提供顺序型ICP发光分光分析装置和测定波长校正方法，不需要分光器的温度校正机构和机械地移动检测器的机构等。该顺序型ICP发光分光分析装置将波长不同的多个氩发光线作为基准波长而持续进行测定的结果取得基准波长的伴随时间经过的波长峰值位置的位移量(时间依存性)和基准波长的每个波长的位移量(波长依存性)。进而，控制部(40)计算测定对象元素的检量线生成时设定的各测定波长的波长峰值位置的位移量作为衍射光栅(22a)相对于初始位置的移动位置的校正量，进行相对于初始位置校正与测定波长的波长峰值位置对应的衍射光栅(22a)的移动位置的测定波长校正。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在感应耦合等离子体(ICP)中导入试样并进行试样中包含的元素的定性/定量分析的顺序型ICP发光分光分析装置和测定波长校正方法。
技术介绍
在试样中包含的元素的定性/定量分析时使用ICP发光分光分析装置。在ICP发光分光分析装置中，使用如下的分光器：在等离子体炬(plasma torch)中导入氩等气体和试样溶液，通过施加高频而产生等离子体，对产生的等离子体光进行分光。利用分光器使该等离子体光分光为元素特有的波长，利用检测器测定该波长的发光强度。为了抑制可能由于与温度变化对应的衍射条件等的变化而产生的峰值位置的漂移(drift)，分光器等光学系统一般配置在具有温度调整机构的箱体(恒温槽)中，进行控制以使得温度恒定。为了使恒温槽内的温度恒定，一般设置包含加热器、送风风扇、温度传感器、温度控制器等的温度调整机构，控制成恒定温度(高于室温的温度)。通过成为高于室温的温度，不需要冷却功能，能够在某种程度上抑制温度调整机构的成本(参照专利文献1)。专利文献2涉及能够通过包含多个微小受光元件的检测器同时测定多个波长的多波长型(阶梯(echelle)型)ICP发光分光分析装置。在本文献中，通过机械地微调整遥测镜的角度，减轻由于温度变化等而引起的检测器的图像的位置偏移的影响。即，在背景测定时和试样测定中的两个时点捕捉基于氩发光的分光图像。根据两个分光图像的信息计算位置偏移的大小和方向，对遥测镜(telemeter)的角度进行微调整，使二维检测面上的分光图像的位置大致维持在同一部位。专利文献1：日本特开平11-153543号公报专利文献2：日本特开2007-155631号公报关于专利文献1所公开的技术，为了抑制由于温度变化而导致的衍射条件的变
化而将温度传感器、加热器、送风风扇等部件配置在装置内的某处等的配置条件很难通过解析的方式求出，所以，一般通过反复试验的方式来决定。在改良装置的情况下，一般需要针对上述各种部件变更其配置条件。但是，每当配置条件变更时，都需要进行确认实验等，作业量庞大，其针对装置改良成为过大的制约条件。专利文献2的技术限定为多波长型ICP发光分光分析装置。并且，遥测镜这样的光学元件的角度和位置的调整需要致动器等机构，会导致成本的增大等。
技术实现思路
本专利技术提供不需要分光器的温度调整机构和机械地移动检测器的机构等的顺序型ICP发光分光分析装置和测定波长校正方法。本专利技术的顺序型ICP发光分光分析装置具有：感应耦合等离子体产生部，其通过感应耦合等离子体对元素进行原子化或激励，得到所述元素的发光线；分光器，其取入所述发光线后，利用衍射光栅进行分光并检测；检测部，其检测由所述分光器分光后的所述发光线；以及控制部，其根据由所述检测部检测到的所述发光线的波长峰值位置，进行测定对象元素的分析，所述控制部根据作为将波长不同的多个氩发光线作为基准波长持续进行测定的结果而得到的，所述基准波长的伴随时间经过的波长峰值位置的位移量(时间依存性)和所述基准波长的每个波长的位移量(波长依存性)，计算所述测定对象元素的检量线生成时设定的各测定波长的波长峰值位置的位移量作为所述衍射光栅相对于初始位置的移动位置的校正量，进行相对于初始位置校正所述衍射光栅的与所述测定波长的波长峰值位置对应的移动位置的测定波长校正。这样使用基准来检测波长峰值，能够校正温度依存性，不需要通常需要的分光器的温度调整机构，所以，能够使顺序型ICP发光分光分析装置主体小型化。作为本专利技术的顺序型ICP发光分光分析装置的一个方式，例如，作为所述校正量计算时使用的所述基准波长，使用所述测定对象元素的测定波长的波长峰值位置附近的波长。作为本专利技术的顺序型ICP发光分光分析装置的一个方式，例如，多个所述基准波长属于未知试样的测定波长的短波长侧区域和长波长侧区域。作为本专利技术的顺序型ICP发光分光分析装置的一个方式，例如，多个所述基准
波长属于未知试样的测定波长的短波长侧区域和长波长侧区域中的任意一方。在本专利技术的测定波长校正方法中，顺序型ICP发光分光分析装置具有：感应耦合等离子体产生部，其通过感应耦合等离子体对元素进行原子化或激励，得到所述元素的发光线；分光器，其取入所述发光线后，利用衍射光栅进行分光并检测；检测部，其检测由所述分光器分光后的所述发光线；以及控制部，其根据由所述检测部检测到的所述发光线的波长峰值位置，进行测定对象元素的分析，在所述顺序型ICP发光分光分析装置中，将波长不同的多个氩发光线作为基准波长而持续进行测定，使用所述基准波长的伴随时间经过的波长峰值位置的位移量(时间依存性)和每个波长的位移量(波长依存性)，计算所述测定对象元素的检量线生成时设定的各测定波长的波长峰值位置的位移量作为所述衍射光栅相对于初始位置的移动位置的校正量，相对于初始位置校正所述衍射光栅的与含有所述测定对象元素的未知试样的测定时的所述测定波长的波长峰值位置对应的移动位置。根据本专利技术，由于不需要追加分光器的温度调整机构或对光学元件要素附加的调整机构，所以，能够实现顺序型ICP发光分光分析装置主体的小型化，能够抑制成本，装置的改良等也容易，并且，如上所述能够高精度地校正测定波长，所以，峰值波长的检测精度提高。附图说明图1是示出本专利技术的顺序型ICP发光分光分析装置的一个实施方式的概念图。图2的(a)是示出波长的偏差率(＝Δλ/λ)的时间变化的概念图，图2的(b)是示出波长的峰值位移量Δp的波长依存性的概念图。图3的(a)是选择仅属于测定对象元素的测定波长λX的短波长侧区域的波长λAr1、λAr2作为基准波长的情况的例子，图3的(b)是选择仅属于测定对象元素的测定波长λX的长波长侧区域的波长λAr1、λAr2作为基准波长的情况的例子。标号说明10：感应耦合等离子体产生部；11：喷雾室；12：喷雾器；13：等离子体炬；14：高频感应线圈；15：气体控制部；16：高频电源；20：分光器；21：入射窗；22：光学部件；22a：衍射光栅；24：检测器(检测部)；40：控制部；50：试样容器；50a：试样溶液；60：等离子体；A：顺序型ICP发光分光分析装置。具体实施方式下面，根据图1、图2详细叙述本专利技术的顺序型ICP(感应耦合等离子体)发光分光分析装置和测定波长校正方法的优选实施方式。图1是示出顺序型ICP发光分光分析装置A的一个实施方式的概念图。顺序型ICP发光分光分析装置A除了激励测定对象的元素的感应耦合等离子体产生部10以外，还具有分光器20和控制部40。感应耦合等离子体产生部10大致由喷雾室11、喷雾器12、等离子体炬13、高频感应线圈14、气体控制部15、高频电源16构成。分光器20具有入射窗21、衍射光栅、凹面镜等光学部件22、以及检测器(检测部)24。在光学部件22中包含衍射光栅22a，未图示的驱动机构如箭头X所示使衍射光栅22a旋转，通过调整其角度(位置)，对入射到分光器20的来自等离子体的光进行分光，能够取出与特定元素对应的特定波长的发光线。控制部40是计算机等，用以控制顺序型ICP发光分光分析装置A整体，根据作为检测对象的各元素的发光波长对分光器20进行控制，测定各测定对象元素的每个波长的发光强度和按照每个对象元素分别设定的背景波长位置本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种顺序型ICP发光分光分析装置，其具有：感应耦合等离子体产生部，其通过感应耦合等离子体对元素进行原子化或激励，得到所述元素的发光线；分光器，其取入所述发光线后，利用衍射光栅进行分光并检测；检测部，其检测由所述分光器分光后的所述发光线；以及控制部，其根据由所述检测部检测到的所述发光线的波长峰值位置，进行测定对象元素的分析，所述控制部根据作为将波长不同的多个氩发光线作为基准波长持续进行测定的结果而得到的，所述基准波长的伴随时间经过的波长峰值位置的位移量和所述基准波长的每个波长的位移量，计算所述测定对象元素的检量线生成时设定的各测定波长的波长峰值位置的位移量作为所述衍射光栅相对于初始位置的移动位置的校正量，进行相对于初始位置校正所述衍射光栅的与所述测定波长的波长峰值位置对应的移动位置的测定波长校正。
【技术特征摘要】
2015.03.31 JP 2015-0740691.一种顺序型ICP发光分光分析装置，其具有：感应耦合等离子体产生部，其通过感应耦合等离子体对元素进行原子化或激励，得到所述元素的发光线；分光器，其取入所述发光线后，利用衍射光栅进行分光并检测；检测部，其检测由所述分光器分光后的所述发光线；以及控制部，其根据由所述检测部检测到的所述发光线的波长峰值位置，进行测定对象元素的分析，所述控制部根据作为将波长不同的多个氩发光线作为基准波长持续进行测定的结果而得到的，所述基准波长的伴随时间经过的波长峰值位置的位移量和所述基准波长的每个波长的位移量，计算所述测定对象元素的检量线生成时设定的各测定波长的波长峰值位置的位移量作为所述衍射光栅相对于初始位置的移动位置的校正量，进行相对于初始位置校正所述衍射光栅的与所述测定波长的波长峰值位置对应的移动位置的测定波长校正。2.根据权利要求1所述的顺序型ICP发光分光分析装置，其中，作为所述校正量计算时使用的所述基准波长，使用所述测定对象元素的测定波长的波长峰值位置附近的波长。3.根据权利要求1或2所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：一宫丰，
申请(专利权)人：日本株式会社日立高新技术科学，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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