【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种在线式薄膜电池膜面清洁装置。
技术介绍
在薄膜太阳能电池生产过程中,由于工艺本身及车间环境等不良因素,薄膜电池芯片或衬底表面不可避免会残留粉尘或落上异物,在薄膜电池芯片或衬底经过磁控溅射沉积镀膜时,粉尘或异物脱落,造成膜层透空,影响功能膜层的成膜质量,进而影响薄膜电池产品的电性能。因此在薄膜电池芯片或衬底镀膜之前,需要把残留在膜面或衬底上的粉尘、异物等清洁干净,减少磁控溅射镀膜过程中因粉尘、异物导致的膜层脱膜及透空。目前还没有比较有效的措施,临时措施是直接用CDA对膜面进行吹扫,这样做会有两个弊端:一方面,对膜面有损坏;另一方面会造成洁净车间的污染,得不偿失。因此对薄膜电池膜面或衬底表面粉尘及异物的清洁是薄膜太阳能电池生产工艺中不可忽略的问题。
技术实现思路
本技术其目的就在于提供一种在线式薄膜电池膜面清洁装置,解决了薄膜电池芯片在进行磁控溅射镀膜之前,因表面粉尘或异物导致磁控溅射镀膜质量变差的影响,进而降低了薄膜电池产品性能及质量的问题,具有结构简单、效率高、操作方便、易安装的特点。实现上述目的而采取的技术方案,包括镀膜机,镀膜机连接传动线,传动线上设有薄膜电池,所述传动线上设有吹扫机,所述吹扫机包括外壳、抽风机、风刀,外壳两侧边底部各设有2个位置调节器,外壳一侧还设有控制器,外壳一侧设有抽风机,外壳相对抽风机的另一侧设有由旋转轴固定在外壳上的风刀,所述风刀上设有CDA气口,风刀连接CDA气管,所述外壳前后两端外部各设有一个感应器。有益效果与现有技术相比本技术具有以下优点。本技术在薄膜太阳能电池生产过程中,薄膜电池芯片在进行磁控溅射镀膜之前,进行 ...
【技术保护点】
一种在线式薄膜电池膜面清洁装置,包括镀膜机(11),镀膜机(11)连接传动线(2),传动线(2)上设有薄膜电池(1),其特征在于,所述传动线(2)上设有吹扫机(3),所述吹扫机(3)包括外壳(8)、抽风机(4)、风刀(9),外壳(8)两侧边底部各设有2个位置调节器(7),外壳(8)一侧还设有控制器(5),外壳(8)一侧设有抽风机(4),外壳(8)相对抽风机(4)的另一侧设有由旋转轴(14)固定在外壳(8)上的风刀(9),所述风刀(9)上设有CDA气口(10),风刀(9)连接CDA气管(13),所述外壳(8)前后两端外部各设有一个感应器(6)。
【技术特征摘要】
1.一种在线式薄膜电池膜面清洁装置,包括镀膜机(11),镀膜机(11)连接传动线(2),传动线(2)上设有薄膜电池(1),其特征在于,所述传动线(2)上设有吹扫机(3),所述吹扫机(3)包括外壳(8)、抽风机(4)、风刀(9),外壳(8)两侧边底部各设有2个位置调节器(7),外壳(8)一侧还设有控制器(5),外壳(8)一侧设有抽风机(4),外壳(8)...
【专利技术属性】
技术研发人员:魏小涛,王宏杰,周志虎,
申请(专利权)人:江西共青城汉能薄膜太阳能有限公司,
类型:新型
国别省市:江西;36
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。