基于内衬的系统技术方案

本公开涉及一种基于内衬的系统，其包括：外包装；以及内衬，所述内衬被设置于所述外包装内，所述内衬包括口和内衬壁，所述内衬壁形成所述内衬的内部空腔，所述内衬包括由非倾斜部分分隔开的顶部部分和底部部分，所述内衬沿着所述内衬的所述非倾斜部分的圆周限定有多个竖直地布置的凹槽和多个水平地布置的凹槽。

【技术实现步骤摘要】
分案申请本申请是申请号为201180059945.5的中国专利申请的分案申请，上述申请的申请日为2011年10月10日，专利技术名称为“大体刚性的可塌缩内衬、用于替换玻璃瓶的容器和/或内衬、以及加强的柔性内衬”。相关申请的交叉引用本申请案涉及2010年7月9日申请的标题名称为“Substantially Rigid Collapsible Liner and Flexible Gusseted or Non-gusseted Liners and Methods of Manufacturing the Same and Methods for Limiting Choke-off in Liners”的国际专利申请案第PCT/US10/41629号；2010年10月11日申请的标题名称为“Substantially Rigid Collapsible Liner,Container and/or Liner for Replacing Glass Bottles,and Flexible Gusseted or Non-Gusseted Liners”的美国专利申请案第61/391,945号；以及2010年10月21日申请的标题名称为“Substantially Rigid Collapsible Liner,Container and/or Liner for Replacing Glass Bottles,and Flexible Gusseted or Non-Gusseted Liners”的美国专利申请案第61/405,567号，这些专利申请案中的每一个的内容的全文以引用的方式并入本文中。
本公开涉及基于内衬的储存及分配系统。更具体地，本公开涉及大体刚性的容器、可塌缩内衬及柔性角撑或非角撑内衬以及用于制造大体刚性容器、可塌缩内衬及柔性角撑或非角撑内衬的方法。本公开还涉及可用作简单刚性壁容器的替代物或替换物的系统及内衬，这些简单刚性壁容器例如是由玻璃制成的刚性壁容器。本公开还涉及用于限制内衬中的阻塞的方法。
技术介绍
许多制造过程需要使用超纯液体，例如酸、溶剂、碱、光阻剂、浆料、清洁调制剂、掺杂剂、无机物、有机物、金属有机物及生物溶液、药品及放射性化学品。这些应用需要使超纯液体中粒子的数目及尺寸最小化。具体地，因为超纯液体用于微电子制造工艺的许多态样中，所以半导体制造商已建立用于处理化学品及化学品输送装备的严格粒子浓度规范。这些规范是必需的，因为：如果在制造过程期间使用的液体含有高含量的粒子或气泡，这些粒子或气泡可能沉积在硅的固体表面上。这又可能导致产品故障及降低的质量及可靠性。因此，这些超纯液体的储存、运输及分配需要能够为残留液体提供充分保护的容器。工业中通常使用的两种类型的容器是由玻璃或塑料制成的简单刚性壁容器及基于可塌缩内衬的容器。刚性壁容器由于这些刚性壁容器的物理强度、厚壁、廉价成本及易于制造而在传统上得以使用。然而，这些容器在压力分配液体时可形成空气-液体界面。该压力的增加可使气体溶解至容器中的残留液体(诸如，光阻剂)中，且该压力的增加可导致分配列中的液体中产生不期望的粒子及气泡。或者，基于可塌缩内衬的容器，诸如由ATMI,Inc.销售的分配系统能够通过在分配时以气体加压至内衬上(与直接加压至容器中的液体上相反)而减少这些空气-液体界面。然而，已知的内衬可能无法提供充分保护，以不受环境条件影响。举例而言，当前基于内衬的容器可能未能保护残留液体不受针孔击穿及焊缝撕裂，这些针孔击穿及焊缝撕裂有时由振动引起的弹性变形而造成，这些振动例如是由于容器的运输而引起的那些振动。由于运输而引起的振动在来源地与最终目的地之间可使内衬弹性变形或挠曲很多次(例如，数千次至数百万次)。振动愈大，就越可能产生针孔及焊缝撕裂。针孔及焊缝撕裂的其它起因包括：冲击效应、掉落或容器的大幅运动。气体可经由针孔或焊缝撕裂被引入，从而随着时间推移而污染残留液体，因为气体将被允许以气泡形式进入溶液并从溶液中出来而到达晶圆上。另外，可塌缩内衬被构造成充满规定量的液体。然而，内衬并非清洁地装配在其各自的外容器内，因为当将这些内衬装配于容器内部时，在内衬中产生褶皱。这些褶皱可妨碍液体填充由所述褶皱占据的空间中的内衬。因此，当容器充满规定量的液体时，液体易于溢出容器，从而导致液体损失。如先前所述，这些液体通常为超纯液体，诸如酸、溶剂、碱、光阻剂、掺杂剂、无机物、有机物及生物溶液、药品及放射性化学品，这些液体可能非常昂贵，例如约$2,500/L或更贵。因此，即使少量的溢出也是不期望的。因此，本领域中需要用于超纯液体的较佳内衬系统，这些较佳内衬系统不包括由先前刚性壁容器及基于可塌缩内衬的容器呈现的缺点。本领域中需要大体刚性的可塌缩内衬及柔性角撑或非角撑内衬。本领域中需要一种基于内衬的储存及分配系统，该基于内衬的储存及分配系统解决与针孔、焊缝撕裂、气体压力饱和及溢出相关联的问题。本领域中需要基于内衬的储存及分配系统，这些基于内衬的储存及分配系统解决与内衬中的过多褶皱相关联的问题，内衬中的过多褶皱可导致内衬内的额外空腔气体。本领域中还需要多个内衬，包含这些内衬以使得限制或消除阻塞。
技术实现思路
在一个实施例中，本公开涉及一种基于内衬的系统，其包括：外包装；以及内衬，所述内衬被设置于所述外包装内，所述内衬包括口和内衬壁，所述内衬壁形成所述内衬的内部空腔，所述内衬包括由非倾斜部分分隔开的顶部部分和底部部分，所述内衬沿着所述内衬的所述非倾斜部分的圆周限定有多个竖直地布置的凹槽和多个水平地布置的凹槽。在一个实施例中，本公开涉及一种基于内衬的储存系统，该基于内衬的储存系统包括外包装(overpack)及内衬。该内衬可置于该外包装内。该内衬可具有大体刚性内衬壁，该大体刚性内衬壁形成该内衬的内部空腔，该刚性内衬壁具有厚度，以使得该内衬在扩张状态下大体自支撑，而在小于约20psi的压力下可塌缩，以自该内部空腔内分配流体。在另一实施例中，本公开涉及一种内衬，该内衬具有内衬壁及集液槽区域，该内衬壁形成该内衬的内部空腔，该集液槽区域通常在该内衬的底部处以增加可分配率。在另一实施例中，本公开涉及一种内衬，该内衬进一步包括用于防止阻塞的构件。在另一实施例中，本公开涉及一种用于替换刚性壁容器的内衬。该内衬包括内衬壁，该内衬壁形成内衬的内部空腔，用于容纳材料。该内衬壁由聚萘二甲酸乙二酯(polyethylene naphthalate；PEN)制成，并具有或不具有湿气障壁涂层。该内衬还包括附接至该内衬壁的附件，以用于将材料引入内衬的内部空腔中及用于自内衬的内部空腔分配材料。在另一实施例中，本公开涉及一种用于替换刚性壁容器的内衬系统。该内衬系统包括内衬，该内衬形成用于容纳材料的内部空腔。该内衬由聚萘二甲酸乙二酯(PEN)制成。该内衬系统还包括至少一种干燥剂，以用于减少进入内衬的内部空腔中的湿气。在另一实施例中，本公开涉及一种将高纯度材料输送至半导体工艺的方法，该方法包括以下步骤：提供大体刚性独立容器，该大体刚性独立容器在内部中储存有该高纯度材料。该容器具有容器壁，该容器壁包含聚萘二甲酸乙二酯(PEN)，且该容器在内部中具有汲取管，以用于自该容器分本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于内衬的系统，包括：外包装；以及内衬，所述内衬被设置于所述外包装内，所述内衬包括口和内衬壁，所述内衬壁形成所述内衬的内部空腔，所述内衬包括由非倾斜部分分隔开的顶部部分和底部部分，所述内衬沿着所述内衬的所述非倾斜部分的圆周限定有多个竖直地布置的凹槽和多个水平地布置的凹槽。

【技术特征摘要】
2010.10.11 US 61/391,945;2010.10.21 US 61/405,567;1.一种基于内衬的系统，包括：外包装；以及内衬，所述内衬被设置于所述外包装内，所述内衬包括口和内衬壁，所述内衬壁形成所述内衬的内部空腔，所述内衬包括由非倾斜部分分隔开的顶部部分和底部部分，所述内衬沿着所述内衬的所述非倾斜部分的圆周限定有多个竖直地布置的凹槽和多个水平地布置的凹槽。2.根据权利要求1所述的基于内衬的系统，其中，所述外包装包括由非倾斜部分分隔开的顶部部分和底部部分，所述外包装沿着所述外包装的所述非倾斜部分的圆周限定有多个竖直地布置的凹槽和多个水平地布置的凹槽，所述外包装的所述多个竖直地布置的凹槽与所述内衬的所述多个竖直地布置的凹槽是协同延伸的，并且，所述外包装的所述多个水平地布置的凹槽与所述内衬的所述多个水平地布置的凹槽是协同延伸的。3.根据权利要求2所述的基于内衬的系统，其中：所述内衬的所述多个水平地布置的凹槽中的每一个均围绕所述内衬的所述非倾斜部分的整个圆周延伸；并且所述外包装的所述多个水平地布置的凹槽中的每一个均围绕所述外包装的所述非倾斜部分的整个圆周延伸。4.根据权利要求2所述的基于内衬的系统，其中：所述内衬的所述多个竖直地布置的凹槽中的每一个和所述内衬的所述多个水平地布置的凹槽中的每一个在所述内衬的所述非倾斜部分上限定突起；并且所述外包装的所述多个竖直地布置的凹槽中的每一个和所述外包装的所述多个水平地布置的凹槽中的每一个在所述外包装的所述非倾斜部分上限定突起。5.根据权利要求2所述的基于内衬的系统，其中：所述内衬的所述多个竖直地布置的凹槽中的每一个和所述内衬的所述多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：格伦·汤姆，格里格·尼尔森，刘威，阿米·扩兰德，唐·韦尔，丹尼尔·J·德拉姆，特蕾西·M·莫曼尼，
申请(专利权)人：安格斯公司，
类型：发明
国别省市：美国;US