本发明专利技术涉及一种基板传送装置用升降装置以及基板传送装置。所述基板传送装置用升降装置包括：升降单元，用于升降传送臂，以改变用于传送基板的所述传送臂所处的高度；第一升降引导部和第二升降引导部，相互并排配置，用于引导所述传送臂的升降；第一升降导块，包括结合于所述第一升降引导部的第一导槽；以及第二升降导块，包括结合于所述第二升降引导部的第二导槽，其中，所述第一导槽与所述第二导槽被配置成相互对置。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于传送基板的基板传送装置用升降装置以及包括该升降装置的基板传送装置。
技术介绍
通常，显示装置、太阳能电池、半导体元件等(以下称作：电子部件)等经过多个工序而制成。这种制造工序利用用于制造所述电子部件的基板(substrate)来实现。例如，所述制造工序可以包括用于在基板上沉积导体、半导体、介电体等薄膜的沉积工序、用于将沉积的薄膜形成为规定图案的蚀刻工序等。这种多个制造工序在实施相应工序的处理腔内进行。基板传送装置用于在所述多个处理腔之间传送所述基板。图1是示出现有技术涉及的基板传送装置的方框示意图，图2是示出现有技术涉及的基板传送装置的升降部的示意图。参照图1，现有技术涉及的基板传送装置1由以下部分构成：传送臂2，支撑基板，升降部3，用于升降所述传送臂2，以及旋转部8，用于旋转所述传送臂2。所述传送臂2在支撑所述基板的状态下向腔室(未图示)传送所述基板。所述传送臂2沿着水平方向传送所述基板，所述传送臂2结合于所述升降部3。所述升降部3升降所述传送臂2。通过所述升降部3升降所述传送臂2，所述基板也升降。所述升降部3结合于所述旋转部8。所述旋转部8旋转所述升降部3。通过所述旋转部8旋转所述升降部3，所述传送臂2以及所述基板旋转。参照图1以及图2，所述升降部3包括升降单元4、升降引导部5、升降导块6、支持部7。所述升降单元4结合于所述旋转部8。所述升降单元4根据所述旋转部8的旋转而一同旋转。所述升降引导部5结合于所述升降单元4。所述升降引导部5形成为沿着所述传送臂2的升降方向延伸。所述升降引导部5引导所述升降导块6。所述升降单元4可以结合有多个升降引导部5。例如，所述升降单元4结合有两个升降引导部5a、5b。结合于所述升降单元4的第一升降引导部5a和第二升降引导部5b相互并排配置。所述第一升降引导部5a和所述第二升降引导部5b相互隔开配置。由于所述第一升降引导部5a和所述第二升降引导部5b相互隔开配置，因此所述第一升降引导部5a和所述升降单元4结合的部分与所述第二升降引导部5b和所述升降单元4结合的部分相互具有第一间距GL。所述升降导块6结合于所述升降引导部5。所述升降导块6沿着所述升降引导部5升降。所述第一升降引导部5a结合有第一升降导块6a，所述第二升降引导部5b结合有第二升降导块6b。所述支持部7使所述升降导块6与所述传送臂2相连接。所述支持部7的一面结合有所述升降导块6，另一面结合有所述传送臂2。所述传送臂2可以结合有多个支持部7。即，所述升降引导部5、所述升降导块6以及所述支持部7依次配置为一列。所述传送臂2可以结合有支撑所述第一升降导块6a的第一支持部7a和支撑所述第二升降导块6b的第二支持部7b。根据所述第一升降引导部5a与所述第二升降引导部5b相互隔开配置，所述第一支持部7a与所述第二支持部7b也相互隔开配置。所述第一支持部7a和所述传送臂2结合的部分与所述第二支持部7b与所述传送臂2结合的部分相互具有第二间距BL。根据所述升降引导部5、所述升降导块6以及所述支持部7依次配置为一列，所述第一间距GL与所述第二间距BL相同。根据以上现有技术涉及的基板传送装置1，所述传送臂2传送所述基板，并且对所述升降部3与所述传送臂2之间的结合部施加荷重。这种荷重可以是基于扭矩的荷重，所述扭矩通过所述基板的荷重来使所述传送臂2朝向某一方向下垂而发生。尤其是所述支持部7和所述传送臂2结合的部分被施加较大荷重。由于所述支持部7包括所述第一支持部7a和所述第二支持部7b，因此在两个点上支撑所述传送臂2。当进行这种两点支撑时，支撑点之间的距离越远，就越能稳定地进行支撑。所述第一支持部7a和所述第二支持部7b按照所述第二间距BL隔开并且支撑所述传送臂2，为了增大所述第二间距BL，所述第一间距GL也需要增大。由于所述第一间距GL是所述第一升降引导部5a与所述第二升降引导部5b的间距，所以当增大所述第一间距GL时，所述升降单元4的尺寸也需要增大。当增大所述升降单元4的尺寸时，则加重对所述旋转部8施加的荷重，因此为了支撑所述升降单元4，所述旋转部8也需要增大。即，根据现有技术涉及的基板传送装置1，为了使所述支持部7稳定地支撑所述传送臂2，只能增大现有技术涉及的基板传送装置1的整体尺寸。当现有技术涉及的基板传送装置1的尺寸增大时，则现有技术涉及的基板传送装置1占据大量空间，因而存在用于设置现有技术涉及的基板传送装置1的作业空间的空间利用率下降的问题。
技术实现思路
所要解决的技术问题本专利技术是为了解决所述问题而被提出的，用于提供一种既不增大尺寸又能使传送臂与升降部稳定结合的基板传送装置用升降装置以及包括该升降装置的基板传送装置。技术方案为了解决上述的技术问题，本专利技术可以包括如下的结构。本专利技术涉及的基板传送装置用升降装置可以包括：升降单元，用于升降传送臂，以改变用于传送基板的所述传送臂所处的高度；第一升降引导部和第二升降引导部，结合于所述升降单元，相互并排配置，用于引导所述传送臂的升降；第一升降导块，包括结合于所述第一升降引导部的第一导槽，并且沿着所述第一升降引导部升降；以及第二升降导块，包括结合于所述第二升降引导部的第二导槽，并且沿着所述第二升降引导部升降。所述第一导槽与所述第二导槽可以被配置成相互对置。本专利技术涉及的基板传送装置用升降装置可以包括：升降框架，可升降地结合有用于传送基板的传送臂；驱动部，结合于所述升降框架，提供用于升降所述传送臂的驱动力；外壳，用于阻止因所述传送臂升降而从所述驱动部产生的异物飞散；以及外壳支持部，形成为从所述升降框架突出，以支撑所述外壳。所述外壳支持部以及所述升降框架可以形成为一体。本专利技术涉及的基板传送装置可以包括：传送臂，用于传送基板；升降装置，用于升降所述传送臂，以改变所述传送臂所处的高度；旋转部，用于旋转所述升降装置，以改变所述传送臂的朝向；以及移动部，用于沿着行驶方向移动所述旋转部。在本专利技术涉及的基板传送装置中，所述升降装置可以包括：第一升降引导部和第二升降引导部，相互并排配置，用于引导所述传送臂的升降；第一升降导块，沿着所述第一升降引导部升降；以及第二升降导块，沿着所述第二升降引导部升降。所述第一升降引导部和所述第二升降引导部可以配置在所述第一升降导块与所述第二升降导块之间。有益效果根据本专利技术，可以获得如下效果。本专利技术使第一升降导块与第二升降导块的间距大于第一升降引导部与第二升降引导部的间距，从而使支持部稳定地支撑传送臂。附图说明图1是示出现有技术涉及的基板传送装置的方框示意图。图2是示出现有技术涉及的基板传送装置的升降部的示意图。图3是本专利技术的第一实施例涉及的基板传送装置的立体示意图。图4是本专利技术的第一实施例涉及的用于基板传送装置的升降装置的剖视示意图。图5是本专利技术的第一实施例涉及的用于基板传送装置的升降装置的分解剖视示意图。图6是示出本专利技术的第二实施例涉及的基板传送装置的立体图。图7是示出图6的基板传送装置中的升降装置的立体图。图8是示出图7的升降装置的剖视图。具体实施方式下面，参照附图，详细说明本专利技术涉及的基板传送装置的第一实施例。由于本专利技术的第一实施例涉及的基板传送装置用升降装置包含于本专利技术的第一实施例涉及的基板传送装置中，因此在说明本专利技术的第一实施例本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种基板传送装置用升降装置，其特征在于，包括：升降单元，使传送臂升降，以改变用于传送基板的所述传送臂所处的高度；第一升降引导部和第二升降引导部，结合于所述升降单元，相互并排配置，用于引导所述传送臂的升降；第一升降导块，包括结合于所述第一升降引导部的第一导槽，并且沿着所述第一升降引导部升降；以及第二升降导块，包括结合于所述第二升降引导部的第二导槽，并且沿着所述第二升降引导部升降，其中，所述第一导槽与所述第二导槽被配置成相互对置。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.01.02 KR 10-2014-0000199;2014.01.02 KR 10-2011.一种基板传送装置用升降装置，其特征在于，包括：升降单元，使传送臂升降，以改变用于传送基板的所述传送臂所处的高度；第一升降引导部和第二升降引导部，结合于所述升降单元，相互并排配置，用于引导所述传送臂的升降；第一升降导块，包括结合于所述第一升降引导部的第一导槽，并且沿着所述第一升降引导部升降；以及第二升降导块，包括结合于所述第二升降引导部的第二导槽，并且沿着所述第二升降引导部升降，其中，所述第一导槽与所述第二导槽被配置成相互对置。2.根据权利要求1所述的基板传送装置用升降装置，其特征在于，包括第一支持部，所述第一支持部支撑所述第一升降导块，所述第一支持部包括支撑所述第一升降导块的不同的面的第一底座部件和第一支持部件。3.根据权利要求2所述的基板传送装置用升降装置，其特征在于，所述第一支持部件突出形成在所述第一底座部件的一端与另一端之间。4.根据权利要求2所述的基板传送装置用升降装置，其特征在于，所述第一支持部件支撑所述第一升降导块中的与所述第一导槽相反的面。5.根据权利要求2所述的基板传送装置用升降装置，其特征在于，所述第一支持部包括轻量槽，所述轻量槽形成为贯穿所述第一底座部件。6.根据权利要求2所述的基板传送装置用升降装置，其特征在于，所述第一支持部包括贯穿形成在所述第一底座部件上的贯穿槽，以使阻隔污染物质用的密封部件穿过所述第一底座部件。7.根据权利要求1所述的基板传送装置用升降装置，其特征在于，包括第二支持部，所述第二支持部支撑所述第二升降导块，所述第二支持部包括支撑所述第二升降导块的不同的面的第二底座部件和第二支持部件。8.根据权利要求7所述的基板传送装置用升降装置，其特征在于，所述第二支持部包括：轻量槽，形成为贯穿所述第二底座部件，以减轻所述第二底座部件的重量；以及贯穿槽，贯穿形成在所述第二底座部件，以使阻隔污染物质用...
【专利技术属性】
技术研发人员：金钟郁，金祥铉，金兑炫，尹大奎，
申请(专利权)人：现代重工业株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。