移动至少一个光学部件的方法技术

一种移动光学部件的方法，其中，当移动部件时，所需的最大电功率小于用于移动的至少两个致动器的最大电功率之和。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】相关申请的交叉引用优先权申请DE102014202755.1的内容作为引用并入本文。
本专利技术涉及一种移动至少一个光学部件的方法。本专利技术还涉及一种光学组件以及一种设计光学组件的方法。此外，本专利技术涉及一种照明光学单元、一种用于投射曝光设备的照明系统以及一种投射曝光设备。最后，本专利技术涉及一种用于制造微结构或纳米结构部件的方法以及一种对应制造的部件。
技术介绍
DE 10 2011 006 100 Al公开了一种多反射镜阵列的投射曝光设备，多反射镜阵列具有可由致动器移动的单独反射镜。本专利技术之目的为改进一种移动至少一个光学部件的方法。该目的通过根据权利要求1的方法来实现。为了移动具有至少两个移动自由度的一个或多个光学部件的目的，本专利技术之核心在于：预先限定在移动期间允许由所有致动器总体消耗的最大总功率；确认移动光学部件的对应驱动协议；以及根据该驱动协议移动光学部件。预先限定在移动期间的最大功率消耗限制了所提供的最大电功率。这对于具有该光学部件的组件的设计来说是有利的。特别地，限制最大功率消耗导致改进光学组件的热预算，尤其导致用于散热的装置的简化设计。特别地，执行确认驱动协议，尤其确认一个或多个移动轨迹，同时遵守预定最大功率Pmax。换言之，当确认驱动协议时，尤其当确认移动轨迹时，该预定最大功率Pmax形成边界条件。
技术实现思路
在下文中，除非另外明确指示，否则功率应表示致动器装置之一在该
光学部件的定位或移动期间由此所消耗的电功率消耗。在该情况下，致动器装置表示定位或移动单独光学部件的致动器的整体。该致动器装置尤其包含至少两个致动器。总功率应理解为意味着用于移动光学部件的所有致动器装置的电功率消耗之和。在移动多个部件的情况下，尤其独立的(即完全电屏蔽的)部件的情况下，相应总功率之和也指定为总系统功率。从具有待移动的单独部件的组件至具有待移动的大量部件的系统，减少总功率的概念可转换用于减少总系统功率的目的。限制最大功率消耗还导致减少在该光学组件中提供电功率的布线与电路的费用。移动光学部件的驱动协议尤其应理解为意指用于移动该光学组件的光学部件的所有致动器装置的受控启动之的时间轮廓。所述时间轮廓确定该组件的总功率消耗的时间轮廓。一般来说，该光学组件形成机电系统或其一部分。该机电系统尤其包含至少一个机械部件，尤其是光学部件的形式，尤其是反射镜的形式。此外，该机电系统包含电子部件以及尤其包括用于移动机械部件的至少两个致动器。对于该系统的每个被致动机械元件而言，相应移动轨迹表示在空间中从起始位置至目标位置的位置改变(由致动导致)的几何路径。一方面，移动轨迹可完全定义为空间坐标的连续函数。然而，还可仅由选定的支持点(即离散空间坐标)定义，其在位置改变过程中必须以预定次序采用。在所有情况下，每个移动轨迹包含起始位置及目标位置的离散空间坐标。在系统的多个被致动机械元件的空间位置改变期间发生的几何路径的整体被指定为被致动机械元件的移动轨迹组。根据本专利技术的一个方面，在确认驱动协议时，可考虑用于移动轨迹过程的预定边界条件。特别地，可以针对移动轨迹中的单独一个预定允许区域(其中，允许移动轨迹行进)和/或禁止区域(其中不允许移动轨迹行进)。这种区域可例如基于再现用于可能移动位置的致动器所需功率消耗的区域来确定。这可为较高维的区域。尤其，可涉及(K·n)维区域，其中K表示单独机械装置的致动器的数量，n表示待移动的机械装置的数量。换言之，不仅可为单独移动轨迹，还可以为全体移动轨迹预定允许和/或禁止区域。借助电信号，尤其一系列电信号，系统的机械元件的致动(为实现移动
轨迹所需)指定为相应致动的机械元件之驱动。在该情况下，驱动系统的单独机械元件和驱动系统的所有被致动机械元件组之间有区别。该驱动的受控(尤其调节)的电信号被指定为驱动信号。在系统中用于驱动(至少一个)致动机械元件的电路整体被指定为驱动电子器件。对于驱动电子器件在该系统的操作期间重新配置的那些情况来说，驱动信号相应地包括用于驱动电子器件的可能重新配置的信号。设定用于机械元件以实现特定移动轨迹的驱动信号值的次序(order)被指定为前述机械元件的驱动方案(drive scheme)。实现系统的被致动机械元件的移动轨迹组所需的所有驱动信号值的时间顺序被指定为被致动机械元件的驱动协议。该驱动协议因此包含所有驱动方案的整体。本专利技术之核心尤其在于机电总系统的多个致动器组合电驱动尤其多维被致动反射镜(尤其在EUV或DUV光刻设备中)，使得与最坏情况设计相比，在致动期间总系统的峰值电功率减小，尤其最小化。致动器还可以被驱动成与最坏情况设计相比，在致动期间总系统的功率损失减小，尤其最小化。总系统的功率损失尤其是平均功率损失的减小(尤其最小化)还被考虑为总系统的峰值电功率的减小尤其最小化的二次条件。在该情况下，机械元件尤其是可多维致动反射镜的机械方位可以适配尤其优化成使得在致动期间，尤其在特定的预定驱动协议情况下，峰值电功率和/或功率损失最小化。在该情况下，另外，功率损失的减小尤其最小化还可被考虑为峰值电功率的减小尤其最小化的二次条件。在该情况下，预定驱动协议尤其为所有致动器指定获得特定的预定反射镜设定所需的驱动信号，其中，设定表示所有反射镜的移动位置的整体。本专利技术总体上对包括多个致动器的机电系统是有利的，多个致动器用于至少一个机械元件尤其多个机械元件的位置的电子设定和调整。机械元件尤其可以是反射镜，尤其是场分面反射镜的单独反射镜，尤其是多反射镜阵列的单独反射镜。尤其可涉及微反射镜。机械元件连接到总系统，其中在其致动时电能会转换成动能及/或势能。该机电系统包含电部件，尤其是电子部件。其尤其包含电驱动放大器。其可包含数字逻辑部件。其可具有其它电子部件，例如位置传感器，以控制或调节待致动的机械元件。在下文中，为了简化，首先参照移动光学部件中的单独一个。然而，所提出方面尤其有利于移动多个部件，尤其移动部件组，尤其移动互连布置的多个光学部件，即相对于互连布置以对应方式移动多个光学部件。该驱动协议尤其取决于预定最大功率(Pmax)来确认。预定最大功率(Pmax)尤其小于由光学部件的单独致动器装置所消耗的最大功率(Pimax)之和(S)。尤其适用如下：Pmax:S<1，尤其Pmax:S<0.8，尤其Pmax:S<0.6。该驱动协议尤其取决于Pmax而确定。其尤其适配于Pmax。其可根据Pmax的预定义来优化。其尤其可借助优化方法(尤其为迭代方向)来优化。其还可从许多不同协议中选择。该驱动协议预定移动路径，其还表示为光学部件从第一移动位置移动到第二移动位置的移动轨迹。根据本专利技术己认识到，用于移动光学部件的致动器装置的功率消耗，尤其是所有致动器装置的总功率消耗取决于移动轨迹，尤其取决于其开始和结束点。特别地，所有致动器装置的总功率消耗的峰值取决于移动轨迹、尤其移动轨迹组。前述峰值可借助有针对性地选择移动轨迹来减小，尤其最小化。特别地，致动器装置的功率消耗是取决于位置和/或路径的。因此，根据本专利技术已认识到，在具有至少两个致动器装置的情况下，可通过选择和/或适配移动轨迹和/或有针对性地适配单独致动器装置的驱动方案和/或其尤其相对于光学部件的结构方位，尤其其机械本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种移动光学部件形式的至少一个机械装置(23)的方法，该至少一个机械装置具有至少两个移动自由度，该方法包括下列步骤：‑提供具有至少一个机械装置(23)的机电系统，该至少一个机械装置能够借助至少两个电动致动器(47；57；58)从第一移动位置(34)移动到第二移动位置(35)；‑预先定义最大功率(Pmax)，其允许由所有致动器(47；57；58)在机械装置(23)的移动期间在任意时刻一起消耗，其中，最大功率(Pmax)小于所有单独致动器(47；57；58)的最大功率(P1max)之和(S)；‑确认驱动协议，用于在符合预定最大功率(Pmax)的同时，使至少一个机械装置(23)从该第一移动位置(34)沿移动轨迹(33)移动到该第二移动位置(35)；以及‑根据驱动协议通过驱动致动器(47；57；58)来移动机械装置(23)。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.02.14 DE 102014202755.11.一种移动光学部件形式的至少一个机械装置(23)的方法，该至少一个机械装置具有至少两个移动自由度，该方法包括下列步骤：-提供具有至少一个机械装置(23)的机电系统，该至少一个机械装置能够借助至少两个电动致动器(47；57；58)从第一移动位置(34)移动到第二移动位置(35)；-预先定义最大功率(Pmax)，其允许由所有致动器(47；57；58)在机械装置(23)的移动期间在任意时刻一起消耗，其中，最大功率(Pmax)小于所有单独致动器(47；57；58)的最大功率(P1max)之和(S)；-确认驱动协议，用于在符合预定最大功率(Pmax)的同时，使至少一个机械装置(23)从该第一移动位置(34)沿移动轨迹(33)移动到该第二移动位置(35)；以及-根据驱动协议通过驱动致动器(47；57；58)来移动机械装置(23)。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，确认驱动协议包含下列步骤：2.1.预先定义该机电系统的所有机械装置的移动轨迹(33)；2.2.取决于相应移动轨迹(33)，预先定义或确认用于每个机械装置(23)的驱动方案；以及2.3.确认单独机械装置(23)的移动的时间顺序。3.如前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，该移动轨迹(33)在移动过程开始时指向预定方向(37)。4.如前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，该移动轨迹(33)在至少两个点处指向不同方向。5.如前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，该移动轨迹(33)引导通过该机械装置(23)的零位置(36)。6.如前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，不同致动器装置(24)至少部分地相继启动。7.如前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，为了确认驱动协议，确认一启动方案，其中，至少一个致动器驱动放大器(30)的供应电压被适应性适配。8.如前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，确定驱动协议涉及考虑在至少两个机械装置(23)的致动器装置(24)之间的本地储存和/或电磁串扰中的可能电能储存。9.一种光学组件(25)，包含；9.1.机电系统，具有；9.1.1.光学部件形式的至少一个机械装置(23)，具有至少两个移动自由度；9.1.2.至少两个电动致动器装置(45)，用于将至少一个机械装置(23)从第一移动位置(34)沿移动轨迹移动到第二移动位置(35)；以及9.2.控制装置(29)，用于借助致动器装置(45)控制机械装置(23)的移动，9.3.其中，机械装置(23)通过致动器...

【专利技术属性】
技术研发人员：S克朗，L伯杰，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE