一种硅片切削液回收系统中的油气分离装置制造方法及图纸

技术编号:13807867 阅读:153 留言:0更新日期:2016-10-08 04:17
本实用新型专利技术公开了一种硅片切削液回收系统中的油气分离装置,包括上腔体和下腔体,所述上腔体的底部和下腔体之间通过出油口连通,所述上腔体的顶部设置有出气口,所述上腔体的侧壁上设置有进气口,所述上腔体内设置有处于溢油口和出气口之间的滤油弹性体,所述上腔体内滑动安装有对滤油弹性体进行挤压的挤压装置,所述下腔体的底部设置有放油口。该油气分离装置结构简单,可对从搅拌釜中抽出的含油空气进行油气分离,使切削油回收,减少污染和原料浪费。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种油气分离装置,特别是指一种硅片切削液回收系统中的油气分离装置
技术介绍
硅棒切割成硅片时需要用到切削液,而切削液在使用一定时间后需要更换,而更换的切削液可以回收再利用,而切削液中包括固体颗粒和切削油,通过压滤离心后将固体颗粒和切削油分别回收,而回收后的切削油需要和固体颗粒再次在搅拌釜中进行混合配比,混合时一般利用抽风机对搅拌釜进行抽风,而抽出的风直接排放到大气中,然经过研究发现,切削油本身具有挥发性,同时在搅拌时切削油也具有一定的温度,搅拌过程中加速挥发,因此,抽出的空气含有一定的气态的切削油,造成了原料的浪费,同时一定程度污染了环境。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是:提供一种硅片切削液回收系统中的油气分离装置,该油气分离装置结构简单,可对从搅拌釜中抽出的含油空气进行油气分离,使切削油回收,减少污染和原料浪费。为解决上述技术问题,本技术的技术方案是:一种硅片切削液回收系统中的油气分离装置,包括上腔体和下腔体,所述上腔体的底部和下腔体之间通过出油口连通,所述上腔体的顶部设置有出气口,所述上腔体的侧壁上设置有进气口,所述上腔体内设置有处于溢油口和出气口之间的滤油弹性体,所述上腔体内滑动安装有对滤油弹性体进行挤压的挤压装置,所述下腔体的底部设置有放油口。作为一种优选的方案,所述上腔体包括处于上部的滤油腔室和处于下部的进气腔室,所述滤油腔室和进气腔室之间通过分隔底板分隔,所
述分隔底板上设置有透气孔,所述出油口设置于进气腔室的底部,所述进气腔室与进气口连通。作为一种优选的方案,所述挤压装置包括上下滑动安装于滤油腔室内的挤压板,该挤压板上设置有透气孔,所述挤压板上连接有贯穿滤油腔室顶部的施力杆。作为一种优选的方案,所述上腔体上安装有与施力杆连接的气缸。作为一种优选的方案,所述进气口处连接有进气管口,该进气管口具有一段向上倾斜的倾斜段,进气管口上设置有连接法兰。作为一种优选的方案,所述挤压板的上部和下部均设置了所述滤油弹性体。作为一种优选的方案,所述下腔体内设置有液位计。作为一种优选的方案,所述上腔体的顶部为一块可拆卸的盖板,该盖板通过螺栓可拆卸安装于滤油腔室的顶部。采用了上述技术方案后,本技术的效果是:由于油气分离装置,包括上腔体和下腔体,所述上腔体的底部和下腔体之间通过出油口连通,所述上腔体的顶部设置有出气口,所述上腔体的侧壁上设置有进气口,所述上腔体内设置有处于溢油口和出气口之间的滤油弹性体,所述上腔体内滑动安装有对滤油弹性体进行挤压的挤压装置,所述下腔体的底部设置有放油口,将该油气分离装置连接在搅拌釜的抽气管路中,气体从进气管进入然后经过滤油弹性体滤油,切削油被吸附在滤油弹性体中,而空气则穿过滤油弹性体并从出气口排出,当滤油弹性体吸附饱和后,利用挤压装置可以对其进行挤压,切削油被挤出并从出油口流入下腔体内,这样就实现了油气分离,该油气分离装置结构简单,易安装,成本低廉,分离效果理想。又由于所述上腔体包括处于上部的滤油腔室和处于下部的进气腔
室,所述滤油腔室和进气腔室之间通过分隔底板分隔,所述分隔底板上设置有透气孔,所述出油口设置于进气腔室的底部,所述进气腔室与进气口连通,这种结构的上腔体可以保证气流通畅。又由于所述挤压装置包括上下滑动安装于滤油腔室内的挤压板,该挤压板上设置有透气孔,所述挤压板上连接有贯穿滤油腔室顶部的施力杆,该挤压装置结构简单有效,挤压操作也方便。又由于所述进气口处连接有进气管口,该进气管口具有一段向上倾斜的倾斜段,进气管口上设置有连接法兰,这样,该进气管口的倾斜段可有效的避免切削油倒流。又由于所述挤压板的上部和下部均设置了所述滤油弹性体,这样,挤压板向下运动和向上运动均可挤压滤油弹性体,而设置了两块滤油弹性体可提高滤油效果。又由于所述下腔体内设置有液位计,该液位计实时检测下腔体内切削油的高度,避免油量过多。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术实施例的结构剖视图;附图中:1.上腔体;2.下腔体;3.出油口;4.施力杆;5.挤压板;6.出气口;7.气缸;8.盖板;9.透气孔;10.进气管口;11.放油口;12.液位计。具体实施方式下面通过具体实施例对本技术作进一步的详细描述。如图1所示,一种硅片切削液回收系统中的油气分离装置,包括上腔体1和下腔体2,本技术中描述的上和下是以图1中摆放的位置确定的,所述上腔体1的底部和下腔体2之间通过出油口3连通,所述
上腔体1的顶部设置有出气口6,所述上腔体1的侧壁上设置有进气口,所述上腔体1内设置有处于溢油口和出气口6之间的滤油弹性体,所述上腔体1内滑动安装有对滤油弹性体进行挤压的挤压装置,所述下腔体2的底部设置有放油口11,所述放油口11连接放油管路用于收集回收利用。所述上腔体1包括处于上部的滤油腔室和处于下部的进气腔室,所述上腔体1的顶部为一块可拆卸的盖板8,该盖板8通过螺栓可拆卸安装于滤油腔室的顶部。这样可通过拆卸盖板8方便更换滤油弹性体,滤油弹性体一般可以为弹性海绵、弹性乳胶等制成,具有一定的吸附性。所述滤油腔室和进气腔室之间通过分隔底板分隔,所述分隔底板上设置有透气孔,所述出油口3设置于进气腔室的底部,所述进气腔室与进气口连通。所述进气腔室的底部设置成向出油口3倾斜的导流斜面,方便切削油流动所述挤压装置包括上下滑动安装于滤油腔室内的挤压板5,该挤压板5上设置有透气孔9,所述挤压板5上连接有贯穿滤油腔室顶部的施力杆4。本实施例中,所述挤压板5的上部和下部均设置了所述滤油弹性体。所述上腔体1上安装有与施力杆4连接的气缸7。该挤压装置可以采用手动挤压或者气动的方式挤压。所述进气口处连接有进气管口10,该进气管口10具有一段向上倾斜的倾斜段,进气管口10上设置有连接法兰。所述下腔体2内设置有液位计12。在放油管路上可设置电磁阀,从而实现智能控制。以上所述实施例仅是对本专利技术的优选实施方式的描述,不作为对本专利技术范围的限定,在不脱离本专利技术设计精神的基础上,对本专利技术技术方案作出的各种变形和改造,均应落入本专利技术的权利要求书确定的保护范
围内。本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种硅片切削液回收系统中的油气分离装置,其特征在于:包括上腔体和下腔体,所述上腔体的底部和下腔体之间通过出油口连通,所述上腔体的顶部设置有出气口,所述上腔体的侧壁上设置有进气口,所述上腔体内设置有处于溢油口和出气口之间的滤油弹性体,所述上腔体内滑动安装有对滤油弹性体进行挤压的挤压装置,所述下腔体的底部设置有放油口。

【技术特征摘要】
1.一种硅片切削液回收系统中的油气分离装置,其特征在于:包括上腔体和下腔体,所述上腔体的底部和下腔体之间通过出油口连通,所述上腔体的顶部设置有出气口,所述上腔体的侧壁上设置有进气口,所述上腔体内设置有处于溢油口和出气口之间的滤油弹性体,所述上腔体内滑动安装有对滤油弹性体进行挤压的挤压装置,所述下腔体的底部设置有放油口。2.如权利要求1所述的一种硅片切削液回收系统中的油气分离装置,其特征在于:所述上腔体包括处于上部的滤油腔室和处于下部的进气腔室,所述滤油腔室和进气腔室之间通过分隔底板分隔,所述分隔底板上设置有透气孔,所述出油口设置于进气腔室的底部,所述进气腔室与进气口连通。3.如权利要求2所述的一种硅片切削液回收系统中的油气分离装置,其特征在于:所述挤压装置包括上下滑动安装于滤油腔室内的挤压板,该挤压板上设...

【专利技术属性】
技术研发人员:周晓明许建松邹文龙李卡白青松蒋娜娜
申请(专利权)人:苏州晶樱光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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