曝光装置、物体的更换方法、曝光方法、以及元件制造方法制造方法及图纸

第1搬送单元(50a)，是藉由使从下方支承基板(Pa)的基板匣(90a)滑动于与基板表面平行的一轴方向(Y轴方向)而从基板保持具(22)上搬出。另一方面，第2搬送单元(50b)是与基板(Pa)的搬出动作并行地(在支承基板(Pa)的基板匣(90a)的一部分位于基板保持具(22)上的状态下)，藉由使从下方支承基板(Pb)的基板匣(90b)滑动于Y轴方向而搬入基板保持具(22)上。因此，能迅速地进行基板保持具上的基板的更换。

【技术实现步骤摘要】
本申请是申请日为2011年03月10日，申请号为201180016854.3，专利技术名称为“曝光装置、物体的更换方法、曝光方法、以及元件制造方法”的专利申请的分案申请。
本专利技术是关于曝光装置、物体的更换方法、曝光方法、以及元件制造方法，更详言的，是关于藉由能量束使多个基板连续曝光的曝光装置、将保持于保持装置上的物体更换成其他物体的物体的更换方法、利用该更换方法的曝光方法、以及使用所述曝光装置或曝光方法的元件制造方法。
技术介绍
以往，在制造诸如液晶显示元件或半导体元件(集成电路等)等电子元件(微型元件)的微影工艺中，使用扫描型投影曝光装置等的曝光装置，其是一边使掩膜(mask)或标线片(以下总称为“掩膜”)与诸如玻璃板或晶圆等物体(以下总称为“基板”)沿既定扫描方向同步移动，一边将形成于掩膜的图案经由投影光学系统转印至基板上(参照例如专利文献1)。此种曝光装置中，曝光对象的基板是藉由既定的基板搬送装置而搬送至基板载台上，且在曝光处理结束后，藉由基板搬送装置从基板载台上搬出。接着，藉由基板搬送装置将其他基板搬入基板载台上。曝光装置中，藉由反复进行上述基板的搬入、搬出，而对多片基板连续进行曝光处理。因此，在使多片基板连续曝光时，最好是能迅速地进行对基板载台上的基板搬及搬出。【引用列表】[专利文献1]美国专利技术专利第2010/0018950号说明书。
技术实现思路
根据本专利技术的第1态样，提供一种曝光装置，藉由能量束使多个物体连续曝光，所述曝光装置包括：保持装置，在藉所述能量束的曝光处理时保持物体，能相对所述能量束移动于与所述物体表面平行的既定面内的至少一方向；第1搬送装置，将所述保持装置上的所述物体从所述保持装置上搬出；以及第2搬送装置，在搬出对象的所述物体一部分位于所述保持装置上的状态下，将另一物体搬入至所述保持装置上。根据上述装置，藉由第1搬送装置从保持装置上搬出物体，并且在搬出时，在搬出对象的所述物体一部分位于保持装置上的状态下，藉由第2搬送装置将另一物体搬入至保持装置上。亦即，保持装置上，物体的搬出与另一物体的搬入是一部分并行地进行。是以，能提升使多个物体连续曝光时的整体产能。根据本专利技术的第2态样，提供一种物体的更换方法，将保持于能移动于与物体表面平行的既定面内的至少一方向的保持装置上的所述物体更换成另一物体，所述方法包含：将所述保持装置上的所述物体从所述保持装置上搬出；以及在所述物体的一部分位于所述保持装置上的状态下，将另一物体搬入至所述保持装置上。根据上述方法，在搬出对象的所述物体一部分位于保持装置上的状态下，将另一物体搬入至保持装置上。亦即，保持装置上，物体的搬出与另一物体的搬入是一部分并行地进行。是以，能提升在保持装置上的伴随物体更换的处理时的整体产能。根据本专利技术的第3态样，提供一种第1曝光方法，使多个物体连续曝光，该方法包含：藉由上述物体的更换方法将保持于保持装置上的所述物体更换成另一物体；以及以能量束使位于所述保持装置上的更换后物体曝光。根据本专利技术的第4态样，提供一种第2曝光方法，使多个物体连续曝光，该方法包含：于物体更换位置的一侧与另一侧分别设定与既定平面平行的一方向的第1路径与第2路径，沿所述第1路径及第2路径的一方从位于所述更换位置的保持装置上搬出曝光后的物体，并沿所述第1及第2路径的另一方将曝光前的物体搬入位于所述更换位置的保持装置上；以及以能量束使位于所述保持装置上的所述曝光前的物体曝光。根据上述方法，能提升使多个物体连续曝光时的整体产能。又，在保持装置上方的空间狭窄时，亦能迅速地更换物体。根据本专利技术的第5态样，提供一种第1元件制造方法，包含：使用上述曝光装置使所述物体曝光；以及使已曝光的所述物体显影。根据本专利技术的第6态样，提供一种平面面板显示器的制造方法，包含：使用上述曝光装置使作为所述物体的平面面板显示器用的基板曝光；以及使已曝光的所述基板显影。根据本专利技术的第7态样，提供一种第2元件制造方法，包含：藉由上述第1及第2的曝光方法的任一者使所述物体曝光；以及使已曝光的所述物体显影。根据本专利技术的第8态样，提供一种平面面板显示器的制造方法，包含：藉由上述第1及第2的曝光方法的任一者使作为所述物体的平面面板显示器用的基板曝光；以及使已曝光的所述基板显影。附图说明图1(A)是概略显示从－Y侧观看第1实施形态的曝光装置的侧视图，图1(B)是从+X侧观看图1(A)的曝光装置的侧视图。图2是显示第1实施形态的曝光装置的平面视图。图3是显示基板保持具及基板更换装置的平面视图。图4(A)是显示基板匣的平面视图，图4(B)是从+X侧观看图4(A)的基板
匣的侧视图，图4(C)是显示收容有基板匣的基板保持具的剖面图。图5(A)及图5(B)是显示基板保持具的剖面图，图5(C)及图5(D)是显示第1搬送单元的剖面图。图6(A)～图6(C)是用以说明基板更换步骤的图(其1～其3)。图7(A)～图7(C)是用以说明基板更换步骤的图(其4～其6)。图8(A)是与图6(B)对应的平面视图，图8(B)是与图7(A)对应的平面视图。图9(A)及图9(B)是用以说明第1变形例的基板更换步骤的图(其1及2)。图10(A)是显示第2变形例的曝光装置的平面视图，图10(B)是从－Y侧观看图10(A)的曝光装置的侧视图，图10(C)是从+X侧观看图10(A)的曝光装置的侧视图。图11(A)及图11(B)是显示第3变形例的曝光装置的平面视图。图12是概略显示第2实施形态的曝光装置的平面视图。图13是显示图12的曝光装置所具备的基板保持具及基板更换装置的概略平面视图。图14(A)是显示图12的曝光装置所具备的基板保持具的剖面图，图14(B)是显示基板搬出装置的剖面图。图15(A)～图15(C)是用以说明第2实施形态的曝光装置的基板更换步骤的图(其1～其3)。图16(A)～图16(D)是用以说明基板更换步骤的图(其4～其7)。图17(A)是与图15(B)对应的平面视图，图17(B)是与图16(A)对应的平面视图。具体实施方式《第1实施形态》以下，根据图1(A)～图8(B)说明本专利技术的第1实施形态。图1(A)是概略显示第1实施形态的曝光装置10的构成。曝光装置10用
于例如平面面板显示器、液晶显示装置(液晶面板)等的制造。曝光装置10是以用于液晶显示装置的显示面板等的矩形(角型)玻璃基板P(以下单称为基板P)为曝光对象物的投影曝光装置。曝光装置10具备照明系统IOP、保持掩膜M的掩膜载台MST、投影光学系统PL、搭载有掩膜载台MST及投影光学系统PL等的机体BD、保持基板P的基板载台装置PST、基板更换装置48(图1(A)中未图示，参照图2)、以及此等的控制系统等。以下，将在曝光时掩膜M与基板P相对投影光学系统PL分别被相对扫描的方向设为X轴方向(X方向)、将在水平面内与X轴方向正交的方向设为Y轴方向(Y方向)、将与X轴及Y轴正交的方向设为Z轴方向(Z方向)，且将绕X轴、Y轴、及Z轴的旋转(倾斜)方向分别设为θx、θy、及θz方向。照明系统IOP，与例如美国专利技术专利第5,729,331号说明书等所揭示的照明系统为相同构成。亦即，照明系统IOP将从未图示的光源(例如水银灯)射出的光分别经由未图示的反射镜、分本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曝光装置，藉由能量束使多个物体连续曝光，所述曝光装置包括：保持装置，在藉所述能量束的曝光处理时保持物体，能相对所述能量束移动于与所述物体表面平行的既定面内的至少一方向；第1搬送装置，将所述保持装置上的所述物体从所述保持装置上搬出；以及第2搬送装置，在搬出对象的所述物体一部分位于所述保持装置上的状态下，将另一物体搬入至所述保持装置上。

【技术特征摘要】
2010.04.01 US 61/319,917;2010.04.01 US 61/319,976;1.一种曝光装置，藉由能量束使多个物体连续曝光，所述曝光装置包括：保持装置，在藉所述能量束的曝光处理时保持物体，能相对所述能量束移动于与所述物体表面平行的既定面内的至少一方向；第1搬送装置，将所述保持装置上的所述物体从所述保持装置上搬出；以及第2搬送装置，在搬出对象的所述物体一部分位于所述保持装置上的状态下，将另一物体搬入至所述保持装置上。2.如权利要求1所述的曝光装置，其中，所述第1搬送装置使搬出对象的所述物体沿与所述既定面平行的第1方向的第1路径移动；所述第2搬送装置使搬出对象的所述物体沿位于所述第1路径的延长线上的第2路径移动。3.如权利要求2所述的曝光装置，其中，所述保持装置能以既定行程移动于在所述既定面内至少与所述第1方向正交的第2方向。4.如权利要求1至3中任一项所述的曝光装置，其中，所述第2搬送装置将搬入至所述保持装置上的所述物体从所述保持装置上搬出；以及所述第1搬送装置，在以所述第2搬送装置从所述保持装置上搬出的所述物体的一部分位于所述保持装置上的状态下，进一步将另一物体搬入至所述保持装置上。5.如权利要求1至4中任一项所述的曝光装置，其中，所述第1搬送装置及第2搬送装置分别与第1支承构件和第2支承构件将所述物体一起搬送，所述第1支承构件和第2支承构件中的每一个从下方支承所述物体。6.如权利要求5所述的曝光装置，其中，所述保持装置具有设定所述第1支承构件及第2支承构件的移动时的移动平面的第1导引构件；以及所述第1导引构件在所述物体被保持于所述保持装置的保持面上时被收
\t容于所述保持装置内。7.如权利要求6所述的曝光装置，其中，所述第1导引构件包含使所述第1支承构件及第2支承构件悬浮的悬浮装置。8.如权利要求5至7中任一项所述的曝光装置，其中，所述第1搬送装置具有设定所述第1支承构件的移动时的移动平面的第2导引构件；所述第2搬送装置具有设定所述第2支承构件的移动时的移动平面的第3导引构件；以及所述第2导引构件及第3导引构件能分别移动于对所述保持装置接近及离开的方向。9.如权利要求8所述的曝光装置，其中，所述第2导引构件包含使所述第1支承构件悬浮的悬浮装置，并且所述第3导引构件包含使所述第2支承构件悬浮的悬浮装置。10.如权利要求1至4中任一项所述的曝光装置，其中，所述保持装置具有设定所述物体的搬入及搬出时的移动平面的第1移动面设定构件；以及在所述物体被保持于所述保持装置的保持面上时，所述第1移动面设定构件被收容于所述保持装置内。11.如权利要求10所述的曝光装置，其中，所述第1移动面设定构件包含在所述物体的搬入时及搬出时使所述物体悬浮的悬浮装置。12.如权利要求1至4、10、11中任一项所述的曝光装置，其中，所述第1搬送装置具有设定搬出搬出对象的所述物体时的移动平面的第2移动面设定构件；以及所述第2移动面设定构件能移动于对所述保持装置接近及离开的方向。13.如权利要求12所述的曝光装置，其中，所述第2移动面设定构件包含使搬出对象的所述物体悬浮的悬浮装置。14.如权利要求1至4、10至13中任一项所述的曝光装置，其中，所述第2搬送装置具有设定搬入搬入对象的所述物体时所使用的移动平面的第3移动
\t面设定构件；以及所述第3移动面设定构件能移动于对所述保持装置接近及离开的方向。15.如权利要求14所述的曝光装置，其中，所述第3移动面设定构件包含使搬入对象的所述物体悬浮的悬浮装置。16.如权利要求1至15中任一项所述的曝光装置，其中，所述第1搬送装置及第2搬送装置的每一个能整体地在接近及离开所述保持装置的方向移动。17.一种元件制造...

【专利技术属性】
技术研发人员：青木保夫，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本;JP