光阻涂布设备及涂布设备用喷嘴制造技术

本发明专利技术公开了一种光阻涂布设备，该设备包括喷嘴、光阻容纳机构、涂布驱动机构及刮拭机构；其中，所述喷嘴与所述光阻容纳机构连接，所述涂布驱动机构驱动所述光阻容纳机构内的光阻流向所述喷嘴；所述刮拭机构包括刮拭元件及刮拭驱动机构，所述刮拭驱动机构驱动所述刮拭元件对所述喷嘴进行刮拭。本发明专利技术还公开了一种涂布设备用喷嘴。本发明专利技术光阻涂布设备通过利用刮拭驱动机构驱动所述刮拭元件对所述喷嘴进行刮拭，能够高效地在短时间内完成对喷嘴的维护和保养，对涂布单元内的环境也不会造成影响，风险小，且节省人力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种涂布设备，特别是涉及一种光阻涂布设备及涂布设备用喷嘴。
技术介绍
涂布设备中所使用的光敏材料是光阻，由于光阻长时间暴露在外，而光阻成分之一的溶剂是易挥发、易干燥凝结的物质。因此，作为光阻涂布设备，目前业界涂布设备在光阻凝结时，一般需停机，并且采用经刮拭喷嘴、溶剂泡管、排泡等步骤进行维护保养。其中一种维护保养方式是利用手动刮拭方法对喷嘴进行刮拭，但是人为操作风险大，操作者方法、熟练度不一，可能会发生刮刀片断裂、从而遗留部分刮刀残片在喷嘴里的情况，若未及时发现，则会对后续工艺造成极大影响，需耗费大量时间排查和取出，而造成产能和良率的降低。而又因手动刮拭需开启涂布设备stage Booth门，会影响整个涂布设备内的温湿度、洁净度、气流等，从而影响涂布工艺，造成良率降低；而且手动刮拭操作员也会吸入一定量的溶剂，且会接触到化学品，对人体造成一定程度的伤害。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种光阻涂布设备及涂布设备用喷嘴，能够高效地在短时间内完成对喷嘴的维护和保养，对涂布设备内的环境也不会造成影响，风险小，且节省人力。为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是：提供一种光阻涂布设备，包括喷嘴、光阻容纳机构、涂布驱动机构及刮拭机构；其中，所述喷嘴与所述光阻容纳机构连接，所述涂布驱动机构驱动所述光阻容纳机构内的光阻流向所述喷嘴；所述刮拭机构包括刮拭元件及刮拭驱动机构，所述刮拭驱动机构驱动所述刮拭元件对所述喷嘴进行刮拭。其中，所述刮拭元件包括固定件和刮线，所述固定件数量为二，且相对固定于所述喷嘴两端，所述刮线两端分别固定于两个所述固定件；所述刮拭驱动机构驱动所述固定件沿所述喷嘴的喷液口方向来回移动，以带动所述刮线在所述喷液口内来回刮拭，在刮拭结束后驱动所述刮线离开所述喷液口。其中，所述刮拭驱动机构进一步在刮拭结束后驱动两个所述固定件同向旋转，使得所述刮线远离所述喷液口。其中，所述刮线是与所述喷嘴竖截面形状匹配的刚性线，且所述固定件的行程大于所述喷液口的深度。其中，所述刮线是与所述喷嘴竖截面形状匹配的柔性线，且所述固定件的行程大于所述喷液口的深度。为解决上述技术问题，本专利技术采用的另一个技术方案是：提供一种涂布设备用喷嘴，包括喷嘴主体和刮拭机构；所述刮拭机构包括刮拭元件及刮拭驱动机构，所述刮拭驱动机构驱动所述刮拭元件对所述喷嘴主体进行刮拭。其中，所述刮拭元件包括固定件和刮线，所述固定件数量为二，且相对固定于所述喷嘴两端，所述刮线两端分别固定于两个所述固定件；所述刮拭驱动机构驱动所述固定件沿所述喷嘴的喷液口方向来回移动，以带动所述刮线在所述喷液口内来回刮拭，在刮拭结束后驱动所述刮线离开所述喷液口。其中，所述刮拭驱动机构进一步在刮拭结束后驱动两个所述固定件同向旋转，使得所述刮线远离所述喷液口。其中，所述刮线是与所述喷嘴竖截面形状匹配的刚性线，且所述固定件的行程大于所述喷液口的深度。其中，所述刮线是与所述喷嘴竖截面形状匹配的柔性线，且所述固定件的行程大于所述喷液口的深度。本专利技术的有益效果是：区别于现有技术的情况，本专利技术提供一种光阻涂布设备，包括喷嘴、光阻容纳机构、涂布驱动机构及刮拭机构；其中，所述喷嘴与所述光阻容纳机构连接，所述涂布驱动机构驱动所述光阻容纳机构内的光阻流向所述喷嘴；所述刮拭机构包括刮拭元件及刮拭驱动机构，所述刮拭驱动机构驱动所述刮拭元件对所述喷嘴进行刮拭，因此可以利用刮拭机构来清理喷嘴，无需人工直接刮擦喷嘴，从而能够高效地在短时间内完成对喷嘴的维护和保养，对涂布单元内的环境也不会造成影响，风险小，且节省人力。附图说明图1是本专利技术光阻涂布设备实施方式的立体结构示意图；图2是本专利技术光阻涂布设备实施方式的喷嘴的一侧面结构示意图，其中显示刮拭元件对喷嘴进行刮拭的状态；图3是本专利技术光阻涂布设备实施方式的喷嘴的另一侧面结构示意图，其中显示刮拭元件收起的状态。具体实施方式下面结合附图和实施方式对本专利技术进行详细说明。参阅图1，图1是本专利技术光阻涂布设备实施方式的立体结构示意图。如图1所示，喷嘴10与光阻容纳机构20相连接，涂布驱动机构30驱动光阻容纳机构20内的光阻流向喷嘴10。刮拭机构包括刮拭元件40及刮拭驱动机构50，刮拭驱动机构50驱动刮拭元件40对喷嘴10进行刮拭。其中，光阻是一种光敏材料，主要由树脂、感光剂和溶剂三种成分混合而成。进一步地，刮拭元件40包括固定件41和刮线42，固定件41的数量为二，且相对固定于喷嘴10的两端，刮线42两端分别固定于两个固定件41；刮拭驱动机构50驱动固定件41沿喷嘴10的喷液口11方向来回移动，以带动刮线42在喷液口11内来回刮拭，在刮拭结束后驱动刮线42离开喷液口11。图2是本专利技术光阻涂布设备实施方式的喷嘴的一侧面结构示意图，其中显示刮拭元件对喷嘴进行刮拭的状态。当在刮拭状态下时，刮拭元件的固定件41位于第一旋转状态，使得刮线42垂下，正对喷嘴10的喷液口11，如图2所示的喷嘴竖截面61所示。此时，刮线42可以在固定件41的上下来回带动下，进入喷液口11来回刮擦。图3是本专利技术光阻涂布设备实施方式的喷嘴的另一侧面结构示意图，其中显示刮拭元件收起的状态。在非刮拭状态下，刮拭元件的固定件41旋转90度，位于第二旋转状态远离喷液口11。其中，刮线42是与喷嘴竖截面60形状匹配的刚性线或柔性线，且固定件41的行程大于喷液口11的深度。本实施方式中，使用刮拭驱动机构50驱动刮拭元件40对喷嘴10进行刮拭，因此可以利用刮拭机构来清理喷嘴10，无需人工进行刮擦，从而能够高效地在短时间内完成对喷嘴10的维护和保养，对涂布设备内的环境也不会造成影响，风险小，且节省人力。本专利技术还提供了一种涂布设备用喷嘴，如图2所示，其包括喷嘴主体10和刮拭机构；刮拭机构包括刮拭元件40及刮拭驱动机构50，刮拭驱动机构50驱动刮拭元件40对喷嘴主体10进行刮拭。进一步地，刮拭元件40包括固定件41和刮线42，固定件41的数量为二，且相对固定于喷嘴10的两端，刮线42两端分别固定于两个固定件41；刮拭驱动机构50驱动固定件41沿喷嘴10的喷液口11方向来回移动，以带动刮线42在喷液口11内来回刮拭，在刮拭结束后驱动刮线42离开喷液口11。进一步地，当在刮拭状态下时，刮拭元件的固定件41位于第一旋转状态，使得刮线42垂下，正对喷嘴10的喷液口11，如图2所示的喷嘴竖截面61所示。此时，刮线42可以在固定件41的上下来回带动下，进入喷液口11来回刮擦。在非刮拭状态下，刮拭元件的固定件41旋转90度，位于第二旋转状态远离喷液口11。进一步地，刮线42是与喷嘴竖截面60形状匹配的刚性线或柔性线，且固定件41的行程大于喷液口11的深度。本实施方式中，由于使用刮拭驱动机构50驱动刮拭元件40对喷嘴主体10进行刮拭，因此可以利用刮拭机构来清理喷嘴，从而能够高效地在短时间内完成对喷嘴的维护和保养，对涂布设备内的环境也不会造成影响，风险小，且节省人力。以上所述仅为本专利技术的实施方式，并非因此限制本专利技术的专利范围，凡是利用本专利技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的
，均同理包括在本专利技术的专利保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光阻涂布设备，其特征在于，包括：喷嘴、光阻容纳机构、涂布驱动机构及刮拭机构；其中，所述喷嘴与所述光阻容纳机构连接，所述涂布驱动机构驱动所述光阻容纳机构内的光阻流向所述喷嘴；所述刮拭机构包括刮拭元件及刮拭驱动机构，所述刮拭驱动机构驱动所述刮拭元件对所述喷嘴进行刮拭。

【技术特征摘要】
1.一种光阻涂布设备，其特征在于，包括：喷嘴、光阻容纳机构、涂布驱动机构及刮拭机构；其中，所述喷嘴与所述光阻容纳机构连接，所述涂布驱动机构驱动所述光阻容纳机构内的光阻流向所述喷嘴；所述刮拭机构包括刮拭元件及刮拭驱动机构，所述刮拭驱动机构驱动所述刮拭元件对所述喷嘴进行刮拭。2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述刮拭元件包括固定件和刮线，所述固定件数量为二，且相对固定于所述喷嘴两端，所述刮线两端分别固定于两个所述固定件；所述刮拭驱动机构驱动所述固定件沿所述喷嘴的喷液口方向来回移动，以带动所述刮线在所述喷液口内来回刮拭，在刮拭结束后驱动所述刮线离开所述喷液口。3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述刮拭驱动机构进一步在刮拭结束后驱动两个所述固定件同向旋转，使得所述刮线远离所述喷液口。4.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述刮线是与所述喷嘴竖截面形状匹配的刚性线，且所述固定件的行程大于所述喷液口的深度。5.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述刮线是与所述喷嘴竖截面形...

【专利技术属性】
技术研发人员：但清华，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42