承载工作台制造技术

本发明专利技术涉及曝光机技术领域，提供了一种承载工作台。该承载工作台包括用于自动清洗台面的擦拭设备和用于干燥台面的干燥设备。通过擦拭设备可清除较顽固污渍，清洁效果好；通过干燥设备可加快清洁剂的蒸发速度，实现即擦即干，可在短时间内完成自动清洁，不影响设备及产线的正常运营。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及曝光机
，特别提供了一种承载工作台。
技术介绍
彩膜(Color Filter，简称CF)是用来实现彩色显示的主要器件。CF的基本构成为黑框矩阵(BM层)、彩色光阻(RGB层)、Over Coat层(OC层)，ITO导电层及支撑盒厚的隔垫物(PS)。CF在制备过程中需要经过涂布、曝光、显影等工序。整个制备流程过程中需要多次利用到Stage来承载基板完成曝光、涂布、特性值测量等工序。Stage表面存在异物和Stage内部支撑PIN表面存在异物往往会带来很严重的品质问题，如涂布机基台表面存在异物往往会存在Uncoating不良，曝光机Stage表面存在异物会带来黑圆等不良，曝光机Stage内部支撑PIN表面存在异物也会给产品带来如黑圆之类的Mura，造成产品良率的降低。现有的Stage不具有自动清洁能力，需要人工手动进入设备内部进行清洁。现有对于Stage内部支撑PIN的清洁方式只是人工手动调整设备，使得支撑PIN处于升起状态人工使用无尘布挨个擦拭支撑PIN的支撑部位。但是人工手动清洁往往会带来影响产线设备稼动，耗费大量人力，给设备内部带来新的污染等问题，同时人工手动清洁Stage内部的支撑PIN会由于基板尺寸过大，人工无法手动清洁到Stage中央部位的支撑PIN，造成清洁效果的降低。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术的目的是提供一种可在短时间内完成自动清洁，不影响设备及产线的正常运营的承载工作台。(二)技术方案为实现上述目的，本专利技术提供了一种承载工作台，包括用于自动清洗台面的擦拭设备和用于干燥台面的干燥设备。优选的，还包括布置在工作台一侧的第一导轨；所述擦拭设备和干燥设备的后端均与所述第一导轨连接，用于沿所述第一导轨从工作台一端移动到另一端。优选的，所述擦拭设备和所述干燥设备在垂直于所述第一导轨方向上可伸缩。优选的，所述擦拭设备和所述干燥设备间隔平行布置。优选的，所述擦拭设备和所述干燥设备间隔5-15cm。优选的，在移动方向上，所述干燥设备设置在所述擦拭设备的后方。优选的，还包括用于控制工作台内部支撑脚升降和旋转的智能控制器。优选的，所述智能控制器用于在擦拭设备移动到支撑脚上方时，将支撑脚旋转，进行旋转擦拭；还用于清洁完成时将支撑脚的底端支撑面和工作台面保持在同一平面。优选的，所述擦拭设备包括清洁件和喷液器；所述喷液器包括用于喷淋清洁液的喷嘴和用于连接清洁液存放器的导管；所述喷嘴喷射方向正对清洁件，用于将清洁液喷射到清洁件上。优选的，所述清洁剂为易挥发物质。优选的，所述清洁件为无尘布。优选的，所述干燥设备包括热风枪，所述热风枪的出风方向为正对台面或者侧前方。优选的，所述擦拭设备包括用于定位台面指定坐标的定位器和和设定清洁停留时间的计时器。优选的，还包括布置在工作台平行两侧的第二导轨，所述擦拭设备和干燥设备的可移动的设置在所述两个所述第二导轨上。优选的，所述第二导轨延伸至台面之外。优选的，位于台面之外的所述第二导轨沿所述台面的侧部向下延伸。(三)有益效果本专利技术提供的一种承载工作台，包括用于自动清洗台面的擦拭设备和用于干燥台面的干燥设备。通过擦拭设备可清除较顽固污渍，清洁效果好；通过干燥设备可加快清洁剂的蒸发速度，实现即擦即干，可在短时间内完成自动清洁，不影响设备及产线的正常运营。附图说明图1是本专利技术实施例的一种承载工作台的轴测视图一。图2是本专利技术实施例的一种承载工作台的轴测视图二。附图标记：1、擦拭设备；2、干燥设备；3、第一导轨；4、第二导轨。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。结合图1和图2所示，本专利技术实施例提供的一种承载工作台，包括用于自动清洗台面的擦拭设备1和用于干燥台面的干燥设备2。擦拭设备1可清除较顽固污渍，清洁效果好；干燥设备2可加快清洁剂的蒸发速度，由此实现即擦即干，可在短时间内完成自动清洁，不影响设备及产线的正常运营。其中，本工作台优选还包括布置在工作台一侧的第一导轨3；擦拭设备1和干燥设备2的后端均与第一导轨3连接，用于沿第一导轨3从工作台一端移动到另一端。只需在基台单侧设置一个导轨，即可使擦拭设备1和干燥设备2沿一定轨迹进行擦拭和干燥，由此可消除清洁盲区，清洁效率高。进一步的，擦拭设备1和干燥设备2可在垂直于第一导轨3方向上可伸缩。对于单侧导轨而言，将擦拭设备1和干燥设置为可伸缩的形式，可以在需要清洁时令其伸出，在不需要清洁时缩回至台面的一侧，不影响基台上的正常运营操作。另外，擦拭设备1和干燥设备2可间隔平行布置。在宽度方向上，每个被擦拭处受到干燥的间隔时间均相同，保证清洁度的一致性。而且，擦拭设备1和干燥设备2间隔5-15cm。擦拭设备1留下的擦拭痕迹经过短暂的自然蒸发后，再受到干燥设备2的干燥，使最终的干燥效果更佳、更彻底。在移动方向上，干燥设备2设置在擦拭设备1的后方。先擦拭，后干燥，这样的顺序可实现更佳的清洁效果。本实施例的承载工作台优选还包括用于控制工作台内部支撑脚升降和旋转的智能控制器。支撑脚升起并旋转，周身与擦拭设备1形成接触，实现对支撑脚的擦拭，做到了现有手工操作很难解决的技术难题。其中，智能控制器用于在擦拭设备1移动到支撑脚上方时，将支撑脚旋转，进行旋转擦拭；还用于清洁完成时将支撑脚的底端支撑面和工作台面保持在同一平面。通过智能控制器实现支撑脚的自动清洁，自动化程度更高，提高了清洁效率。擦拭设备1包括清洁件和喷液器；喷液器包括用于喷淋清洁液的喷嘴和用于连接清洁液存放器的导管；喷嘴喷射方向正对清洁件，用于将清洁液喷射到清洁件上。通过喷射器持续为清洁剂提供清洁剂，可保证在整个擦拭路径上都有充足的清洁剂参与，保证了清洁效果。而且，清洁剂优选为易挥发物质，从而可提高了干燥效率。清洁件为无尘布，利用无尘布的毛细现象将清洁剂充斥于整个无尘布，不会存在局部未湿润的盲区。干燥设备2包括热风枪，热风枪的出风方向为正对台面或者侧前方。加热配合吹拂，干燥效果更佳；且向侧前方吹时，不仅可以增加吹拂面积，使更靠近擦拭设备1的区域得到预干燥，且最远离擦拭设备1的区域优先接触到最干燥的热空气，使最终的干燥程度更有保证。擦拭设备1包括用于定位台面指定坐标的定位器和和设定清洁停留时间的计时器。定位器配合定时器可使擦拭设备1定位于某处进行持续清洁，可有针对性的对局部顽固污渍形成清除。还包括布置在工作台平行两侧的第二导轨4，擦拭设备1和干燥设备2的可移动的设置在两个第二导轨4上。双侧导轨使擦拭设备1和干燥设备2运行更稳定。第二导轨4延伸至台面之外。使擦拭设备1和干燥设备2让出台面的工作区域，不影响台面的正常运营。位于台面之外的第二导轨4沿台面的侧部向下延伸。在不需要清洁时，擦拭设备1和干燥设备2可置于台面的侧方，更加不会影响台面的正常工作。以上所述仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种承载工作台，其特征在于，包括用于自动清洗台面的擦拭设备和用于干燥台面的干燥设备。

【技术特征摘要】
1.一种承载工作台，其特征在于，包括用于自动清洗台面的擦拭设备和用于干燥台面的干燥设备。2.根据权利要求1所述的承载工作台，其特征在于，还包括布置在工作台一侧的第一导轨；所述擦拭设备和干燥设备的后端均与所述第一导轨连接，用于沿所述第一导轨从工作台一端移动到另一端。3.根据权利要求2所述的承载工作台，其特征在于，所述擦拭设备和所述干燥设备在垂直于所述第一导轨方向上可伸缩。4.根据权利要求1所述的承载工作台，其特征在于，所述擦拭设备和所述干燥设备间隔平行布置。5.根据权利要求4所述的承载工作台，其特征在于，所述擦拭设备和所述干燥设备间隔5-15cm。6.根据权利要求4所述的承载工作台，其特征在于，在移动方向上，所述干燥设备设置在所述擦拭设备的后方。7.根据权利要求1所述的承载工作台，其特征在于，还包括用于控制工作台内部支撑脚升降和旋转的智能控制器。8.根据权利要求7所述的承载工作台，其特征在于，所述智能控制器用于在擦拭设备移动到支撑脚上方时，将支撑脚旋转，进行旋转擦拭；还用于清洁完成时将支撑脚的底端支撑面和工作台面保持...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘浏，张鹤群，彭金宝，石鹏程，李健，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11