烘烤炉及其调整显示器件上的光阻线的线宽的方法技术

本发明专利技术公开了一种烘烤炉及其调整显示器件上的光阻线的线宽的方法。烘烤炉包括：炉体，支撑针，升降装置。炉体包括烘烤室，烘烤室用于对经过光阻材料涂布制程后的显示器件实施烘烤制程；升降装置与支撑针连接，升降装置用于通过支撑针提升或降低显示器件中与支撑针对应的预定部分的位置，以在烘烤室对显示器件进行烘烤的过程中调节预定部分的温度，进而调整显示器件上位于预定部分处的光阻线的线宽。本发明专利技术能对经过黄光制程后的显示器件上的预定部分的光阻材料的线宽进行调整，以确保显示器件的光阻材料的线宽均匀。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及烘烤炉领域，特别涉及一种烘烤炉及其调整显示器件上的光阻线的线宽的方法。
技术介绍
传统的显示器件中一般都设置有多根导线(例如，扫描线或数据线)，这些导线用于传输信号，这些导线的线宽的均一性对TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)器件的性能有较大的影响。上述导线是对经过黄光制程后的显示器件中的金属层进行蚀刻来形成的，其中，所述金属层上方设置有光阻材料，所述光阻材料在所述黄光制程中的曝光制程和显影制程后图形化，以形成与所述金属层中待形成的导线对应的部分，图形化后的所述光阻材料(光阻线)的线宽与所述导线的线宽对应。在实践中，专利技术人发现现有技术至少存在以下问题：显示器件在经过传统的黄光制程后，往往会出现图形化后的光阻材料线宽不均匀的情况，由于传统的黄光制程一般包括多个子制程，因此很难获知究竟是哪一个制程导致图形化后的光阻材料出现线宽不均匀的情况。因此，难以通过对传统的黄光制程中的子制程进行调整以避免在经过黄光制程后显示器件上的经过图形化的光阻材料线宽不均匀。故，有必要提出一种新的技术方案，以解决上述技术问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种烘烤炉及其调整显示器件上的光阻线的线宽的方法，其能对经过黄光制程后的显示器件上的预定部分的光阻线的线宽进行调整，以确保显示器件上的光阻线的线宽均匀。为解决上述问题，本专利技术的技术方案如下：一种烘烤炉，所述烘烤炉包括：炉体，所述炉体包括烘烤室，所述烘烤室用于容置显示器件，以及用于对经过光阻材料涂布制程后的所述显示器件实施烘烤制程，其中，所述光阻材料涂布制程和所述烘烤制程均为黄光制程中的子制程；支撑针组合，所述支撑针组合设置于所述烘烤室内，所述支撑针组合包括至少三支撑针，所述支撑针用于在所述烘烤室内支撑所述显示器件；升降装置组合，所述升降装置组合包括至少三升降装置，所述升降装置与所述支撑针连接，所述升降装置用于通过所述支撑针提升或降低所述显示器件中与所述支撑针对应的预定部分的位置，以在所述烘烤室对所述显示器件进行烘烤的过程中调节所述预定部分的温度，进而调整所述显示器件上位于所述预定部分处的光阻线的线宽，其中，所述光阻线为设置于所述显示器件上的光阻材
料在经过所述黄光制程后所形成的图形化部分，所述图形化部分与所述显示器件上待形成的导线对应。在上述烘烤炉中，所述烘烤炉还包括：控制电路，所述控制电路与所述升降装置组合电性连接，所述控制电路用于根据控制指令控制所述升降装置作业，以控制所述预定部分的位置升高或降低。在上述烘烤炉中，所述支撑针组合中的至少三所述支撑针以阵列的形式排列。在上述烘烤炉中，所述烘烤炉还包括：加热装置，所述加热装置设置于所述烘烤室的底部或顶部，所述加热装置用于向所述显示器件施加烘烤热量。在上述烘烤炉中，在所述加热装置设置于所述烘烤室的底部的情况下，所述升降装置用于通过所述支撑针提升所述显示器件的所述预定部分的位置，以降低所述显示器件的所述预定部分的温度，以增大所述光阻线的线宽；在所述加热装置设置于所述烘烤室的底部的情况下，所述升降装置用于通过所述支撑针降低所述显示器件的所述预定部分的位置，以提高所述显示器件的所述预定部分的温度，以缩小所述光阻线的线宽。在上述烘烤炉中，在所述加热装置设置于所述烘烤室的顶部的情况下，所述升降装置用于通过所述支撑针降低所述显示器件的所述预定部分的位置，以降低所述显示器件的所述预定部分的温度，以增大所述光阻线的线宽；在所述加热装置设置于所述烘烤室的顶部的情况下，所述升降装置用于通过所述支撑针提升所
述显示器件的所述预定部分的位置，以提高所述显示器件的所述预定部分的温度，以缩小所述光阻线的线宽。一种上述烘烤炉调整经过所述黄光制程后的所述显示器件上的所述光阻线的线宽的方法，所述方法包括以下步骤：A、所述支撑针组合对所述烘烤室内的所述显示器件进行支撑；B、所述烘烤室对经过所述光阻材料涂布制程后的所述显示器件实施烘烤制程；C、所述升降装置通过所述支撑针提升或降低所述显示器件中与所述支撑针对应的所述预定部分的位置，以在所述烘烤室对所述显示器件进行烘烤的过程中调节所述预定部分的温度，进而调整所述显示器件上位于所述预定部分处的光阻线的线宽，其中，所述光阻线为设置于所述显示器件上的光阻材料在经过所述黄光制程后所形成的图形化部分，所述图形化部分与所述显示器件上待形成的导线对应。在上述烘烤炉调整经过所述黄光制程后的所述显示器件上的所述光阻线的线宽的方法中，在所述步骤C之前，所述方法还包括以下步骤：D、控制电路根据控制指令控制所述升降装置作业。在上述烘烤炉调整经过所述黄光制程后的所述显示器件上的所述光阻线的线宽的方法中，在所述加热装置设置于所述烘烤室的底部的情况下，所述步骤C包括：c1、所述升降装置通过所述支撑针提升所述显示器件的所述预定部分的位置，以降低所述显示器件的所述预定部分的温度，以增大所述光阻线的线宽；c2、所述升降装置通过所述支撑针降低所述显示器件的所述预定部
分的位置，以提高所述显示器件的所述预定部分的温度，以缩小所述光阻线的线宽。在上述烘烤炉调整经过所述黄光制程后的所述显示器件上的所述光阻线的线宽的方法中，在所述加热装置设置于所述烘烤室的顶部的情况下，所述步骤C包括：c3、所述升降装置通过所述支撑针降低所述显示器件的所述预定部分的位置，以降低所述显示器件的所述预定部分的温度，以增大所述光阻线的线宽；c4、所述升降装置通过所述支撑针提升所述显示器件的所述预定部分的位置，以提高所述显示器件的所述预定部分的温度，以缩小所述光阻线的线宽。相对现有技术，本专利技术能对经过黄光制程后的显示器件上的预定部分的光阻线的线宽进行调整，以确保显示器件的光阻线的线宽均匀。为让本专利技术的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。【附图说明】图1和图2为本专利技术的烘烤炉调整经过黄光制程后的显示器件上的光阻线的线宽的方式的示意图；图3为本专利技术的烘烤炉调整经过黄光制程后的显示器件上的光阻线的线宽的方法的第一实施例的流程图；图4为本专利技术的烘烤炉调整经过黄光制程后的显示器件上的光阻线的线宽的方法的第二实施例的流程图。【具体实施方式】本说明书所使用的词语“实施例”意指实例、示例或例证。此外，本说明书和所附权利要求中所使用的冠词“一”一般地可以被解释为“一个或多个”，除非另外指定或从上下文可以清楚确定单数形式。参考图1和图2，图1和图2为本专利技术的烘烤炉调整经过黄光制程后的显示器件上的光阻线的线宽的方式的示意图。在本专利技术的烘烤炉的第一实施例中，所述烘烤炉用于对经过光阻材料涂布制程后的显示器件103进行烘烤(包括预烘烤和后烘烤)，所述烘烤炉包括炉体101、支撑针组合、升降装置组合、控制电路。本专利技术的显示器件103可以是设置有金属层的玻璃基板，所述金属层用于通过黄光制程形成扫描线、数据线等。所述炉体101包括烘烤室102，所述烘烤室102用于容置所述显示器件103，以及用于对经过所述光阻材料涂布制程后的所述显示器件103实施烘烤制程，其中，所述光阻材料涂布制程和所述烘烤制程均为所述黄光制程中的子制程。其中，所述黄光制程包括以下子制程：清洗制程、去水干燥制程、涂胶(涂布光阻\本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种烘烤炉，其特征在于，所述烘烤炉包括：炉体，所述炉体包括烘烤室，所述烘烤室用于容置显示器件，以及用于对经过光阻材料涂布制程后的所述显示器件实施烘烤制程，其中，所述光阻材料涂布制程和所述烘烤制程均为黄光制程中的子制程；支撑针组合，所述支撑针组合设置于所述烘烤室内，所述支撑针组合包括至少三支撑针，所述支撑针用于在所述烘烤室内支撑所述显示器件；升降装置组合，所述升降装置组合包括至少三升降装置，所述升降装置与所述支撑针连接，所述升降装置用于通过所述支撑针提升或降低所述显示器件中与所述支撑针对应的预定部分的位置，以在所述烘烤室对所述显示器件进行烘烤的过程中调节所述预定部分的温度，进而调整所述显示器件上位于所述预定部分处的光阻线的线宽，其中，所述光阻线为设置于所述显示器件上的光阻材料在经过所述黄光制程后所形成的图形化部分，所述图形化部分与所述显示器件上待形成的导线对应。

【技术特征摘要】
1.一种烘烤炉，其特征在于，所述烘烤炉包括：炉体，所述炉体包括烘烤室，所述烘烤室用于容置显示器件，以及用于对经过光阻材料涂布制程后的所述显示器件实施烘烤制程，其中，所述光阻材料涂布制程和所述烘烤制程均为黄光制程中的子制程；支撑针组合，所述支撑针组合设置于所述烘烤室内，所述支撑针组合包括至少三支撑针，所述支撑针用于在所述烘烤室内支撑所述显示器件；升降装置组合，所述升降装置组合包括至少三升降装置，所述升降装置与所述支撑针连接，所述升降装置用于通过所述支撑针提升或降低所述显示器件中与所述支撑针对应的预定部分的位置，以在所述烘烤室对所述显示器件进行烘烤的过程中调节所述预定部分的温度，进而调整所述显示器件上位于所述预定部分处的光阻线的线宽，其中，所述光阻线为设置于所述显示器件上的光阻材料在经过所述黄光制程后所形成的图形化部分，所述图形化部分与所述显示器件上待形成的导线对应。2.根据权利要求1所述的烘烤炉，其特征在于，所述烘烤炉还包括：控制电路，所述控制电路与所述升降装置组合电性连接，所述控制电路用于根据控制指令控制所述升降装置作业，以控制所
\t述预定部分的位置升高或降低。3.根据权利要求1所述的烘烤炉，其特征在于，所述支撑针组合中的至少三所述支撑针以阵列的形式排列。4.根据权利要求1所述的烘烤炉，其特征在于，所述烘烤炉还包括：加热装置，所述加热装置设置于所述烘烤室的底部或顶部，所述加热装置用于向所述显示器件施加烘烤热量。5.根据权利要求4所述的烘烤炉，其特征在于，在所述加热装置设置于所述烘烤室的底部的情况下，所述升降装置用于通过所述支撑针提升所述显示器件的所述预定部分的位置，以降低所述显示器件的所述预定部分的温度，以增大所述光阻线的线宽；在所述加热装置设置于所述烘烤室的底部的情况下，所述升降装置用于通过所述支撑针降低所述显示器件的所述预定部分的位置，以提高所述显示器件的所述预定部分的温度，以缩小所述光阻线的线宽。6.根据权利要求4所述的烘烤炉，其特征在于，在所述加热装置设置于所述烘烤室的顶部的情况下，所述升降装置用于通过所述支撑针降低所述显示器件的所述预定部分的位置，以降低所述显示器件的所述预定部分的温度，以增大所述光阻线的线宽；在所述加...

【专利技术属性】
技术研发人员：张瑞军，姚江波，王松，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44