷基二甲基甜菜碱和α-松油醇混合均匀，然后加入白桦脂酸、聚乙二醇双酸酯、油酸聚乙二醇酯，在60-80℃温度下，以200-600rpm的速度搅拌30-60min，得溶液B；步骤3）将溶液B加入溶液A中，混合均匀，然后边搅拌边均匀加入碳分子筛，以200-500rpm的速度搅拌30-60min；步骤4）将水杨酸异丁酯、紫罗兰酮、三(3-甲氧基苯基)膦加入步骤3）得到的混合溶液中，以500-800rpm的速度搅拌1-4小时，静置24小时，即得。上述技术方案中，步骤（1），在78℃温度下，以600rpm的速度搅拌50min。上述技术方案中，步骤（2），在65℃温度下，以450rpm的速度搅拌35min。上述技术方案中，步骤（3），以420rpm的速度搅拌55min。上述技术方案中，步骤（4），以750rpm的速度搅拌3小时。由于采用了以上技术方案，本专利技术的有益效果为：本专利技术制备的光刻胶清洗剂的清洗效果佳，无腐蚀，在清洗力和不腐蚀基材两个性能上达到一个良好的平衡。此外，该光刻胶清洗剂中不存在大量的酸碱试剂，对环境危害小，也无需增加额外的续处理成本，市场应用前景良好。具体实施方式下面结合具体实施例，对本专利技术作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。实施例1一种环保光刻胶清洗液，包括以下重量份的组分：5-丁基海因酸5份、富马酸二甲酯2-6份、三(3-甲氧基苯基)膦2份、十四烷基二甲基甜菜碱4份、油酸聚乙二醇酯3份、茶皂素1份、碳分子筛1份、癸基葡糖苷2份、水杨酸异丁酯2份、D-塔罗糖醇1份、2-（二乙醇胺基）乙磺酸2份、白桦脂酸3份、紫罗兰酮0.2份、二烯丙基二甲基氯化铵1份、月桂酰二乙醇胺1份、聚乙二醇双酸酯0.8份、脱氢松香酸2份、α-松油醇5份、去离子水18份。上述环保光刻胶清洗液的制备方法，包括如下制备步骤：步骤1）将茶皂素加入去离子水中，搅拌溶解，然后加入二烯丙基二甲基氯化铵、脱氢松香酸、5-丁基海因酸、2-（二乙醇胺基）乙磺酸和癸基葡糖苷，在50℃温度下，以300rpm的速度搅拌40min，得溶液A；步骤2）将富马酸二甲酯、D-塔罗糖醇、月桂酰二乙醇胺、十四烷基二甲基甜菜碱和α-松油醇混合均匀，然后加入白桦脂酸、聚乙二醇双酸酯、油酸聚乙二醇酯，在60℃温度下，以200rpm的速度搅拌30min，得溶液B；步骤3）将溶液B加入溶液A中，混合均匀，然后边搅拌边均匀加入碳分子筛，以200rpm的速度搅拌30min；步骤4）将水杨酸异丁酯、紫罗兰酮、三(3-甲氧基苯基)膦加入步骤3）得到的混合溶液中，以500rpm的速度搅拌1小时，静置24小时，即得。实施例2一种环保光刻胶清洗液，包括以下重量份的组分：5-丁基海因酸12份、富马酸二甲酯6份、三(3-甲氧基苯基)膦8份、十四烷基二甲基甜菜碱10份、油酸聚乙二醇酯8份、茶皂素5份、碳分子筛4份、癸基葡糖苷6份、水杨酸异丁酯6份、D-塔罗糖醇4份、2-（二乙醇胺基）乙磺酸6份、白桦脂酸7份、紫罗兰酮1份、二烯丙基二甲基氯化铵3份、月桂酰二乙醇胺4份、聚乙二醇双酸酯3份、脱氢松香酸6份、α-松油醇9份、去离子水25份。上述环保光刻胶清洗液的制备方法，包括如下制备步骤：步骤1）将茶皂素加入去离子水中，搅拌溶解，然后加入二烯丙基二甲基氯化铵、脱氢松香酸、5-丁基海因酸、2-（二乙醇胺基）乙磺酸和癸基葡糖苷，在90℃温度下，以800rpm的速度搅拌80min，得溶液A；步骤2）将富马酸二甲酯、D-塔罗糖醇、月桂酰二乙醇胺、十四烷基二甲基甜菜碱和α-松油醇混合均匀，然后加入白桦脂酸、聚乙二醇双酸酯、油酸聚乙二醇酯，在80℃温度下，以600rpm的速度搅拌60min，得溶液B；步骤3）将溶液B加入溶液A中，混合均匀，然后边搅拌边均匀加入碳分子筛，以500rpm的速度搅拌60min；步骤4）将水杨酸异丁酯、紫罗兰酮本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种环保光刻胶清洗液，其特征在于，包括以下重量份的组分：5‑丁基海因酸5‑12份、富马酸二甲酯2‑6份、三(3‑甲氧基苯基)膦2‑8份、十四烷基二甲基甜菜碱4‑10份、油酸聚乙二醇酯3‑8份、茶皂素1‑5份、碳分子筛1‑4份、癸基葡糖苷2‑6份、水杨酸异丁酯2‑6份、D‑塔罗糖醇1‑4份、2‑（二乙醇胺基）乙磺酸2‑6份、白桦脂酸3‑7份、紫罗兰酮0.2‑1份、二烯丙基二甲基氯化铵1‑3份、月桂酰二乙醇胺1‑4份、聚乙二醇双酸酯0.8‑3份、脱氢松香酸2‑6份、α‑松油醇5‑9份、去离子水18‑25份。
【技术特征摘要】
1.一种环保光刻胶清洗液，其特征在于，包括以下重量份的组分：5-丁基海因酸5-12份、富马酸二甲酯2-6份、三(3-甲氧基苯基)膦2-8份、十四烷基二甲基甜菜碱4-10份、油酸聚乙二醇酯3-8份、茶皂素1-5份、碳分子筛1-4份、癸基葡糖苷2-6份、水杨酸异丁酯2-6份、D-塔罗糖醇1-4份、2-（二乙醇胺基）乙磺酸2-6份、白桦脂酸3-7份、紫罗兰酮0.2-1份、二烯丙基二甲基氯化铵1-3份、月桂酰二乙醇胺1-4份、聚乙二醇双酸酯0.8-3份、脱氢松香酸2-6份、α-松油醇5-9份、去离子水18-25份。2.根据权利要求1所述的环保光刻胶清洗液，其特征在于，包括以下重量份的组分：5-丁基海因酸7-11份、富马酸二甲酯2.5-5.3份、三(3-甲氧基苯基)膦3-6.8份、十四烷基二甲基甜菜碱4.2-7.5份、油酸聚乙二醇酯3.5-7.6份、茶皂素1.2-4.6份、碳分子筛1.5-3.6份、癸基葡糖苷2.2-5.4份、水杨酸异丁酯3-5.6份、D-塔罗糖醇1.3-3.8份、2-（二乙醇胺基）乙磺酸2.4-5.7份、白桦脂酸3.8-6.5份、紫罗兰酮0.4-0.9份、二烯丙基二甲基氯化铵1.2-2.8份、月桂酰二乙醇胺1.4-3.7份、聚乙二醇双酸酯0.9-2.3份、脱氢松香酸2.4-5.2份、α-松油醇5.6-8.4份、去离子水19-23份。3.根据权利要求1所述的环保光刻胶清洗液，其特征在于，包括以下重量份的组分：5-丁基海因酸8.9份、富马酸二甲酯3.6份、三(3-甲氧基苯基)膦4.5份、十四烷基二甲基甜菜碱6.2份、油酸聚乙二醇酯4.8份、茶皂素2.6份、碳分子筛2.7份、癸基葡糖苷4.8份、水杨酸异丁酯3.9份、D-塔罗糖醇1.7份、2-（二乙醇...
【专利技术属性】
技术研发人员：王泽陆，
申请(专利权)人：王泽陆，
类型：发明
国别省市：山西;14
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