一种气驱动光学元器件调整装置及光刻机制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种气驱动光学元器件调整装置及光刻机，该调整装置包括：支撑件、气管、气驱动装置及气压调节装置，气压调节装置与气驱动装置独立设置，且两者的密封腔通过所述气管连通，所述气驱动装置连接支撑件、且对支撑件进行气压驱动，光学元器件安装在支撑件上。本实用新型专利技术通过将气压调节装置和气驱动装置分开设置，气压调节装置的密封腔通过气管与气驱动装置的密封腔形成气路连通，使气压调节装置远离投影物镜位置，消除了其电机发热对投影物镜造成的干扰，提高了气驱动光学元器件调整装置对投影物镜的调节控制精度，同时，气驱动装置整体尺寸小，适合安装在投影物镜中，通过改变气体体积输出压力，可以达到更高的控制精度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种气驱动光学元器件调整装置及光刻机，应用于微电子装备领域。
技术介绍
对大规模集成电路的制造工艺过程来说，投影光刻是最为关键的工艺，需要用到投影光刻机，而投影物镜就是投影光刻机的核心，其性能直接决定了光刻的图形传递能力。为保证投影物镜拥有良好的图形传递能力，那么相应对投影物镜的调整就会有很高的精度要求。随着半导体集成电路集成度的不断提高，半导体器件的特征尺寸的不断减小，对光刻机中的光学系统的分辨率的要求越来越高，对光学系统中投影物镜的成像质量要求也更加高。现有技术中，投影物镜常用的驱动装置为电驱动的电机，如压电陶瓷电机，由于电机直接布置在物镜结构中，电流驱动时产生的热量排放，会对投影物镜的成像质量有很大的干扰，影响投影物镜的成像质量及光刻机的精度。因此，需要一种消除电驱动的热量排放干扰、提高投影物镜的调节控制精度的气驱动光学元器件调整装置及光刻机。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种消除电驱动的热量排放干扰、提高投影物镜的调节控制精度的气驱动光学元器件调整装置及光刻机。为了实现上述目的，本技术采用如下技术方案予以实现：一种气驱动光学元器件调整装置，包括：支撑件、气管、气驱动装置及气压
调节装置，其中，光学元器件安装在所述支撑件上，所述气压调节装置与所述气驱动装置独立设置，且两者的密封腔通过所述气管连通，所述气驱动装置连接所述支撑件并对所述支撑件进行气压驱动。优选的，所述气驱动装置和所述气压调节装置的数量均为3个，所述气驱动装置均匀分布在所述支撑件的圆周上。优选的，所述气驱动装置包括：第一外壳、第一气管接口和第一驱动杆，所述第一驱动杆位于所述第一外壳内部，且共同构成所述气驱动装置的密封腔，所述第一气管接口设置在所述第一外壳上，一端与所述气管连通、另一端与所述气驱动装置的密封腔连通。优选的，所述气驱动装置还包括：第一密封圈，所述第一密封圈固定在所述第一驱动杆上，并与所述第一外壳的内壁密封接触。优选的，所述调整装置还包括：圆环结构；所述第一外壳安装在所述圆环结构上，所述第一驱动杆与所述支撑件连接。优选的，所述气压调节装置包括：第二外壳、第二气管接口、第二驱动杆和驱动装置，其中，所述第二驱动杆位于所述第二外壳内部，且共同构成所述气压调节装置的密封腔，所述第二气管接口设置在所述第二外壳上，一端与所述气管远离所述气驱动装置的一端连通、另一端与所述气压调节装置的密封腔连通，所述驱动装置与所述第二驱动杆连接。优选的，所述驱动装置包括：安装板、联轴器、丝杆、轴承支撑座、转接板、连接板及电机，所述电机、所述第二外壳和所述转接板安装在所述安装板上，所述电机通过所述联轴器驱动所述丝杆转动，所述丝杆两端安装在所述轴承支撑座上，所述轴承支撑座固定在所述转接板上，所述连接板一端与所述丝杆螺纹连接、另一端与所述第二驱动杆连接。优选的，所述气压调节装置还包括：第二密封圈，所述第二密封圈固定在所述第二驱动杆上，并与所述第二外壳的内壁密封接触。一种光刻机，包括光学系统，所述光学系统包括光学元器件和权利要求1-8
中任一项所述气驱动光学元器件调整装置，所述光学元器件安装在所述支撑件上，通过所述气驱动光学元器件调整装置调整所述光学元器件的位置。优选的，所述光学元器件包括：投影物镜。与现有技术相比，本技术的技术方案：通过将气压调节装置和气驱动装置分开设置，所述气压调节装置的密封腔通过气管与所述气驱动装置的密封腔形成气路连通，使所述气压调节装置远离投影物镜位置，消除了其电机发热对投影物镜造成的干扰，提高了所述气驱动光学元器件调整装置对投影物镜的调节控制精度，同时，所述气驱动装置整体尺寸小，适合安装在投影物镜中，通过改变气体体积输出压力，可以达到更高的控制精度。附图说明图1是本技术一实施例所述气驱动光学元器件调整装置的结构示意图；图2是本技术所述气驱动光学元器件调整装置的原理示意图；图3是本技术所述气驱动光学元器件调整装置的流程示意图；图4是本技术一实施例所述气压调整装置的结构示意图；图5是本技术一实施例所述气压调整装置的局部剖面图；图6是本技术一实施例所述气驱动装置的结构示意图。图中所示：100、支撑件；200、光学元器件；300、气驱动装置；301、第一外壳；302、第一气管接口；303、第一驱动杆；304、第一密封圈；400、圆环结构；500、气管；600、气压调节装置；601、第二外壳；602、第二气管接口；603、电机；604、安装板；605、联轴器；606、丝杆；607、轴承支撑座；608、转接板；609、连接板；610、第二驱动杆；611、第二密封圈；dS、气压调节装置的输入位移；T、控制开关；V1、气驱动装置的密封腔；V2、气压调节装置的密封腔。具体实施方式下面结合附图对本技术作详细描述：参照图1所示，本技术的光刻机，包括：光学系统，所述光学系统包括光学元器件200和所述气驱动光学元器件调整装置，所述光学元器件200安装在所述气驱动光学元器件调整装置上，通过所述气驱动光学元器件调整装置调整所述光学元器件200的位置。其中，所述光学元器件200包括：投影物镜。如图1所示，所述气驱动光学元器件调整装置，包括：支撑件100、气管500、气驱动装置300及气压调节装置600，所述气压调节装置600与所述气驱动装置300独立设置，结合图5，所述气压调节装置600的密封腔V2通过所述气管500与所述气驱动装置300的密封腔V1形成气路连通，所述气驱动装置300连接所述支撑件100、且对所述气驱动装置300进行气压驱动，光学元器件200安装在所述支撑件100上。所述气驱动装置300和所述气压调节装置600一一对应连接，其数量均为3个，所述气驱动装置300均匀分布在所述支撑件100的圆周。如图2-3所示，所述气压调节装置600包括：第二外壳601、第二气管接口602、第二驱动杆610和驱动装置，所述第二驱动杆610位于所述第二外壳601内部，且共同构成所述气压调节装置600的密封腔V2，所述第二气管接口602设置在所述第二外壳601上，一端与所述气管500远离所述气驱动装置300的一端连通、另一端与所述气压调节装置600的密封腔V2连通，所述驱动装置与所述第二驱动杆610连接。采用上述技术，通过驱动装置驱动第二驱动杆610移动，改变气压调节装置600的密封腔V2的气体体积，进而来改变气驱动装置300的密封腔V1的气体体积和压强，通过第一驱动杆303对支撑件100进行输出压力，将需要设定的输出压力转化为对应的气体体积值，可以达到更高的控制精度。优选的，所述驱动装置包括：安装板604、联轴器605、丝杆606、轴承支撑座607、转接板608、连接板609及电机603，所述电机603、所述第二外壳601和所述转接板608安装在所述安装板604上，所述电机603通过所述联轴器
605驱动丝杆606转动，所述丝杆606两端安装在所述轴承支撑座607上，所述轴承支撑座607固定在所述转接板608上，所述连接板609一端与所述丝杆606螺纹连接、另一端与所述第二驱动杆610连接。采用上述技术，所述电机603通过丝杆606上的连接板609，带动所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气驱动光学元器件调整装置，其特征在于，包括：支撑件、气管、气驱动装置及气压调节装置，其中，光学元器件安装在所述支撑件上，所述气压调节装置与所述气驱动装置独立设置，且两者的密封腔通过所述气管连通，所述气驱动装置连接所述支撑件并对所述支撑件进行气压驱动。

【技术特征摘要】
1.一种气驱动光学元器件调整装置，其特征在于，包括：支撑件、气管、气驱动装置及气压调节装置，其中，光学元器件安装在所述支撑件上，所述气压调节装置与所述气驱动装置独立设置，且两者的密封腔通过所述气管连通，所述气驱动装置连接所述支撑件并对所述支撑件进行气压驱动。2.根据权利要求1所述的气驱动光学元器件调整装置，其特征在于，所述气驱动装置和所述气压调节装置的数量均为3个，所述气驱动装置均匀分布在所述支撑件的圆周上。3.根据权利要求1所述的气驱动光学元器件调整装置，其特征在于，所述气驱动装置包括：第一外壳、第一气管接口和第一驱动杆，所述第一驱动杆位于所述第一外壳内部，且共同构成所述气驱动装置的密封腔，所述第一气管接口设置在所述第一外壳上，一端与所述气管连通、另一端与所述气驱动装置的密封腔连通。4.根据权利要求3所述的气驱动光学元器件调整装置，其特征在于，所述气驱动装置还包括：第一密封圈，所述第一密封圈固定在所述第一驱动杆上，并与所述第一外壳的内壁密封接触。5.根据权利要求3所述的气驱动光学元器件调整装置，其特征在于，所述调整装置还包括：圆环结构；所述第一外壳安装在所述圆环结构上，所述第一驱动杆与所述支撑件连接。6.根据权利要求1所述的气驱动光学元器件调整装置，其特征在于，所述气压调节装置包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘云飞，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31