【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体电子元件
,具体为一种台面型二极管的加工工艺。
技术介绍
台面型二极管,PN结的制作方法虽然与扩散型相同,但是,只保留PN结及其必要的部分,把不必要的部分用药品腐蚀掉。其剩余的部分便呈现出台面形,因而得名。初期生产的台面型,是对半导体材料使用扩散法而制成的。因此,又把这种台面型称为扩散台面型。PN结几何形状和半导体表面电场对击穿电压的影响十分显著。由于棱角电场和表面电场对击穿电压的不利影响,高压二极管一般不采用平面结构而常用台面结构。目前,现有的一般台面结构二极管PN结几何形状对提高器件的击穿电压效果较差。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种台面型二极管的加工工艺,以解决现有的一般台面结构二极管PN结几何形状对提高器件的击穿电压效果较差的问题。为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种台面型二极管的加工工艺,该加工工艺包括以下步骤:扩散片制作完成→次光刻沟槽→一次腐蚀圆形槽台面→二次光刻沟槽→二次腐蚀圆形槽台面→圆形槽台面生长二氧化硅膜及清洗处理→涂覆玻璃粉→烘焙玻璃粉→玻璃钝化→表面腐蚀清洗。S1、将扩散出PN结的硅片根据所需芯片的尺寸规格进行涂胶、前烘、曝光、显影及坚膜的光刻过程,做好光刻圆状图形;S2、按体积比,将硝酸:氢氟酸:冰醋酸=5:3:1配制成混酸腐蚀液,然后将光刻后硅片放入混酸腐蚀液中进行腐蚀,腐蚀出各芯片的PN结台面沟槽,保持各芯片间连接而不断离,再进行去胶清洗;S2、配制玻璃浆用溶剂:将乙基纤维素和稀释剂按1g:10ml的比例放在烧杯中加热搅拌溶解,制成玻璃浆用溶剂;S2、配制玻璃浆:将玻璃浆用溶剂 ...
【技术保护点】
一种台面型二极管的加工工艺,其特征在于:该加工工艺包括以下步骤:扩散片制作完成→次光刻沟槽→一次腐蚀圆形槽台面→二次光刻沟槽→二次腐蚀圆形槽台面→圆形槽台面生长二氧化硅膜及清洗处理→涂覆玻璃粉→烘焙玻璃粉→玻璃钝化→表面腐蚀清洗。S1、将扩散出PN结的硅片根据所需芯片的尺寸规格进行涂胶、前烘、曝光、显影及坚膜的光刻过程,做好光刻圆状图形;S2、按体积比,将硝酸:氢氟酸:冰醋酸=5:3:1配制成混酸腐蚀液,然后将光刻后硅片放入混酸腐蚀液中进行腐蚀,腐蚀出各芯片的PN结台面沟槽,保持各芯片间连接而不断离,再进行去胶清洗;S2、配制玻璃浆用溶剂:将乙基纤维素和稀释剂按1g:10ml的比例放在烧杯中加热搅拌溶解,制成玻璃浆用溶剂;S2、配制玻璃浆:将玻璃浆用溶剂和铅系玻璃粉按3ml:5g比例倒入茄形瓶中进行搅拌;S3、将搅拌好的玻璃浆滴到腐蚀出沟槽的硅片表面,用不锈钢勺子在硅片上涂敷,使玻璃浆均匀涂满沟槽内,再用不锈钢刮刀将多余的玻璃浆从硅片表面轻轻刮下,随后将此硅片放入石英舟内;S4、玻璃预烧:推入炉口烘12‑18分钟,推入预烧温度为420‑480℃,推入预烧时间为25‑28分钟,同时烧去光 ...
【技术特征摘要】
1.一种台面型二极管的加工工艺,其特征在于:该加工工艺包括以下步骤:扩散片制作完成→次光刻沟槽→一次腐蚀圆形槽台面→二次光刻沟槽→二次腐蚀圆形槽台面→圆形槽台面生长二氧化硅膜及清洗处理→涂覆玻璃粉→烘焙玻璃粉→玻璃钝化→表面腐蚀清洗。S1、将扩散出PN结的硅片根据所需芯片的尺寸规格进行涂胶、前烘、曝光、显影及坚膜的光刻过程,做好光刻圆状图形;S2、按体积比,将硝酸:氢氟酸:冰醋酸=5:3:1配制成混酸腐蚀液,然后将光刻后硅片放入混酸腐蚀液中进行腐蚀,腐蚀出各芯片的PN结台面沟槽,保持各芯片间连接而不断离,再进行去胶清洗;S2、配制玻璃浆用溶剂:将乙基纤维素和稀释剂按1g:10ml的比例放在烧杯中加热搅拌溶解,制成玻璃浆用溶剂;S2、配制玻璃浆:将玻璃浆用溶剂和铅系玻璃粉按3ml:5g比例倒入茄形瓶中进行搅拌;S3、将搅拌好的玻璃浆滴到腐蚀出沟槽的...
【专利技术属性】
技术研发人员:王志敏,
申请(专利权)人:如皋市大昌电子有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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