一种光学谐振腔制造技术

本发明专利技术公开了一种光学谐振腔，适用于气体激光器，包括输出镜支撑板、反射镜支撑板、输出镜托板和反射镜托板，本方案提供的气体激光器增加了定位销、第一缓冲件、第二缓冲件和限位块。其中定位销能够保证输出镜输出光线的方向；在车载运输过程中第一缓冲件和第二缓冲件能够减缓冲击和上下震动，起到保护整体桁架和输出镜与反射镜安全的作用，降低了对气体激光器的损伤，保证了光学谐振腔在车载条件下的稳定性；反射镜支撑板能够沿着谐振腔的长度方向滑动，当温度出现较大变化时，车基底会发生伸缩变化，反射镜托板的运动能够消除因为基底伸缩造成的反射镜托板和输出镜托板之间的位置变化，保证整个桁架的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光器
，特别涉及一种光学谐振腔。
技术介绍
气体激光器在军事领域、工业加工、新材料领域及核物理领域具有广阔的应用前景。气体激光器是利用气体作为工作物质产生激光的器件，它由光学谐振腔、放电腔和电源三个主要部分组成，光学谐振腔是光波在其中来回震荡从而提供光能反馈的空腔，其通常由两块与工作介质轴线垂直的平面或凹球面反射镜构成。稳定的光学谐振腔，光线在光学谐振腔内往返任意多次也不会横向逸出腔外。现有技术气体激光器的光学谐振腔包括输出镜、反射镜、固定输出镜的输出镜支撑板、固定反射镜的反射镜支撑板和用于连接输出镜支撑板与反射镜支撑板的三根铟钢管，输出镜支撑板通过输出镜托板固定，反射镜支撑板通过反射镜托板固定，气体激光器在车载条件下使用或者温度剧烈变化条件下使用时，会因为车身震动或者温度变化造成光学谐振腔失稳，影响光学谐振腔的稳定性。因此，如何保证光学谐振腔在车载条件下或者温度剧烈变化条件下的稳定性，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种光学谐振腔，以保证光学谐振腔在车载条件下或者温度剧烈变化条件下的稳定性。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种光学谐振腔，适用于于气体激光器，包括输出镜支撑板、与所述输出镜支撑板相对平行布置的反射镜支撑板、固定所述输出镜支撑板的输出镜托板和固定所述反射镜支撑板的反射镜托板，所述反射镜支撑板能够沿所述谐振腔的长度方向滑动；还包括：设置在所述输出镜支撑板的下端中部用于保证输出镜的输出光线方向不变的定位销，所述输出镜支撑板与所述输出镜托板通过所述定位销连接；与所述输出镜支撑板连接能够对所述输出镜支撑板的上下震动起缓冲作用的第一缓冲件，所述第一缓冲件与所述输出镜托板连接；与所述反射镜支撑板连接对所述反射镜支撑板的上下震动起缓冲作用的第二缓冲件；控制所述反射镜支撑板沿直线方向滑动的限位块，所述限位块与所述反射镜托板固定连接，所述限位块通过所述第二缓冲件与所述反射镜支撑板连接。优选的，在上述光学谐振腔中，所述第一缓冲件包括：第一连接板，所述第一连接板包括第一水平板和与所述第一水平板竖直布置的第一竖直板，所述第一水平板位于所述输出镜支撑板与所述输出镜托板之间，所述第一竖直板与所述输出镜支撑板通过螺栓连接，所述第一水平板伸出所述输出镜支撑板的部分设置有第一安装孔；与所述第一安装孔间隙配合的导向柱，所述导向柱的中部开设有第二安装孔，所述第二安装孔与所述第一安装孔同轴布置；套设在所述导向柱上的第一弹性件，所述第一弹性件的末端与所述第一水平板的上端面相抵；套设在所述第一弹性件外侧的第一壳体，所述第一壳体的顶壁与所述第一弹性件和所述导向柱的上端面相抵，所述第一壳体的下端面距离所述第一水平板上端面的距离为3-5mm，所述第一壳体的顶壁开设有第三安装孔，所述第三安装孔与所述第二安装孔同轴；依次穿过所述第三安装孔和所述第二安装孔用于将所第一缓冲件固定在
所述输出镜托板上的紧固件，所述输出镜托板3上设置有与所述紧固件配合的安装孔。优选的，在上述光学谐振腔中，所述紧固件为螺栓，所述安装孔为螺栓孔。优选的，在上述光学谐振腔中，所述螺栓与所述第一壳体之间设置有第一调平垫圈。优选的，在上述光学谐振腔中，所述限位块的下端设置有两个支撑脚，所述限位块内沿竖直方向开设有容纳空腔，所述限位块的支撑脚与所述反射镜托板固定连接；所述第二缓冲件包括：第二连接板，所述第二连接板包括第二水平板和与所述第二水平板竖直布置的第二竖直板，所述第二竖直板与所述反射镜支撑板螺栓连接，所述第二水平板的上端面与所述反射镜支撑板的下端面配合，所述第二水平板的下端面与所述反射镜托板的上端面配合，所述第二水平板伸出所述反射镜支撑板的部分位于所述限位块与所述反射镜托板之间，所述第二水平板上设置有两个用于供所述支撑脚滑动的滑动槽；第二弹性件，所述第二弹性件位于所述容纳空腔内，所述第二弹性件一端与所述容纳空腔的顶壁相抵，另一端与所述第二水平板相抵。优选的，在上述光学谐振腔中，所述第二缓冲件还包括：与所述第二弹性件的顶端配合的压块；用于调整所述压块施加在所述第二弹性件上的压紧力的压紧螺钉，所述压紧螺钉与所述限位块螺纹配合；与所述第二弹性件的末端配合的滑块。优选的，在上述光学谐振腔中，还包括套设在所述滑块外侧的滑块套，所述滑块套与所述第二弹性件的末端配合。优选的，在上述光学谐振腔中，还包括滚珠结构，所述滚珠结构包括：开设于所述反射镜托板上的椭圆形通槽，所述椭圆形通槽的长轴延伸方向与所述谐振腔的长度方向相同，所述椭圆形通槽内设有钢珠，所述钢珠与
所述第二水平板的下端面相抵；设置在所述反射镜托板下端面的钢珠支撑板，所述钢珠支撑板与所述反射镜托板通过螺钉连接；开设于所述反射镜托板上且位于所述椭圆形通槽一端的通孔，所述通孔内设置有第三弹性件，所述第三弹性件的顶端与所述钢珠相抵，所述第三弹性件与所述钢珠之间设置有第一弹性件保护套；与所述第三弹性件的末端配合的固定杆，所述固定杆与所述反射镜托板螺栓连接；开设于所述反射镜托板上且与所述通孔沿同一直线布置的台阶状通孔，所述台阶状通孔直径较大的一端设置有第四弹性件，所述第四弹性件的顶端与所述钢珠相抵，所述第四弹性件与所述钢珠之间设置有第二弹性件保护套；与所述第四弹性件的末端相抵的压杆，所述压杆位于所述台阶状通孔直径较小的一端，所述压杆通过顶丝调整对所述第四弹性件提供的压紧力，所述顶丝上设置有锁紧螺母。优选的，在上述光学谐振腔中，所述第一缓冲件的个数为两个，且对称布置在所述定位销的两侧；所述第二缓冲件的个数为一个，且位于所述反射镜托板的中部；所述第二缓冲件的两侧设置有缓冲垫。优选的，在上述光学谐振腔中，所述定位销与所述输出镜支撑板通过螺栓连接，所述定位销与所述输出镜托板通过销连接。从上述技术方案可以看出，本专利技术提供的光学谐振腔，包括输出镜支撑板、反射镜支撑板、输出镜托板和反射镜托板，本方案提供的光学谐振腔增加了定位销、第一缓冲件、第二缓冲件和限位块。其中定位销能够保证输出镜输出光线的方向，避免光线在谐振腔内往返任意多次时横向逸出腔外，保证了光学谐振腔的稳定性；在车载运输过程中第一缓冲件和第二缓冲件能够减缓冲击和上下震动，起到保护整体桁架和输出镜与反射镜安全的作用，降低了对光学谐振腔的损伤，保证了光学谐振腔在车载条件下的稳定性；反射镜支撑板能够沿着谐振腔的长度方向滑动，当温度出现较大变化时，车基底
会发生伸缩变化，反射镜托板的运动能够消除因为基底伸缩造成的反射镜托板和输出镜托板之间的位置变化，保证整个桁架的稳定性，限位块能够对反射镜支撑板的运动位置起到限位和导向作用，保证在反射镜支撑板的运动方向不变，从而避免光线在光学谐振腔内往返任意多次时横向逸出腔外，保证了光学谐振腔在温度剧烈变化时使用的稳定性。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的光学谐振腔的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的第一缓本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学谐振腔，适用于气体激光器，包括输出镜支撑板(1)、与所述输出镜支撑板(1)相对平行布置的反射镜支撑板(2)、固定所述输出镜支撑板(1)的输出镜托板(3)和固定所述反射镜支撑板(2)的反射镜托板(4)，其特征在于，所述反射镜支撑板(2)能够沿所述谐振腔的长度方向滑动；还包括：设置在所述输出镜支撑板(1)的下端中部用于保证输出镜的输出光线方向不变的定位销(5)，所述输出镜支撑板(1)与所述输出镜托板(3)通过所述定位销(5)连接；与所述输出镜支撑板(1)连接能够对所述输出镜支撑板(1)的上下震动起缓冲作用的第一缓冲件，所述第一缓冲件与所述输出镜托板(3)连接；与所述反射镜支撑板(2)连接对所述反射镜支撑板(2)的上下震动起缓冲作用的第二缓冲件；控制所述反射镜支撑板(2)沿直线方向滑动的限位块(6)，所述限位块(6)与所述反射镜托板(4)固定连接，所述限位块(6)通过所述第二缓冲件与所述反射镜支撑板(2)连接。

【技术特征摘要】
1.一种光学谐振腔，适用于气体激光器，包括输出镜支撑板(1)、与所述输出镜支撑板(1)相对平行布置的反射镜支撑板(2)、固定所述输出镜支撑板(1)的输出镜托板(3)和固定所述反射镜支撑板(2)的反射镜托板(4)，其特征在于，所述反射镜支撑板(2)能够沿所述谐振腔的长度方向滑动；还包括：设置在所述输出镜支撑板(1)的下端中部用于保证输出镜的输出光线方向不变的定位销(5)，所述输出镜支撑板(1)与所述输出镜托板(3)通过所述定位销(5)连接；与所述输出镜支撑板(1)连接能够对所述输出镜支撑板(1)的上下震动起缓冲作用的第一缓冲件，所述第一缓冲件与所述输出镜托板(3)连接；与所述反射镜支撑板(2)连接对所述反射镜支撑板(2)的上下震动起缓冲作用的第二缓冲件；控制所述反射镜支撑板(2)沿直线方向滑动的限位块(6)，所述限位块(6)与所述反射镜托板(4)固定连接，所述限位块(6)通过所述第二缓冲件与所述反射镜支撑板(2)连接。2.根据权利要求1所述的光学谐振腔，其特征在于，所述第一缓冲件包括：第一连接板(7)，所述第一连接板(7)包括第一水平板和与所述第一水平板竖直布置的第一竖直板，所述第一水平板位于所述输出镜支撑板(1)与所述输出镜托板(3)之间，所述第一竖直板与所述输出镜支撑板(1)通过螺栓连接，所述第一水平板伸出所述输出镜支撑板(1)的部分设置有第一安装孔；与所述第一安装孔间隙配合的导向柱(8)，所述导向柱(8)的中部开设有第二安装孔，所述第二安装孔与所述第一安装孔同轴布置；套设在所述导向柱(8)上的第一弹性件(9)，所述第一弹性件(9)的末端与所述第一水平板的上端面相抵；套设在所述第一弹性件(9)外侧的第一壳体(10)，所述第一壳体(10)的顶壁与所述第一弹性件(9)和所述导向柱(8)的上端面相抵，所述第一壳体(10)的下端面距离所述第一水平板上端面的距离为3-5mm，所述第一壳体(10)的顶壁开设有第三安装孔，所述第三安装孔与所述第二安装孔同轴；依次穿过所述第三安装孔和所述第二安装孔用于将所第一缓冲件固定在所述输出镜托板(3)上的紧固件，所述输出镜托板(3)上设置有与所述紧固件配合的安装孔。3.根据权利要求2所述的光学谐振腔，其特征在于，所述紧固件为螺栓，所述安装孔为螺栓孔。4.根据权利要求3所述的光学谐振腔，其特征在于，所述螺栓与所述第一壳体(10)之间设置有第一调平垫圈。5.根据权利要求1所述的光学谐振腔，其特征在于，所述限位块(6)的下端设置有两个支撑脚，所述限位块(6)内沿竖直方向开设有容纳空腔，所述限位块(6)的支撑脚与所述反射镜托板(4)固定连接；所述第二缓冲件包括：第二连接板(11)，所述第二连接板(11)包括第二水平板和与所述第二水平板竖直布置的第二竖直板，所述第二竖直板与所述反射镜支撑板(2)螺栓连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨贵龙，邵明振，张阔，陈飞，郭劲，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22