一种乙硅烷储罐制造技术

本发明专利技术公开了一种乙硅烷储罐，包括密封填充仓，真空夹套和支撑架，所述的密封填充仓为圆柱形壳体，所述壳体垂直固定在支撑架上，所述密封填充仓的顶部设有充填口，所述密封填充仓的下部设有凹陷的定位槽。本申请的乙硅烷储罐可使储罐在竖直状态下填装乙硅烷，保证储罐的填充效果，避免储罐过早溢满情况的发生，同时通过真空夹套的设计，提高了乙硅烷的保温效果，避免环境温度对乙硅烷储存的影响。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于化工设备
，涉及一种硅化镁与氯化铵反应生产乙硅烷的装置，尤其涉及一种乙硅烷储罐。
技术介绍
乙硅烷是一种很有前途的硅膜先体，是半导体工业中颇有吸引力的特种气体之一。可用作无定形硅薄膜、光化学纤维原料以及硅氧烷等的优良原料，在半导体、光电材料等领域有着广泛的应用前景和实际价值。与甲硅烷相比，它具有沉积速度快、温度要求低、膜均匀度高等优越性。但是，现有乙硅烷的制备方法主要因产率低、副产品多、相对复杂，不利于操作导致生产成本过高，这在很大程度上限制了其应用。因此，发展更为简单的、产率较高的合成工艺和设备使其在工业上得到更大范围的推广十分必要，具有十分重要的实际意义。乙硅烷在空气中自燃，着火点为室温，遇到空气瞬间就燃烧，并分解成为SiH4和H2。燃烧浓度范围宽，在0.2%以上时，燃烧发出火焰，在0.2%以下时，进行氧化反应生成白色的SiO2，在氯气中也爆炸性地燃烧，与卤素气体爆炸性地反应，如在低温，则适度地进行卤化，与SF6接触则爆炸，与四氯化碳和氯仿激烈反应，与碱金属及汞合金反应分解生成硅烷和氢，与苛性钾作用游离出H2，与纯水和酸不反应，但与碱反应生成硅酸盐和氢。即使从玻璃中溶解出的微量碱的存在，也能使乙硅烷水解。在KH 或LiCl杂质的存在下，在常温也缓慢地分解。Si2H6—→ SiH4+(SiH2)x乙硅烷可溶于二硫化碳、乙基醇、苯和乙基硅酸。它腐蚀橡胶、黄油类、润滑油、铅等，但对大多数金属不腐蚀。现有技术乙硅烷在充填过程中需要保持较低的温度，而充填装置内部存在冷却口，在冷却过程中会存在冷却口和其他位置上冷却效果不均的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种乙硅烷储罐。本专利技术通过以下技术方案实现：一种乙硅烷储罐，其特征在于，包括密封填充仓，真空夹套和支撑架，所述的密封填充仓为圆柱形壳体，所述圆柱形壳体的外部是真空夹套，所述夹套内为-30℃乙二醇冷却介质，所述圆柱形壳体垂直固定在支撑架上，所述密封填充仓的顶部设有充填口，所述密封填充仓的下部设有凹陷的定位槽。进一步，所述充填口通过阀门连接在进液管上，所述进液管包覆有保温层。进一步，所述密封填充仓的体积为0.5-2M3，优选1M3。进一步，所述密封填充仓的壁厚为4-8mm，内部压力为0.3-0.4MPa。进一步，所述真空夹套内的容积为0.05-0.2 M3，压力为2-10Pa。本专利技术与现有技术相比具有显著的优点和有益效果：主要是方便储罐在竖直状态下填装乙硅烷，保证储罐的填充效果，避免储罐过早溢满情况的发生，同时通过真空夹套的设计，提高了乙硅烷的冷却效果，避免环境温度对乙硅烷储存的影响。附图说明图1为本专利技术乙硅烷储罐的结构示意图。图中，1-密封填充仓，2-真空夹套，3-支撑架，4-充填口，5-定位槽。具体实施方式为进一步了解本专利技术的内容、特点及功效，以下结合附图及实施例，对本专利技术详细说明。参阅图1，一种乙硅烷储罐，包括密封填充仓1，真空夹套2和支撑架3，所述的密封填充仓为圆柱形壳体，所述圆柱形壳体的外部是真空夹套，所述夹套内为-30℃乙二醇冷却介质，所述圆柱形壳体垂直固定在支撑架上，所述密封填充仓1的顶部设有充填口4，所述密封填充仓1的下部设有凹陷的定位槽5。为了便于理解本申请，现将使用本申请乙硅烷储罐的硅烷产品制造工艺进行简单介绍。所述硅烷产品制造工艺包含下列步骤：A、首先以硅粉及镁粉生成硅化镁，Si+2Mg------→Mg2SiB、以硅化镁与氯化氨反应，在液氨及催化剂的环境下，生成硅烷类及六氨氯化镁，反应式为：NH3 （l）Mg2Si+NH4Cl----------------→SinHm+MgCl2•6NH3+H2催化剂其中m=2n+2C、六氨氯化镁为一固相产品，再经加以分离反应而得到氯化镁及液氨，液氨可以再投入上述制程B及以下制程E中使用：MgCl2•6NH3----------→MgCl2+6NH3D、氯化镁并再经电解而生成镁粉及氯气，镁粉为固相，可以投入上述制程中的A中使用：MgCl2--------→Mg+Cl2电解E、氯气再与液氨合成反应生成氯化氨，氯化氨得以投入上述制程中的B使用，其中液氨来自于上述制程中的C，换言之，制程C生成之氨可以供制程B及E使用：Cl2+H2-------→2HClNH3+HCl-------→NH4CL从上述反应式中步骤B中生成硅烷类的产品，甲硅烷和乙硅烷虽然都是气体，但是分子量各有不同，致使液化/气化所需温度不同。运用其物理特性不同，经过分离可以分别得到甲硅烷、乙硅烷产品，以让各不同烷类产品独立存在方得以应不同使用需求。具体工作过程如下：反应釜出来的气体混合物进入串联的精馏塔组，控制精馏塔塔内的温度，降温到-120 0C至-170 0C，分离出乙硅烷：然后再降温到-170 0C至-196 0C，分离出甲硅烷。将得到的甲硅烷升温至-170 0C以上，使甲硅烷从液相变成气相，然后再降温，于-180 0C至-196 0C温度中得到高纯度甲硅烷；将得到的乙硅烷升温至-120 0C以上，使乙硅烷从液相变成气相，然后再降温，于-130 0C至-160 0C温度中得到高纯度乙硅烷，将高纯度乙硅烷送入乙硅烷储罐，经测定，乙硅烷纯度可达99.998%。实施例1上述的乙硅烷储罐，包括密封填充仓1，真空夹套2和支撑架3，所述的密封填充仓为圆柱形壳体，所述圆柱形壳体的外部是真空夹套，所述夹套内为-30℃乙二醇冷却介质，所述圆柱形壳体垂直固定在支撑架上，所述密封填充仓1的顶部设有充填口4，所述密封填充仓1的下部设有凹陷的定位槽5。所述充填口通过阀门连接在进液管上，所述进液管包覆有保温层。所述密封填充仓的体积为0.5M3。所述密封填充仓的壁厚为4mm，内部压力为0.3MPa。所述真空夹套内的容积为0.05M3，压力为2Pa。实施例2重复实施例1，不同之处在于，所述密封填充仓的体积为2M3。所述密封填充仓的壁厚为8mm，内部压力为0.4MPa。所述真空夹套内的容积为0.2M3，压力为10Pa。实施例3重复实施例1，不同之处在于，所述密封填充仓的体积为1M3。所述密封填充仓的壁厚为6mm。所述真空夹套内的容积为0.12M3，压力为6Pa。实施例4重复实施例2，不同之处在于，所述所述真空夹套内的容积为0.15M3。实施例5重复实施例3，不同之处在于，所述密封填充仓的壁厚为7mm。实施例6重复实施例4，不同之处在于，所述密封填充仓的体积为1M3。以上所述仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员在不脱离本专利技术的范围可以加以若干变化，故以上说明所包含的及附图中所示的结构应视为例示性，而非用以限制本专利技术专利的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种乙硅烷储罐，其特征在于，包括密封填充仓，真空夹套和支撑架，所述的密封填充仓为圆柱形壳体，所述圆柱形壳体的外部是真空夹套，所述夹套内为‑30℃乙二醇冷却介质，所述圆柱形壳体垂直固定在支撑架上，所述密封填充仓的顶部设有充填口，所述密封填充仓的下部设有凹陷的定位槽。

【技术特征摘要】
1.一种乙硅烷储罐，其特征在于，包括密封填充仓，真空夹套和支撑架，所述的密封填充仓为圆柱形壳体，所述圆柱形壳体的外部是真空夹套，所述夹套内为-30℃乙二醇冷却介质，所述圆柱形壳体垂直固定在支撑架上，所述密封填充仓的顶部设有充填口，所述密封填充仓的下部设有凹陷的定位槽。2.根据权利要求1所述的乙硅烷储罐，其特征在于，所述充填口通过阀门连接在进液管上，所述进液管包覆有保温层。3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄晓东，谢嵩嶽，
申请(专利权)人：浙江迅鼎半导体材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33