【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种硅晶片的清洗工件,属于硅晶片工装领域。
技术介绍
元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素。地壳成分中27.8%是硅元素构成的,仅次于氧元素含量排行第二,硅是自然界中比较富的元素。在石英、玛瑙、燧石和普通的滩石中就可以发现硅元素。硅晶片又称晶圆片,是由硅锭加工而成的,通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管,被广泛应用于集成电路的制造。硅属于半导体材料,其自身的导电性并不是很好。然而,可以通过添加适当的掺杂剂来精确控制它的电阻率。制造半导体前,必须将硅转换为晶圆片这要从硅锭的生长开始。单晶硅是原子以三维空间模式周期形成的固体,这种模式贯穿整个材料。多晶硅是很多具有不同晶向的小单晶体单独形成的,不能用来做半导体电路。多晶硅必须融化成单晶体,才能加工成半导体应用中使用的晶圆片。加工硅晶片生成一个硅锭要花一周到一个月的时间,这取决于很多因素,包括大小、质量和终端用户要求。超过75%的单晶硅晶圆片都是通过提拉法方法生长的。半导体或芯片是由硅生产出来的。晶圆片上刻蚀出数以百万计的晶体管,这些晶体管比人的头发要细小上百倍。半导体通过控制电流来管理数据,形成各种文字、数字、声音、图像和色彩。它们被广泛用于集成电路,并间接被地球上的每个人使用。这些应用有些是 日常应用,如计算机、电信和电视,还有的应用于先进的微波传送、激光转换系统、医疗诊断和治疗设备、防御系统和NASA航天飞机。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题克服现有的缺陷,提供一种硅晶片的清洗工件,结构简单,通过设置旋转电机,使硅晶片在冲洗过程中可以自由旋转,又可控制转速,从而使清洗更加彻 ...
【技术保护点】
一种硅晶片的清洗工件,包括工件底座(1),所述工件底座(1)上设有滑槽(2),所述滑槽(2)上设有滑块(3),所述滑块(3)顶部连接旋转电机(4),所述旋转电机(4)顶部连接减速器(5),所述减速器(5)顶部连接第一支撑杆(6),所述第一支撑杆(6)从上到下依次设有储水槽(8)与转速传感器(7),所述储水槽(8)底端设有出水口(9),所述第一支撑杆(6)顶端连接硅晶片框(10),所述工件底座(1)一侧连接第二支撑杆(11),所述第二支撑杆(11)一侧设有冲洗喷头(12)。
【技术特征摘要】
1.一种硅晶片的清洗工件,包括工件底座(1),所述工件底座(1)上设有滑槽(2),所述滑槽(2)上设有滑块(3),所述滑块(3)顶部连接旋转电机(4),所述旋转电机(4)顶部连接减速器(5),所述减速器(5)顶部连接第一支撑杆(6),所述第一支撑杆(6)从上到下依次设有储水槽(8)与转速传感器(7),所述储水槽(8)底端设有出水口(9),所述第一支撑杆(6)顶端连接硅晶片框(10),所述工件底座(1)一侧连接第二支撑杆(11),所述第二支撑杆(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:白青松,张力峰,田利中,邹文龙,梁会宁,
申请(专利权)人:苏州晶樱光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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