一种测试设备及测试方法技术

本发明专利技术提供一种测试设备，用于测量显示基板上定位标记的位置，包括：用于测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息的图层高度测量器件；用于基于所述高度信息确定定位标记位置信息的位置确定器件。本发明专利技术还提供一种测试方法。本发明专利技术提供的测试设备及测试方法基于显示基板上定位标记所在区域图层高度信息确定定位标记位置信息，可精确的确认定位标记的位置信息，以解决定位标记被误抓的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，特别是涉及一种测试设备及测试方法。
技术介绍
在显示器制造工艺流程中，定位标记(Mask)制作完成后会有整体尺寸精度(TP：Total Pitch)检测及关键线宽(CD)检测。上述通常基于TPCD设备(机台)实现。在TP以及CD检测过程中，需要建立很精准的坐标系并定位到所要量测的每个位置。现有TP及CD的量测机台多是利用镜头拍照的方式进行Mark抓取即位置信息确定并建立坐标系。而这种通过拍照获取Mask位置信息的方式存在一定的技术缺陷，即若当前层为不透光层，则被当前层覆盖的Mark就很容易被误抓。例如若Mark制作于遮光层(LS)，而在遮光层上制备多晶硅图层(Poly)之后需要进行CD或者图层重合性(Overlay)量测时，需要通过拍照的方式获取Mask的位置形态信息，则由于多晶硅图层不透光，导致镜头给Mask拍照光线被反射回来，以至于很难确定Mask的轮廓，出现Mark被误抓的情况，导致建立的坐标系不精准，以致于不能很好地测量所要量测的位置。
技术实现思路
本专利技术提供一种测试设备及测试方法，解决定位标记被误抓的问题。本专利技术提供方案如下：一种测试设备，用于测量显示基板上定位标记的位置，包括：用于测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息的图层高度测量器件；用于基于所述高度信息确定定位标记位置信息的位置确定器件。进一步的，所述图层高度测量器件包括：用于向所述显示基板上定位标记所在区域发射第一测量信号的发射器；用于接收所述第一测量信号经所述显示基板上定位标记所在区域反射后生成的第二测量信号的接收器；用于基于测量信号在所述显示基板上定位标记所在区域不同位置处的传输时间，确定显示基板上定位标记所在区域不同位置处的图层高度信息的信号处理器，所述传输时间为发射器发射所述第一测量信号的第一时间与接收器接收所述第二测量信号的第二时间之间的差值；所述位置确定器件基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的位置信息。进一步的，所述测量信号为光波信号、声波信号中的至少一种。进一步的，所述测量信号为激光。进一步的，所述位置确定器件基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的边界信息；所述位置确定器件基于所述边界信息，确定定位标记的中心点信息，所述定位标记的中心点信息为所述定位标记的位置信息。进一步的，测试设备还包括：用于带动所述图层高度测量器件在所述待测显示基板上方移动的移动部件，所述图层高度测量器件与所述移动部件固定连接。进一步的，测试设备还包括：用于承载待测显示基板的机台。进一步的，测试设备还包括：用于基于所述位置确定器件确定的定位标记位置信息构建以待测显示基板中心为原点的坐标系的坐标构建器件。进一步的，所述测试设备为TPCD设备。本专利技术还提供一种测试方法，包括：测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息；基于所述高度信息确定定位标记位置信息。进一步的，所述测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息包括：向所述显示基板上定位标记所在区域发射第一测量信号；接收所述第一测量信号经所述显示基板上定位标记所在区域反射后生成的第二测量信号；基于测量信号在所述显示基板上定位标记所在区域不同位置处的传输时间，确定显示基板上定位标记所在区域不同位置处的图层高度信息的信号处理器，所述传输时间为发射所述第一测量信号的第一时间与接收所述第二测量信号的第二时间之间的差值。进一步的，所述基于所述高度信息确定定位标记位置信息包括：基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的位置信息。进一步的，所述基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的位置信息包括：基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的边界信息；基于所述边界信息，确定定位标记的中心点信息，所述定位标记的中心点信息为所述定位标记的位置信息。进一步的，所述基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的边界信息具体包括：沿第一方向扫描确显示基板认定位标记的第一边界；沿与所述第一方向具有夹角的第二方向扫描显示基板确认定位标记的第二边界。进一步的，所述基于所述边界信息，确定定位标记的中心点信息，所述定位标记的中心点信息为所述定位标记的位置信息具体包括：根据所述第一边界获得定位标记在所述第一方向的第一中心线；根据所述第二边界获得定位标记在所述第二方向的第二中心线；基于所述第一中心线和所述第二中心线确定所述定位标记的中心点信息，所述定位标记的中心点信息为所述第一中心线和所述第二中心线的交点的位置信息。进一步的，测试方法还包括：基于所述定位标记位置信息构建以待测显示基板中心为原点的坐标系。从以上所述可以看出，本专利技术提供的测试设备及测试方法基于显示基板上定位标记所在区域图层高度信息确定定位标记位置信息，可精确的确认定位标记的位置信息，以解决定位标记被误抓的问题。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1表示本专利技术实施例中确定定位标记位置信息原理示意图；图2表示本专利技术实施例中测试设备结构示意图；图3表示本专利技术实施例中定位标记中心点确认原理示意图。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例的附图，对本专利技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本专利技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本专利技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本专利技术专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。为了解决定位标记被误抓的问题，本实施例提供一种测试设备，用于测量显示基板上定位标记的位置，包括：用于测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息的图层高度测量器件；用于基于所述高度信息确定定位标记位置信息的位置确定器件。由于显示基板上设置Mark的位置与显示基板上未设置Mark的位置对应的膜层是不一样的，其厚度不一样，因此，图层高度测量器件和位置确定器件相配合、基于显示基板上定位标记所在区域图层高度信息确定定位标记位置信息，采用这样的方式确认定位标记的位置信息，即使当前层为不透光层，被当前层覆盖的Mark也会被精确的检测到，避免定位标记被误抓。所述图层高度测量器件的具体结构形式可以有多种，只要实现测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息即可，本实施例中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试设备，用于测量显示基板上定位标记的位置，其特征在于，包括：用于测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息的图层高度测量器件；用于基于所述高度信息确定定位标记位置信息的位置确定器件。

【技术特征摘要】
1.一种测试设备，用于测量显示基板上定位标记的位置，其特征在于，包括：用于测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息的图层高度测量器件；用于基于所述高度信息确定定位标记位置信息的位置确定器件。2.如权利要求1所述的测试设备，其特征在于，所述图层高度测量器件包括：用于向所述显示基板上定位标记所在区域发射第一测量信号的发射器；用于接收所述第一测量信号经所述显示基板上定位标记所在区域反射后生成的第二测量信号的接收器；用于基于测量信号在所述显示基板上定位标记所在区域不同位置处的传输时间，确定显示基板上定位标记所在区域不同位置处的图层高度信息的信号处理器，所述传输时间为发射器发射所述第一测量信号的第一时间与接收器接收所述第二测量信号的第二时间之间的差值；所述位置确定器件基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的位置信息。3.如权利要求2所述的测试设备，其特征在于，所述位置确定器件基于显示基板上定位标记所在区域不同位置处的高度差值确定定位标记的边界信息；所述位置确定器件基于所述边界信息，确定定位标记的中心点信息，所述定位标记的中心点信息为所述定位标记的位置信息。4.如权利要求1所述的测试设备，其特征在于，还包括：用于带动所述图层高度测量器件在所述待测显示基板上方移动的移动部件，所述图层高度测量器件与所述移动部件固定连接；用于承载待测显示基板的机台。5.如权利要求1所述的测试设备，其特征在于，还包括：用于基于所述位置确定器件确定的定位标记位置信息构建以待测显示基
\t板中心为原点的坐标系的坐标构建器件。6.一种测试方法，其特征在于，包括：测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息；基于所述高度信息确定定位标记位置信息。7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述测量待测显示基板上定位标记所在区域图层高度信息包括：向所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王文涛，杨璐，徐海峰，司晓文，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11