本实用新型专利技术涉及真空设备技术领域,尤其涉及一种用于真空镀膜机的真空炉的气动锁紧装置,它包括气缸、转臂和与固定于真空炉的炉门的锁块配合的锁扣件,气缸通过气缸固定座固定于真空炉的炉门的四周侧壁上,转臂的一端与气缸的活塞杆铰接,锁扣件连接于转臂的另一端;气动锁紧装置还包括驱动气缸的活塞杆运动的驱动装置、向驱动装置发送控制指令的中央控制器和探测真空炉的炉门开闭并向中央控制器发出信息的感应器。本实用新型专利技术结构简单,其结构轻巧而简单,适用于各种机型的真空镀膜机的真空炉;采用了气缸伸缩及自动控制结合的方式,免除人工手动操作,结构简单可靠,操作方便,提高生产效率,且减少了人员开关风门的劳动强度,增加了安全系数。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空设备
,尤其涉及一种用于真空镀膜机的真空炉的气动锁紧装置。
技术介绍
纳米防水镀膜技术广泛用于航空航天军工、电路板、磁性材料、传感器、硅橡胶、密封件、医疗器械、珍贵文物、小家电(豆浆机、电饭锅、电磁炉、剃须刀、遥控器、空调扇、空调、微波炉等、音响)、数码(手机、相机、笔记本、平板、耳机)、卫浴、蓄电池、汽车(电子钥匙、倒车雷达、充电桩)等领域;能在金、银、钨、钴、钯等不同金属表面形成2-10nm厚度左右的镀层,从而使金属表面具有良好的耐磨性、防水、导电性能、耐腐蚀、耐高温、防氧化及改变表面张力等特性,从而提升材料性能,可以全面的改善产品品质。对真空镀膜机的真空炉进行抽真空时,为保证抽真空后真空镀膜室内的真空度,一般在真空镀膜室的门体与容器体之间设置门锁紧装置,以保证门体与容器体之间的密封,从而保证真空镀膜室内的真空度。然而,目前的门锁紧装置一般设置于真空镀膜室的顶部,门锁紧装置的结构庞大而复杂,因此使用时不能大量安装于真空镀膜室上,只能设于其顶部,这对较大型的真空镀膜机来说,其真空度并不能得到很好的保证,容易影响真空镀膜室内的镀膜工艺,影响镀膜效果,制得的成品良品率低,且目前应用于真空炉的门锁紧装置为手动锁紧方式,生产效率低。为此,以上所述问题亟待解决。
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有技术的不足,而提供一种结构简单、自动控制的用于真空镀膜机的真空炉的气动锁紧装置。本技术是通过以下技术方案来实现的。一种用于真空镀膜机的真空炉的气动锁紧装置,它包括气缸、转臂和与固定于真空炉的炉门的锁块配合的锁扣件,气缸通过气缸固定座固定于真空炉的炉门的四周侧壁上,转臂的一端与气缸的活塞杆铰接,锁扣件连接于转臂的另一端;气动锁紧装置还包括驱动气缸的活塞杆运动的驱动装置、向驱动装置发送控制指令的中央控制器和探测真空炉的炉门开闭并向中央控制器发出信息的感应器。其中,所述感应器为红外探测器。其中,所述红外探测器安装于真空炉的炉门的上方,红外探测器的探测角度为45°-90°。其中,所述驱动装置包括与气缸的进气口通过气管连接的气源组件和设置于气管的电磁阀。其中,所述电磁阀与气源组件之间的气管还设有调压阀。其中,所述中央控制器向电磁阀发送控制指令。其中,所述锁扣件的端部开设有与固定于真空炉的炉门的锁块配合的卡扣缺口。本技术的有益效果为:本技术结构简单,主要应用于真空镀膜机的真空炉,其结构轻巧而简单,适用于各种机型的真空镀膜机的真空炉;在工作时,通过感应器探测真空镀膜机的真空炉的炉门的开闭,感应器再将探测的开闭信息发送至中央控制器,中央控制器向驱动装置发送控制指令,使驱动装置驱动气缸的活塞杆活动,通过活塞杆的伸缩运动使转臂转动,进而由转臂带动锁扣件与真空炉的炉门的锁块的锁扣或分离,以实现锁扣件与炉门的锁紧或松开。本技术采用了气缸伸缩及自动控制结合的方式,免除人工手动操作,结构简单可靠,操作方便,维护简单,提高生产效率,且减少了人员开关风门的劳动强度,增加了安全系数。附图说明图1为本技术的隐藏驱动装置的结构示意图。图2为本技术的驱动装置的结构示意图。附图标记包括:1—气缸,11—活塞杆,12—进气口,2—转臂,3—锁扣件,31—卡扣缺口,4—气管,5—气源组件,6—电磁阀,7—调压阀。具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步的说明。如图1、图2所示,本实施例的一种用于真空镀膜机的真空炉的气动锁紧装置,它包括气缸1、转臂2和与固定于真空炉的炉门的锁块配合的锁扣件3,气缸1通过气缸固定座固定于真空炉的炉门的四周侧壁上,转臂2的一端与气缸1的活塞杆11铰接,锁扣件3连接于转臂2的另一端;气动锁紧装置还包括驱动气缸1的活塞杆11运动的驱动装置、向驱动装置发送控制指令的中央控制器和探测真空炉的炉门开闭并向中央控制器发出信息的感应器。本技术结构简单,主要应用于真空镀膜机的真空炉,其结构轻巧而简单,适用于各种机型的真空镀膜机的真空炉;在工作时,通过感应器探测真空镀膜机的真空炉的炉门的开闭,感应器再将探测的开闭信息发送至中央控制器,中央控制器向驱动装置发送控制指令,使驱动装置驱动气缸1的活塞杆11活动,通过活塞杆11的伸缩运动使转臂2转动,进而由转臂2带动锁扣件3与真空炉的炉门的锁块的锁扣或分离,以实现锁扣件3与炉门的锁紧或松开。本技术采用了气缸1伸缩及自动控制结合的方式,免除人工手动操作,结构简单可靠,操作方便,维护简单,提高生产效率,且减少了人员开关风门的劳动强度,增加了安全系数。本实施例中,所述感应器为红外探测器,红外探测器安装于真空炉的炉门的上方,红外探测器的探测角度为45°-90°。红外探测器用于探测真空炉的炉门的开闭,安装时45°-90°的探测角度可使红外的辐射区域更全面,探测精准度高,进一步确保气动锁紧装置的自动控制的精确度。本实施例中,所述驱动装置包括与气缸1的进气口12通过气管4连接的气源组件5和设置于气管4的电磁阀6;所述电磁阀6与气源组件5之间的气管4还设有调压阀7;所述中央控制器向电磁阀6发送控制指令。红外探测器向中央控制器发送炉门的开闭信息后,通过中央控制器向电磁阀6发送打开或者关闭控制指令,控制电磁阀6的开闭,来控制气源组件5与气缸1之间气管4的畅通和关闭,进而使得气缸1的活塞杆11带动转臂2转动。本实施例中,所述锁扣件3的端部开设有与固定于真空炉的炉门的锁块配合的卡扣缺口31。锁扣件3通过卡扣缺口31与炉门的锁块配合更紧密,连接稳定性高。以上所述实施方式,只是本技术的较佳实施方式,并非来限制本技术实施范围,故凡依本技术申请专利范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰,均应包括本技术专利申请范围内。本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于真空镀膜机的真空炉的气动锁紧装置,其特征在于:它包括气缸、转臂和与固定于真空炉的炉门的锁块配合的锁扣件,气缸通过气缸固定座固定于真空炉的炉门的四周侧壁上,转臂的一端与气缸的活塞杆铰接,锁扣件连接于转臂的另一端;气动锁紧装置还包括驱动气缸的活塞杆运动的驱动装置、向驱动装置发送控制指令的中央控制器和探测真空炉的炉门开闭并向中央控制器发出信息的感应器。
【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜机的真空炉的气动锁紧装置,其特征在于:它包括气缸、转臂和与固定于真空炉的炉门的锁块配合的锁扣件,气缸通过气缸固定座固定于真空炉的炉门的四周侧壁上,转臂的一端与气缸的活塞杆铰接,锁扣件连接于转臂的另一端;气动锁紧装置还包括驱动气缸的活塞杆运动的驱动装置、向驱动装置发送控制指令的中央控制器和探测真空炉的炉门开闭并向中央控制器发出信息的感应器。2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的真空炉的气动锁紧装置,其特征在于:所述感应器为红外探测器。3.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜机的真空炉的气动锁紧装置,其特征在于:所述红外探测器安装于真空炉的炉门的...
【专利技术属性】
技术研发人员:肖桥兵,
申请(专利权)人:广东易能纳米科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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