用于形状测量装置的倾斜角度调节器制造方法及图纸

用于形状测量装置的倾斜角度调节器包括：基板，其安装于所述Z滑动件；挂板，其安装于所述测量装置主体；薄联接板，其以将所述挂板挂在所述基板的第一表面侧的方式支撑所述挂板；施力部件，其以对所述挂板赋予第一方向上的转动力的方式对所述挂板施力；以及千分尺头，其被设置成朝向与由所述施力部件赋予的转动力的方向相反的第二方向直接或间接地推所述挂板。

【技术实现步骤摘要】
相关申请的引用本申请要求2015年3月31日递交的日本申请No.2015-072320的优先权，其全部公开内容通过引用被明确地并入本文。
本专利技术涉及用于形状测量装置的倾斜角度调节器。
技术介绍
已知的形状测量装置的示例包括测量表面的粗糙度、凹凸度和起伏度的表面特征测量设备(日本专利No.5,000,894)。表面特征测量设备以使触笔(其前端具有触针)能够摆动的方式支撑触笔，并且基于触笔在触针描绘和扫描被测物体的表面时的摆动量来检测被测物体的表面的粗糙度、凹凸度和起伏度。图1示出传统的表面特征测量设备50。表面特征测量设备50设置有测量装置主体10和支撑支座20。测量装置主体10包括：触笔12，其在前端处具有触针11；检测部13，其可摆动地支撑触笔12并还检测触笔12的摆动量；以及X滑动机构14，其使检测部13沿X轴方向前进和后退。在图1中，X轴从左向右延伸，Y轴从图纸的正面向背面延伸，Z轴从下向上延伸。支撑支座20包括基部21；Z柱22，其直立于基部21；以及Z滑动件23，其被设置成能够在Z柱22上沿上下方向(Z轴方向)升降。在该示例中，X滑动机构14安装于Z滑动件23，测量装置主体10支撑在支撑支座20上，但是这不意味着X滑动机构14直接地安装于Z滑动件23。替
代地，旋转板30介于Z滑动件23与X滑动机构14之间。旋转板30能够使测量装置主体10以与Y轴平行的轴作为转动轴而倾斜。例如，在被测表面W1为倾斜面的情况下，通过旋转板30以使被测表面W1与X滑动机构14的驱动方向平行的方式倾斜X滑动机构14。因此，被测表面W1的粗糙度、凹凸度和起伏度进入(are brought into)触笔12的上下移动范围(测量范围)，从而能够追踪测量倾斜的被测表面W1。能够通过旋转板30可靠地改变和调节测量装置主体10的倾斜角度。然而，触笔12的上下移动范围(测量范围)为大约数百微米。因此，当调节定向以使X滑动机构14的驱动方向与被测表面W1平行时，必须进行在数百微米的范围内的微调。最终，必须在±1°的范围内进行测量装置主体10的倾斜角度调节。然而，在仅设置有诸如旋转板30等的转动轴(倾斜轴)的情况下，该微调相当困难，并且操作人员会多次超调和回调以定位合适的位置。这需要大量的时间和努力。倾斜调节需要时间和努力的情况下，会降低工作效率(测量效率)。
技术实现思路
本专利技术提供一种支持在调节形状测量装置的倾斜角度时进行倾斜角度微调的倾斜角度调节器。根据本专利技术的倾斜角度调节器，当测量装置主体安装于支座的Z滑动件时，所述倾斜角度调节器介于所述Z滑动件与所述测量装置主体之间，所述测量装置主体利用触针描绘和扫描被测物体的表面。所述倾斜角度调节器包括：基板，其安装于所述Z滑动件；挂板，其安装于所述测量装置主体；薄联接板，其以将所述挂板挂在所述基板的第一表面侧的方式支撑所述挂板；施力部件，其以对所述挂板赋予第一方向上的转动力的方式对所述挂板施力；以及千分尺头，其被设置成朝向与由所述施力部件赋予的转动力的方向
相反的第二方向直接或间接地推所述挂板。在本专利技术中，优选地，所述薄联接板包括：臂，其为具有弹性的长形薄板；以及联接片，其从所述臂的中央区域突出。优选地，所述联接片固定于所述基板的上端面，并且优选地所述臂以挂住所述挂板的方式保持所述挂板。在本专利技术中，优选地，所述臂包括肋，所述肋相对于所述臂的薄板成直角地设置。在本专利技术中，优选地，所述挂板包括突出的销；所述基板包括供所述销插入的孔或缺口；并且所述施力部件以对插入所述孔或所述缺口的销施力的方式安装于所述基板。在本专利技术中，所述薄联接板固定于所述基板的部位为支点，所述薄联接板与所述挂板连接的位置为作用点，优选地，所述千分尺头推靠所述挂板的位置为施力点；并且所述支点与所述作用点之间的距离等于或小于所述支点与所述施力点之间的距离。优选地，本专利技术包括设置在所述基板附近的杠杆构件，所述杠杆构件以能够以预定转动轴作为转动轴转动的方式被支撑；所述杠杆构件的转动轴为支点，所述挂板推靠所述杠杆构件的点为作用点，所述千分尺头推靠所述杠杆构件的点为施力点，优选地，所述支点与所述作用点之间的距离等于或小于所述支点与所述施力点之间的距离。在本专利技术中，优选地，所述基板具有转动支承件，所述基板的该转动支承件包括设置于所述Z滑动件的第一支承件，并且所述挂板具有转动支承件，所述挂板的该转动支承件包括与所述第一支承件同轴的第二支承件。根据本专利技术的形状测量装置包括：测量装置主体，其利用触针描绘和扫描被测物体的表面；支座，其支撑所述测量装置主体；以及倾斜角度调节器。附图说明在以下的详细说明中，通过本专利技术的示例性实施方式的非限定性示例的方式参照已注明的多个附图来进一步说明本专利技术，在附图的若干视图中，用相同的附图标记表示相似的部件，其中：图1示出传统的表面特征测量设备；图2是表面特征测量设备的整体外观图；图3是分离地示出Z滑动件、倾斜角度调节器和测量装置主体的分解图；图4是倾斜角度调节器的分解立体图；图5是倾斜角度调节器的分解立体图；图6是倾斜角度调节器的立体图；图7示出与重心的位置相关联的力的变化；图8示出根据第二实施方式的倾斜角度调节器；图9是根据第二实施方式的倾斜角度调节器的分解立体图；图10是根据第二实施方式的倾斜角度调节器的分解立体图；图11示出杠杆比；图12示出第一变型例；图13示出第二变型例；以及图14示出第三变型例。具体实施方式本文中示出的细节仅作为示例且仅用于本专利技术的实施方式的说明性讨论的目的，并且为了提供对本专利技术的原理和概念方面来说被认为是最有用且最易理解的说明而提出。在这方面，不试图比对基本理解本专利技术来说是必要的更详细地示出本专利技术的结构细节，结合附图的说明可以使本领域技术人员明白在实践中可以如何实施本专利技术的形式。参照附图和参照附图中的各部件被分配的附图标记来说明本专利技术的实施方式。第一实施方式说明根据本专利技术的第一实施方式的表面特征测量设备(形状测量装置)的倾斜角度调节器。图2是表面特征测量设备50的整体外观图，表面特征测量设备50具有设置在Z滑动件23与X滑动机构14之间的倾斜角度调节器100。测量装置主体10和支撑支座20与
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中说明的构造大致相同，因此给予与
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(图1)相同的附图标记并省略其详细说明。如图2所示，倾斜角度调节器100设置在Z滑动件23与X滑动机构14之间。图3是分离地示出Z滑动件23、倾斜角度调节器100和测量装置主体10的分解图。支承组件26设置于Z滑动件23的供倾斜角度调节器100安装的安装面，支承组件26以与Y轴平行的转动轴为中心转动。支承组件26包括两个同轴设置的支承件(27和28)。具体地，内支承件28定位在外支承件27的内部。接下来，图4是倾斜角度调节器100的分解立体图。倾斜角度调节器100包括基板110、挂板(hanging plate)120、薄联接板130、千分尺头140、头保持件150以及螺旋弹簧(施力部件)161R和161L。如本文所限定的，弹簧161R和161L为任意的弹性体或在被扭曲后释放时恢复其原始形状的装置，并且不限于螺旋弹簧。确切地说，弹簧161R和161L仅为弹性构件或弹性件的示例。换言之，可以使用任意适当材料或构造的不本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种倾斜角度调节器，当测量装置主体安装于支座的Z滑动件时，所述倾斜角度调节器介于所述Z滑动件与所述测量装置主体之间，所述测量装置主体利用触针描绘和扫描被测物体的表面，所述倾斜角度调节器包括：基板，其安装于所述Z滑动件；挂板，其安装于所述测量装置主体；联接板，其以将所述挂板挂在所述基板的第一表面侧的方式支撑所述挂板；施力部件，其被构造成以对所述挂板赋予第一方向上的转动力的方式对所述挂板施力；以及千分尺头，其被构造成朝向与由所述施力部件赋予的转动力的方向相反的第二方向直接或间接地推所述挂板。

【技术特征摘要】
2015.03.31 JP 2015-0723201.一种倾斜角度调节器，当测量装置主体安装于支座的Z滑动件时，所述倾斜角度调节器介于所述Z滑动件与所述测量装置主体之间，所述测量装置主体利用触针描绘和扫描被测物体的表面，所述倾斜角度调节器包括：基板，其安装于所述Z滑动件；挂板，其安装于所述测量装置主体；联接板，其以将所述挂板挂在所述基板的第一表面侧的方式支撑所述挂板；施力部件，其被构造成以对所述挂板赋予第一方向上的转动力的方式对所述挂板施力；以及千分尺头，其被构造成朝向与由所述施力部件赋予的转动力的方向相反的第二方向直接或间接地推所述挂板。2.根据权利要求1所述的倾斜角度调节器，其特征在于，所述联接板包括：臂，其包括长形板并具有弹性；以及联接片，其从所述臂的中央区域突出，其中：所述联接片固定于所述基板的上端面，并且所述臂被构造成以挂住所述挂板的方式保持所述挂板。3.根据权利要求2所述的倾斜角度调节器，其特征在于，所述臂还包括肋，所述肋相对于所述臂的长形板成直角地设置。4.根据权利要求1所述的倾斜角度调节器，其特征在于，所述挂板包括突出的销；所述基板包括供所述销插入的孔或缺口；并且所述施力部件以对插入所述孔或所述缺口的销施力的方式定位于所述基板。5.根据权利要求1所述的倾斜角度调节器，其特征在于，所述联接板固定于所述基板的部位为支点，所述联接板与所述挂板连接的位置为作用点，所述千分尺头推靠所述挂板的位置为施力点；并且所述支点与所述作用点之间的距离等于或小于所述支点与所述施力点之间的距离。6.根据权利要求1所述的倾斜角度调节器，其特征在于，所述倾斜角度调节器还包括设置在所述基板附近的杠杆，所述杠杆以能够以预定转动轴作为转动轴转动的方式被支撑，其中：所述杠杆的转动轴为支点，所述挂板推靠所述杠杆的点为作用点，所述千分尺头推靠所述杠杆的点为施力点；并且所述支点与所述作用点之间的距离等于或小于所述支点与所述施力点之间的距离。7.根据权利要求1所述的倾斜角度调节器，其特征在于，所述基板具有转动支承件，所述基板的该转动支承件包括设置于所述Z滑动件的第一支承件，并且所述挂板具有转动支承件，所述挂板的该转动支承件包括与所述第一支承件同轴的第二支承件。8.根据权利要求1至7中的任一项所述的倾斜角度调节器，其特征在于，所述施力...

【专利技术属性】
技术研发人员：小野寺洋平，滨伸行，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：日本;JP