布线薄板以及制造该布线薄板的方法技术

本发明专利技术提供一种布线薄板，其能够在促进架空布线部的刚度减小的同时抑制电气特性变差以及架空布线部的厚度的变化。布线薄板包括：架空布线部，其包括布线轨迹并且越过空隙；架空基层，其被设置在架空布线部中的各自的布线轨迹处并且互相间隔；以及架空覆盖层，其被设置在架空布线部中，并且从架空布线部的布线轨迹经过架空基层横跨到架空基层中相邻的架空基层之间的间隙。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种布线薄板以及制造布线薄板的方法，该布线薄板被应用于磁头悬架的挠曲件等。
技术介绍
硬盘驱动器包含硬盘和磁头悬架，硬盘被设置为高速旋转，磁头悬架具有从分别的硬盘被略微地抬升的滑动件，以将数据写入硬盘或从硬盘读取数据。每个磁头悬架都具有挠曲件，滑动件通过挠曲件被附接于磁头悬架。挠曲件包括被形成在金属基板上的布线部分。金属基板的前端部设置有舌状物，滑动件被附接于舌状物上。目前的硬盘具有高的纪录密度，并且因此需要磁头悬架的滑动件实现更低的浮动高度。为了稳定住低的浮动高度，重要的是控制挠曲件的舌状物周围的金属基板和布线部分的刚度。关于这种挠曲件的舌状物周围的刚度的控制，例如，JP06-203508A提出了一项使挠曲件的金属基板变薄的技术。在该例子中，金属基板被变薄，然而形成在金属基板上的布线部分的刚度贡献率相对地增加，使得难以控制挠曲件的舌状物周围的刚度。作为其他手段，JP09-17139A提出了一项专门地形成挠曲件的金属基部的平的形状的技术，并且JP11-39626A提出了一项技术，以提供围绕舌状物的挠曲件的布线部分，其中架空布线部与金属基板分开。然而，这些现有技术几乎没有减少布线部分的刚度贡献率。目前，作为减少刚度的改进的技术，JP2005-322336A提出了具有电路的悬架板，并且JP2012-9111A提出了特别的挠曲件。JP2005-322336A的带有电路的悬架板的传导层的至少一部分在支架的架空布线部处从覆盖绝缘层露出。然而，即使部分地移除覆盖绝缘层，这在刚度的降低上也具有限制，因为覆盖绝缘层通常具有大约3微米的厚度。作为架空布线部的另一改进，仅由镀金的布线轨迹形成架空布线部。然而，这种结构趋向于引起布线轨迹的变形，并且改变布线的间隔，从而使得电气特性变差。JP2012-9111A的挠曲件仅在架空布线部处具有薄的基部绝缘层。然而，这种结构使用树脂(诸如聚酰亚胺)形成基部绝缘层，通过蚀刻使得基部绝缘层变薄，并且因此在产品之间存在变薄部的厚度的变化。该问题不仅出现于支架处，而且还出现于挠曲件的尾部的其他架空布线部处，或出现于挠曲件之外的部件的架空布线部处。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种布线薄板，其能够在促进架空布线部的刚度降低的同时抑制电气特性的恶化以及架空布线部的厚度的变化。为了实现该目的，本专利技术的一个方面是提供一种布线薄板，其具有：支撑层，其由金属制成；绝缘的基层，其被设置在支撑层的顶面上；布线部分，其具有被设置在基层的顶面上的多个布线轨迹；绝缘的覆盖层，其覆盖布线轨迹；空隙，其被限定在支撑层中；架空布线部，其是布线部分的越过空隙的一部分；架空基层，其在架空布线部中的各自的布线轨迹处被设置于基层，并且互相间隔；以及架空覆盖层，其在架空布线部中被设置于覆盖层，并且从架空布线部的布线轨迹经过架空基层横跨到架空基层中相邻的架空基层之间的间隙。根据本专利技术的这个方面，在架空布线部中的布线轨迹在相邻的布线轨迹之间不包含基层，并且通过架空覆盖层被连在一起。这种结构促进了架空布线部中的刚度减小。进一步，架空布线部的布线轨迹由彼此间隔的、各自的架空基层支撑，并且架空基层与架空覆盖层连接在一起。这种结构防止了架空布线部变形、布线间隔变化以及电气特性变差。更进一步，架空基层在各自的布线轨迹处被局部地形成，并且在架空布线部中的相邻的布线轨迹之间不存在基层。这种结构防止布线薄板的厚度变化。附图说明图1是示意性地示出了根据本专利技术的第一实施方式的挠曲件的平面视图；图2A是示出了图1的挠曲件的架空布线部以及它们的外围的平面视图，
并且图2B是示出了相同内容的后视图；图3是在沿着常规布线部的平面上的、部分地示出了图1的挠曲件的常规布线部的剖视图；图4是在垂直于一个架空布线部的平面上的、部分地示出了图2A的一个架空布线部的剖视图；图5A至C示出了制造挠曲件的方法，其中，图5A是根据第一实施方式的流程图，图5B是根据第一实施方式的步骤(a)-(e)的一组剖视图，并且图5C是根据比较例的步骤(a)-(e)的一组剖视图；图6是示意性地示出了应用于根据第一实施方式的方法的链接的金属层的框架结构的平面视图；图7是部分地示出了根据本专利技术的第二实施方式的挠曲件的一个架空布线部的剖视图；图8是根据第二实施方式的制造挠曲件的方法的步骤(a)-(e)的一组剖视图；图9是部分地示出了根据本专利技术的第三实施方式的挠曲件的一个架空布线部的剖视图；图10是根据第三实施方式的制造挠曲件的方法的步骤(a)-(e)的一组剖视图；图11是部分地示出了根据本专利技术的第四实施方式的挠曲件的一个架空布线部的剖视图；图12是根据第四实施方式的制造挠曲件的方法的步骤(a)-(e)的一组剖视图；图13A是部分地示出了根据本专利技术的第五实施方式的挠曲件的平面视图，并且图13B是示出了相同内容的后视图；并且图14是根据本专利技术的第六实施方式的挠曲件的尾部的架空布线部以及它们的外围的平面视图。具体实施方式将详细地描述根据本专利技术的实施方式的布线薄板。每个实施方式都体现了第一至第三布线薄板中的一个，以在促进架空布线部的刚度降低的同时抑制电
气特性的恶化以及架空布线部的厚度的变化。第一布线薄板具有：支撑层，其由金属制成；绝缘的基层，其被设置在支撑层的顶面上；布线部分，其具有被设置在基层的顶面上的多个布线轨迹；绝缘的覆盖层，其覆盖布线轨迹；空隙，其被限定在支撑层中；架空布线部，其是布线部分的越过空隙的一部分；架空基层，其在架空布线部中的各自的布线轨迹处被设置于基层并且互相间隔；以及架空覆盖层，其在架空布线部中被设置于覆盖层，并且从架空布线部的布线轨迹经过架空基层横跨到架空基层中相邻的架空基层之间的间隙。第二布线薄板具有：支撑层，其由金属制成；绝缘的基层，被设置在支撑层的顶面上；布线部分，其具有被设置在基层的顶面上的多个布线轨迹；绝缘的覆盖层，其覆盖布线轨迹；空隙，其被限定在支撑层中；架空布线部，其是布线部分的越过空隙的一部分；架空基层，其在架空布线部中的各自的布线轨迹处被设置于基层并且互相间隔；架空覆盖层，其在架空布线部中被设置于覆盖层，并且从架空布线部的布线轨迹经过架空基层横跨到架空基层中相邻的架空基层之间的间隙；开口，其被形成为穿过架空覆盖层，以使得架空布线部的布线轨迹的各自的顶面打开，从而在架空布线部的各自的布线轨迹上形成顶面暴露部；以及镀层，其覆盖顶面暴露部中的各自的布线轨迹。第三布线薄板具有：支撑层，其由金属制成；绝缘的基层，其被设置在支撑层的顶面上；布线部分，其具有被设置在基层的顶面上的多个布线轨迹；绝缘的覆盖层，其覆盖布线轨迹；空隙，其被限定在支撑层中；架空布线部，其是布线部分的越过空隙的一部分；扩展空隙，其被限定在架空布线部中的基层中，以使得架空布线部中的布线轨迹的背面打开，从而在架空布线部的各自的布线轨迹上形成面向空隙的背面暴露部；架空覆盖层，其在架空布线部中被设置于覆盖层，并且从架空布线部的布线轨迹横跨到架空布线部的布线轨迹中相邻的布线轨迹之间的间隙；以及镀层，其覆盖背面暴露部中的各自的布线轨迹。所述架空基层中的每一个架空基层都可具有与形成在所述的每一个架空基层上的相应的布线轨迹相同的宽度。架空覆盖层可将相邻的架空基层连在一起。架本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种布线薄板，其特征在于，其包括：支撑层，其由金属制成；绝缘的基层，其被设置在支撑层的顶面上；布线部分，其具有被设置在基层的顶面上的多个布线轨迹；绝缘的覆盖层，其覆盖布线轨迹；空隙，其被限定在支撑层中；架空布线部，其是布线部分的越过空隙的一部分；架空基层，其在架空布线部中的各自的布线轨迹处被设置于基层并且互相间隔；以及架空覆盖层，其在架空布线部中被设置于覆盖层，并且从架空布线部的布线轨迹经过架空基层横跨到架空基层中相邻的架空基层之间的间隙。

【技术特征摘要】
2015.04.24 JP 2015-0897901.一种布线薄板，其特征在于，其包括：支撑层，其由金属制成；绝缘的基层，其被设置在支撑层的顶面上；布线部分，其具有被设置在基层的顶面上的多个布线轨迹；绝缘的覆盖层，其覆盖布线轨迹；空隙，其被限定在支撑层中；架空布线部，其是布线部分的越过空隙的一部分；架空基层，其在架空布线部中的各自的布线轨迹处被设置于基层并且互相间隔；以及架空覆盖层，其在架空布线部中被设置于覆盖层，并且从架空布线部的布线轨迹经过架空基层横跨到架空基层中相邻的架空基层之间的间隙。2.一种布线薄板，其特征在于，其包括：支撑层，其由金属制成；绝缘的基层，其被设置在支撑层的顶面上；布线部分，其具有被设置在基层的顶面上的多个布线轨迹；绝缘的覆盖层，其覆盖布线轨迹；空隙，其被限定在支撑层中；架空布线部，其是布线部分的越过空隙的一部分；架空基层，其在架空布线部中的各自的布线轨迹处被设置于基层并且互相间隔；架空覆盖层，其在架空布线部中被设置于覆盖层，并且从架空布线部的布线轨迹经过架空基层横跨到架空基层中相邻的架空基层之间的间隙；开口，其被形成为穿过架空覆盖层，以使得架空布线部的布线轨迹的各自的顶面打开，从而在架空布线部的各自的布线轨迹上形成顶面暴露部；以及镀层，其覆盖顶面暴露部中的各自的布线轨迹。3.一种布线薄板，其特征在于，其包括：支撑层，其由金属制成；绝缘的基层，其被设置在支撑层的顶面上；布线部分，其具有被设置在基层的顶面上的多个布线轨迹；绝缘的覆盖层，其覆盖布线轨迹；空隙，其被限定在支撑层中；架空布线部，其是布线部分的越过空隙的一部分；扩展空隙，其被限定在架空布线部中的基层中，以使得架空布线部中的布线轨迹的背面打开，从而在架空布线部的各自的布线轨迹上形成背面暴露部，背面暴露部面向空隙；架空覆盖层，其在架空布线部中被设置于覆盖层，并且从架空布线部的布线轨迹横跨到架空布线部的布线轨迹中相邻的布线轨迹之间的间隙；以及镀层，其覆盖背面暴露部中的各自的布线轨迹。4.根据权利要求1所述的布线薄板，其特征在于，架空基层中的每一个架空基层都具有与形成在所述的每一个架空基层上的相应的布线轨迹相同的宽度。5.根据权利要求1所述的布线薄板，其特征在于，架空覆盖层将相邻的架空基层连在一起。6.根据权利要求3所述的布线薄板，其特征在于，架空覆盖层将架空布线部的相邻的布线轨迹连在一起。7.根据权利要求1所述的布线薄板，其特征在于，其进一步包括：链接部，其被设置于架空覆盖层，使得链接部在布线轨迹被并排布置的方向上延伸到支撑层。8.一种使用根据权利要求1所述的布线薄板的挠曲件，其特征在于，布线薄板进一步包括：支架，其被设置于支撑层；以及舌状物，其被支架支撑，并且滑动件被附接...

【专利技术属性】
技术研发人员：山田幸惠，
申请(专利权)人：日本发条株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP