一种发光二极管及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种发光二极管及其制备方法，属于光电子制造技术领域。该发光二极管包括外延片及设置在外延片上的电极，电极至少包括第一电极层和第二电极层，第一电极层设置在外延片上，第二电极层层叠在第一电极层上，第一电极层采用Cr制成，第二电极层采用AlCu合金制成，该制备方法包括提供外延片；在外延片上制作电极，通过在外延片上设置电极，由于该电极至少包括第一电极层和第二电极层，其中第一电极层采用Cr制成，第二电极层采用AlCu合金制成，由于AlCu合金结构致密，稳定性好，具有较强的抗形变能力，因此使得LED在打线过程中，电极可以承受挤压而不发生形变。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光电子制造
，特别涉及一种发光二极管及其制备方法。
技术介绍
LED(Light Emitting Diode，发光二极管)具有体积小、寿命长、功耗低等优点，目前被广泛应用于汽车信号灯、交通信号灯、显示屏以及照明设备。在制作LED的过程中，会在制作完成的外延片上制作电极，并进行打线工艺，利用热压或超声能源将金属线与制作的电极连接起来。由于打线过程中电极需要承受一定的挤压，同时电极主要由质地较软的Al或Au制成，因此电极容易在打线过程中出现变形，对LED造成不良影响。
技术实现思路
为了解决现有LED在打线过程中电极容易出现变形的问题，本专利技术实施例提供了一种发光二极管及其制备方法。所述技术方案如下：一方面，本专利技术实施例提供了一种发光二极管，所述发光二极管包括外延片及设置在所述外延片上的电极，其特征在于，所述电极至少包括第一电极层和第二电极层，所述第一电极层设置在所述外延片上，所述第二电极层层叠在所述第一电极层上，所述第一电极层采用Cr制成，所述第二电极层采用AlCu合金制成。优选地，所述电极还包括依次层叠在所述第二电极层上的第三电极层和第四电极层，所述第三电极层采用Cr、Ni、Pt和Ti中的一种金属制成，所述第四电极层采用AlCu合金制成。进一步地，所述电极还包括第五电极层，所述第五电极层夹设在所述第三电极层和所述第四电极层之间，所述第五电极层采用Cr、Ni、Pt和Ti中的一种金属制成，且所述第五电极层与所述第三电极层不同。可选地，所述电极还包括层叠在所述第四电极层上的第六电极层，所述第六电极层采用Al制成。优选地，所述电极还包括依次层叠在所述第四电极层上的第六电极层和第七电极层，所述第六电极层采用Ti制成，所述第七电极层采用Au制成。可选地，所述外延片为GaN基外延片。另一方面，本专利技术实施例还提供了一种发光二极管的制备方法，所述制备方法包括：提供一外延片；在所述外延片上制作电极，其中，所述电极至少包括第一电极层和第二电极层，所述第一电极层设置在所述外延片上，所述第二电极层层叠在所述第一电极层上，所述第一电极层采用Cr制成，所述第二电极层采用AlCu合金制成。进一步地，所述在所述外延片上制作电极，包括：通过光刻工艺在所述外延片上制作设定图形的光阻层；在所述光阻层和所述外延片上蒸镀金属层，所述金属层的厚度小于所述光阻层的厚度；去除所述光阻层上的所述金属层；去除所述外延片上的光阻层，形成所述电极。可选地，所述去除所述外延片上的光阻层，包括：采用有机溶剂去除所述光阻层。优选地，所述有机溶剂为N-甲基吡咯烷酮。本专利技术实施例提供的技术方案带来的有益效果是：通过在外延片上设置电极，由于该电极至少包括第一电极层和第二电极层，其中第一电极层采用Cr制成，第二电极层采用AlCu合金制成，Cr可以使AlCu更容易与外延片连接，同时由于AlCu合金结构致密，稳定性好，具有较强的抗形变能力，因此使得LED在打线过程中，电极可以承受挤压而不发生形变。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术实施例提供的一种发光二极管的结构图；图2是本专利技术实施例提供的另一种发光二极管的结构图；图3是本专利技术实施例提供的另一种发光二极管的结构图；图4是本专利技术实施例提供的另一种发光二极管的结构图；图5是本专利技术实施例提供的另一种发光二极管的结构图；图6是本专利技术实施例提供的一种发光二极管的制备方法的流程图；图7是本专利技术实施例提供的一种制作电极的方法的流程图；图8是本专利技术实施例提供的制作出设定图形的光阻层后的发光二极管的结构示意图；图9是本专利技术实施例提供的蒸镀电极层后的发光二极管的结构示意图；图10是本专利技术实施例提供的去除多余金属层后的发光二极管的结构示意图；图11是本专利技术实施例提供的去除光阻层后的发光二极管的结构示意图。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术实施方式作进一步地详细描述。本专利技术实施例提供了一种发光二极管，图1是本专利技术实施例提供的一种发光二极管的结构图，如图1所示，该发光二极管包括外延片11及设置在外延片11上的电极12，电极12至少包括第一电极层121和第二电极层122，第一电极层121设置在外延片11上，第二电极层122层叠在第一电极层121上，第一电极层121采用Cr制成，第二电极层122采用AlCu合金制成。本专利技术实施例通过在外延片上设置电极，由于该电极至少包括第一电极层和第二电极层，其中第一电极层采用Cr制成，第二电极层采用AlCu合金制成，Cr可以使AlCu更容易与外延片连接，同时由于AlCu合金结构致密，稳定性好，具有较强的抗形变能力，因此使得LED在打线过程中，电极可以承受挤压而不发生形变。可选地，外延片11可以为GaN基外延片，GaN具有较大的禁带宽度，良好的化学稳定性，较强的导热能力，是一种良好的半导体材料，被广泛应用于制作发光二极管。图2是本专利技术实施例提供的另一种发光二极管的结构图，如图2所示，该发光二极管的结构与图1所示的发光二极管的结构基本相同，不同之处在于，图2所示的发光二极管中的电极12还包括依次层叠在第二电极层122上的第三电极层123和第四电极层124，第三电极层123采用Cr、Ni、Pt和Ti中的一种金属制成，第四电极层124采用AlCu合金制成，多层电极结构的LED稳定性更好，在具有多层电极结构的LED中设置两层AlCu合金，可以提高电极12的抗变形能力，避免电极12在打线过程中出现变形。图3是本专利技术实施例提供的另一种发光二极管的结构图，在图3所示的发光二极管中，电极12还可以包括第五电极层125，第五电极层125夹设在第三电极层123和第四电极层124之间，第五电极层125采用Cr、Ni、Pt和Ti中的一种金属制成，且第五电极层125与第三电极层123不同，目前市场上有部分LED的电极为五层结构，在具有五层电极结构的LED中设置两层AlCu合金，可以提高电极的抗变形能力，避免电极在打线过程中出现变形。进一步地，图4是本专利技术实施例提供的另一种发光二极管的结构图，在图4所示的发光二极管中，电极12还可以包括层叠在第四电极层124上的第六电极层126，第六电极层126采用Al制成。优选地，图5是本专利技术实施例提供的另一种发光二极管的结构图，在图5所示的发光二极管中，电极12还可以包括依次层叠在第四电极层124上的第六电极层126和第七电极层127，第六电极层126采用Ti制成，第七电极层127采用Au制成，Au具有比Al更好的导电性，可以降低电极的电阻，同时Au的导热性也优于Al，能增强发光二极管的散热能力，Au比Al更耐腐蚀，能减缓电极的老化，此外，Au的延展性也优于Al，能更方便制作成微小的电极材料。本专利技术实施例还提供了一种发光二极管的制备方法，图6是本专利技术实施例提供的一种发光二极管的制备方法的流程图，如图6所示，该制备方法包括：S11：提供一外延片。S12：在外延片上制作电极，其中，电极至少包括第一电极层和第二电极层，第一电极层设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种发光二极管，所述发光二极管包括外延片及设置在所述外延片上的电极，其特征在于，所述电极至少包括第一电极层和第二电极层，所述第一电极层设置在所述外延片上，所述第二电极层层叠在所述第一电极层上，所述第一电极层采用Cr制成，所述第二电极层采用AlCu合金制成。

【技术特征摘要】
1.一种发光二极管，所述发光二极管包括外延片及设置在所述外延片上的电极，其特征在于，所述电极至少包括第一电极层和第二电极层，所述第一电极层设置在所述外延片上，所述第二电极层层叠在所述第一电极层上，所述第一电极层采用Cr制成，所述第二电极层采用AlCu合金制成。2.根据权利要求1所述的发光二极管，其特征在于，所述电极还包括依次层叠在所述第二电极层上的第三电极层和第四电极层，所述第三电极层采用Cr、Ni、Pt和Ti中的一种金属制成，所述第四电极层采用AlCu合金制成。3.根据权利要求2所述的发光二极管，其特征在于，所述电极还包括第五电极层，所述第五电极层夹设在所述第三电极层和所述第四电极层之间，所述第五电极层采用Cr、Ni、Pt和Ti中的一种金属制成，且所述第五电极层与所述第三电极层不同。4.根据权利要求3所述的发光二极管，其特征在于，所述电极还包括层叠在所述第四电极层上的第六电极层，所述第六电极层采用Al制成。5.根据权利要求3所述的发光二极管，其特征在于，所述电极还包括依次层叠在所述第四电极层上的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李辉，叶青贤，胡根水，
申请(专利权)人：华灿光电苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32