提供一种堆积物状态推定装置、堆积物状态推定方法及堆积物状态推定系统，其能够推定隔膜的受压面上所堆积的堆积物的状态。根据未堆积有堆积物(PM)的初始状态的隔膜(32)发生共振的初始电源频率(rf1)和堆积有堆积物(PM)之后的隔膜(32)发生共振的电源频率(rf2)，能够推定堆积物(PM)的状态，因此即使在隔膜(32)上仅堆积有一点点堆积物(PM)的不产生零点漂移的阶段，也能够推定堆积物(PM)的状态。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种堆积物状态推定装置、堆积物状态推定方法及堆积物状态推定系统，尤其，涉及一种将受到被测定流体的压力而弯曲的传感器隔膜(隔膜)的变化作为电容的变化来进行检测的电容型压力传感器。
技术介绍
以往，将受到被测定流体的压力而弯曲的传感器隔膜的变化作为电容的变化来进行检测的电容型压力传感器为人们所知。例如，为了对半导体制造装置等的薄膜形成工序中的真空状态的压力进行计测而利用电容型压力传感器，将用于计测该真空状态的压力的电容型压力传感器称作隔膜真空计。该隔膜真空计包括：具有被测定流体的导入部的壳体；受到设在该壳体的内部且穿过壳体的导入部被导入的被测定流体的压力而弯曲的传感器隔膜；将该传感器隔膜弯曲时的变化作为电容的变化检测出，并将该电容的变化转换成电压值而输出的传感器单元；对将该传感器单元收纳于内侧的壳体进行覆盖的传感器箱(例如参见专利文献1)。在此，所谓传感器隔膜是指：通过在其表面受到穿过壳体的导入部被导入的被测定流体的压力而弯曲变形的隔膜。在这种隔膜真空计中，在传感器隔膜的表面上堆积与工序对象的薄膜相同的物质及其副产物等。以下，将堆积于传感器隔膜的表面上的物质称作“堆积物”。一旦该堆积物堆积于隔膜的表面上，根据堆积物的状态就会产生压缩应力或拉伸应力等内部应力。随着该应力的产生，与被测定流体接触的一侧的传感器隔膜的面被拉伸或被压缩，传感器隔膜的厚度方向上的力的平衡将失去。由此，传感器隔膜的被测定流体一侧的面将会弯曲成凸状或凹状。这样，如果由于堆积物附着于传感器隔膜上而使该传感器隔膜弯曲的话，实际上，即使在传感器隔膜的被测定流体一侧的面及与被测定流体侧相反一侧的面这两侧没有压力差的状态下，也会检测到有压力差，由此产生零点误差。这种现象称为零点漂移。一旦发生零点漂移，利用隔膜真空计进行的压力测定就会产生误差，将不得不更换该隔膜真空计(例如参见专利文献2。)。现有技术文献专利文献专利文献1 日本特开2014-1265021号公报专利文献2 日本特开2014-109484号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题可是，传感器隔膜的被测定流体一侧的面是否堆积有堆积物是通过将隔膜真空计分解并调查该传感器隔膜的表面，或根据零点漂移进行推测来判断的。但是，在通过对隔膜真空计的分解调查来判断传感器隔膜的表面是否堆积有堆积物的情况下，将产生伴随分解作业的劳力及时间。另外，存在以下问题：在通过分解调查判断为堆积有堆积物的情况下，不论堆积物的状态如何，都必须将隔膜真空计更换成新的产品。另外，由规定的推定装置根据零点漂移自动地对传感器隔膜的表面是否堆积有堆积物进行判断的情况下，实际上如果不是零点漂移发生之后的话，则无法判断有无堆积物。在此，在传感器隔膜的表面仅附着了一点点堆积物的程度的阶段中，内部应力为极小的状态，在该阶段中，利用隔膜真空计进行的被测定流体的压力测定不会产生误差。因此，存在以下问题：如果不是因较多堆积物的附着而使传感器隔膜弯曲这样的发生零点漂移的程度的状态的话，就无法判断传感器隔膜的表面是否附着了堆积物。本专利技术是为了解决这种问题而做出的，其目的在于，提供能够对堆积在隔膜上的堆积物的状态进行推定的堆积物状态推定装置、堆积物状态推定方法及堆积物状态推定系统。用于解决课题的手段为了达成该目的，本专利技术是对堆积在压力传感器单元(30)的隔膜(32)上的堆积物(PM)的状态进行推定的堆积物状态推定装置，所述压力传感器单元(30)包括：所述隔膜(32)；与该隔膜(32)相对地配置的传感器基座(33)；形成在所述隔膜(32)上的可动电极(32b、32c)；形成在所述传感器基座(33)上的与所述可动电极(32b、32c)相对的固定电极(33b、33c)；用于在所述可动电极(32b、32c)与所述固定电极(33b、33c)之间施加交流电源的电压的端子(35、36、41、45、46、)；以及将与通过所述可动电极(32b、32c)和所述固定电极(33b、33c)而形成的电容相对应的信号(Su)输出的输出电路，所述堆积物状态推定装置包括：电源频率变更部(210)，其对施加于所述端子(35、36、41、45、46)的所述交流电源的电源频率进行变更；检测部(220)，其在对施加于所述端子(35、36、41、45、46)的所述交流电源的电源频率进行了变更时，检测所述隔膜(32)
发生共振的所述电源频率(rf2)；初始状态存储部(230)，其对在所述隔膜(32)上未堆积有所述堆积物(PM)的初始状态下所述隔膜(32)发生共振的初始电源频率(rf1)进行存储；以及推定部(250)，其根据由所述检测部(220)检测出的所述电源频率(rf2)和存储于所述初始状态存储部(230)的所述初始电源频率(rf1)，来推定堆积在所述隔膜(32)上的所述堆积物(PM)的状态。在本专利技术中，所述堆积物状态推定装置(200)还包括输出部(260)，该输出部(260)将表示所述堆积物(PM)的状态的信息(Se1～Se3)向外部输出。在本专利技术中，所述推定部(250)具有和所述电源频率(rf2)与所述初始电源频率(rf1)之差(rfΔ)进行比较的多个阈值(thΔ1～thΔ3)，通过将所述差(rfΔ)与所述多个阈值(thΔ1～thΔ3)进行比较，来对划分为多个阶段的等级的所述堆积物(PM)的状态进行推定。本专利技术涉及一种堆积物状态推定方法，其对堆积于压力传感器单元(30)的隔膜(32)上的堆积物(PM)的状态进行推定，所述压力传感器单元(30)具备：隔膜(32)；与该隔膜(32)相对地配置的传感器基座(33)；形成在所述隔膜(32)上的可动电极(32b、32c)；形成在所述传感器基座(33)上且与所述可动电极(32b、32c)相对的固定电极(33b、33c)；用于在所述可动电极(32b、32c)与所述固定电极(33b、33c)之间施加交流电源的电压的端子(35、36、41、45、46)；以及将与通过所述可动电极(32b、32c)和所述固定电极(33b、33c)而形成的电容相对应的信号(Su)输出的输出电路，所述堆积物状态推定方法具有以下步骤：电源频率变更步骤，由电源频率变更部(210)对施加于所述端子(35、36、41、45、46)的所述交流电源的电源频率进行变更；检测步骤，在对施加于所述端子(35、36、41、45、46)的所述交流电源的电源频率进行了变更时，由检测部(220)对所述隔膜(32)发生共振的所述电源频率(rf2)进行检测；推定步骤，根据存储于初始状态存储部(230)的在所述隔膜(32)上未堆积有所述堆积物(PM)的初始状态下所述隔膜(32)发生共振的初始电源频率(rf1)和由所述检测部(220)检测出的所述电源频率(rf2)，利用推定部(250)对堆积在所述隔膜(32)上的所述堆积物(PM)的状态进行推定。在本专利技术中，堆积物状态推定系统(1)包括：压力传感器单元(30)，其具备：隔膜(32)、与该隔膜(32)相对地配置的传感器基座(33)、形成在所述隔膜(32)上的可动电极(32b、32c)、形成在所述传感器基座(33)上且与所述可动电极(32b、32c)相对的固定电极(33b、33c)、用于在所述可动电极(32b、32c)和所述固定电极(3本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种堆积物状态推定装置，其是对堆积在压力传感器单元的隔膜上的堆积物的状态进行推定的堆积物状态推定装置，所述压力传感器单元包括：所述隔膜；与该隔膜相对地配置的传感器基座；形成在所述隔膜上的可动电极；形成在所述传感器基座上且与所述可动电极相对的固定电极；用于在所述可动电极与所述固定电极之间施加交流电源的电压的端子；以及将与通过所述可动电极和所述固定电极而形成的电容相对应的信号输出的输出电路，所述堆积物状态推定装置的特征在于，包括：电源频率变更部，其对施加于所述端子上的所述交流电源的电源频率进行变更；检测部，其在变更了施加于所述端子的所述交流电源的电源频率时，对所述隔膜发生共振的所述电源频率进行检测；初始状态存储部，其对在所述隔膜上未堆积有所述堆积物的初始状态下所述隔膜发生共振的初始电源频率进行存储；以及推定部，其根据由所述检测部检测出的所述电源频率和存储于所述初始状态存储部的所述初始电源频率，来推定堆积在所述隔膜上的所述堆积物的状态。
【技术特征摘要】
2015.03.24 JP 2015-0605551.一种堆积物状态推定装置，其是对堆积在压力传感器单元的隔膜上的堆积物的状态进行推定的堆积物状态推定装置，所述压力传感器单元包括：所述隔膜；与该隔膜相对地配置的传感器基座；形成在所述隔膜上的可动电极；形成在所述传感器基座上且与所述可动电极相对的固定电极；用于在所述可动电极与所述固定电极之间施加交流电源的电压的端子；以及将与通过所述可动电极和所述固定电极而形成的电容相对应的信号输出的输出电路，所述堆积物状态推定装置的特征在于，包括：电源频率变更部，其对施加于所述端子上的所述交流电源的电源频率进行变更；检测部，其在变更了施加于所述端子的所述交流电源的电源频率时，对所述隔膜发生共振的所述电源频率进行检测；初始状态存储部，其对在所述隔膜上未堆积有所述堆积物的初始状态下所述隔膜发生共振的初始电源频率进行存储；以及推定部，其根据由所述检测部检测出的所述电源频率和存储于所述初始状态存储部的所述初始电源频率，来推定堆积在所述隔膜上的所述堆积物的状态。2.根据权利要求1所述的堆积物状态推定装置，其特征在于，所述堆积物状态推定装置还包括输出部，所述输出部将表示所述堆积物的状态的信息向外部输出。3.根据权利要求1所述的堆积物状态推定装置，其特征在于，所述推定部具有和所述电源频率与所述初始电源频率之差进行比较的多个阈值，通过对所述差与所述多个阈值进行比较，来推定划分为多个阶段的等级的所述堆积物的状态。4.一种堆积物状态推定方法，其是对堆积在压力传感器单元的隔膜上的堆积物的状态进行推定的堆积物状态推定装置，所述压力传感器单元包括：所述隔膜；与该隔...
【专利技术属性】
技术研发人员：枥木伟伸，石原卓也，
申请(专利权)人：阿自倍尔株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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