一种垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，包括：一镜头装置，用于增大一VCSEL阵列成像距离；一图像采集装置，用于采集所述VCSEL阵列成像；和一分析判断装置，用于分析判断所述图像采集装置采集的所述VCSEL阵列成像的信息，判断所述VCSEL阵列是否存在坏点。一种垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测方法，包括如下步骤：(A)提供一镜头装置，设置于一VCSEL阵列的发光单元前方位置，使得所述VCSEL阵列的成像距离增大；(B)提供一图像采集装置，采集所述VCSEL阵列通过所述镜头装置的成像；和(C)提供一分析判断装置，分析所述图像采集装置采集的所述VCSEL阵列成像信息，判断所述VCSEL阵列是否存在坏点。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统及方法，更进一步，涉及一种应用于投影模组的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统及方法。
技术介绍
VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser垂直腔面发射激光器)是一种新型半导体激光器，具有单纵模运行、圆截面出射光、易于构成二维阵列以及适于在线晶片级测试等优越性能，被广泛应用于各个不同领域，如，在投影模组中的应用。VCSEL阵列在生产工艺过程中，不可避免的造成坏点，会引起模组的局部区域无光照，影响投影模组的功能，需要在使用之前挑选出来。其中，坏点是指不随电流电压变化，始终呈现统一亮度的像素点，表现为暗点。也就是说，当存在坏点的VCSEL阵列应用于投影模组时，会使得投影模组由于部分区域接收不到VCSEL发生的激光的照射，从而影响投影模组的成像。基于VCSEL阵列生产工艺过程中出现的问题，因此，VCSEL阵列坏点检测成为VCSEL应用于投影模组之前必须进行的过程。而VCSEL阵列检测的方式以及检测的准确性决定应用于投影模组的VCSEL阵列的好坏，从而影响整个投影模组的光学性能。而在现有技术中，主要应用的测试低功率VCSEL阵列的坏点方法主要是，通过给低功率VCSEL阵列通低电压和低电流，改变电压和电流条件，进而通过人眼观察通电之后的VCSEL阵列的发光或者说成像情况，如果看到VCSEL阵列的某些位置亮度出现不随电压电流的改变而发生变化的情况，那么这些位置就是坏点位置，从而可以筛选出存在坏点的VCSEL阵列。从整个工艺过程可以看到，现有技术所采用的人工检测方法，存在诸多不利因素。首先，由于激光的发散角小以及垂直腔面激光发射器阵列的发光单元之间的间距较小，因此要通过观察分辨不同的阵列点的发光情况，会相对困难或者分辨不清。相对来说，这种方法适于存在较大面积连续的阵列坏点的情况，这种情况下，可以相对容易辨别出是否存在坏点。而当只存在个别的坏点时，可能仅仅通过人眼很难观察到，这就导致检测过程中的准确率下降。其次，当人眼长期直接面对光源，目光长时间集中于一个地方时，很容易造成视觉疲劳。在这种不可避免的情况下，同一个工作人员的检测准确率也会下降，可能使得原本可以检测出的存在坏点的阵列，因为视觉疲劳而未被检测出。第三，在投影模组中应用的VCSEL阵列每一个都必须经过阵列坏点检测这一道工序，也就是说，坏点检测必定是一个长期而数量巨大的工作。因此在这样固定而重复的工作过程中，人工检测的方式，很明显的存在问题之一是效率较低。第四，人眼长期直接面对光源，容易损伤人眼，这对于这种需要批量、长期进行的工序来说，对于工作人员并不是一个良好的工作环境。而在自动化如此先进的科技条件下，更应该考虑如何用机器去替代人工的操作，解放劳动力。
技术实现思路
本专利技术的一个目的在于提供一种垂直腔面激光发生器阵列的坏点检测系统及方法，其通过机器检测阵列坏点的方式代替的人眼观察检测的方式。本专利技术的另一目的在于提供一种垂直腔面激光发生器阵列的坏点检测系统及方法，其中，一镜头装置使得VCSEL阵列成像距离增大。本专利技术的另一目的在于提供一种垂直腔面激光发生器阵列的坏点检测系统及方法，其中，一图像采集装置能够采集VCSEL阵列的成像，代替了人眼观察的检测方式。本专利技术的另一目的在于提供一种垂直腔面激光发生器阵列的坏点检测系统及方法，其中，一分析判断装置能够准确的分析所述图像采集装置的图像信息，判断VCSEL是否存在坏点，提高检测的准确率。本专利技术的另一目的在于提供一种垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统及方法，其中，一偏振装置调节VCSEL阵列的激光强度，防止所述图像采集装置的感光芯片过曝。本专利技术的另一目的在于提供一种垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统
及方法，其中，所述偏振装置可以调节VCSEL阵列的激光强度，适于各种能量分布的VCSEL阵列。本专利技术的另一目的在于提供一种垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统及方法，通过图像采集装置和所述分析判断装置采集判断VCSEL阵列的坏点，实现批量化检测，提高工作效率。本专利技术的另一目的在于提供一种垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统及方法，通过所述分析判断装置快速记录VCSEL阵列的能量分布情况。本专利技术的另一目的在于提供一种垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统及方法，通过机器检测代替人工操作，节省了劳动力。为了实现以上专利技术目的，本专利技术提供一种垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，包括：一镜头装置，用于增大一VCSEL阵列成像距离；一图像采集装置，用于采集所述VCSEL阵列成像；和一分析判断装置，用于分析判断所述图像采集装置采集的所述VCSEL阵列成像的信息，判断所述VCSEL阵列是否存在坏点。为了实现以上专利技术目的，本专利技术还提供一种垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测方法，包括如下步骤：(A)提供一镜头装置，设置于一VCSEL阵列的发光单元前方位置，使得所述VCSEL阵列的成像距离增大；(B)提供一图像采集装置，采集所述VCSEL阵列通过所述镜头装置的成像；和(C)提供一分析判断装置，分析所述图像采集装置采集的所述VCSEL阵列成像信息，判断所述VCSEL阵列是否存在坏点。优选地，所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，进一步包括一偏振装置，设置于所述镜头装置光线入射方向。优选地，所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，所述镜头装置的镜头孔径略大于所述VCSEL阵列的发光面积。优选地，所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，进一步包括一承载装置，用于提供所述VCSEL测试条件，所述承载装置设于所述偏振装置下方。优选地，所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，所述两个偏振片
可旋转的设置于所述透镜装置和所述承载装置之间。优选地，所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，进一步包括一支撑主体和一调节装置，所述调节装置安装于所述支撑主体，所述承载装置连接于调节装置。优选地，所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，所述调节装置包括一X轴调节器，一Y轴调节器和一Z轴调节器，所述承载装置连接于所述X轴调节器和所述Y轴调节器，所述图像采集装置连接于所述Z轴调节器。优选地，所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，所述图像采集装置包括一感光芯片，用于采集所述VCSEL阵列的成像。优选地，所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，所述承载装置包括一供电工装和一散热工装。优选地，所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，所述偏振装置为两个偏振片。优选地，所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测方法，进一步包括步骤：(D)提供一偏振装置，设置于所述镜头装置光线入射方向，调节所述VCSEL阵列激光强度。优选地，所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测方法，所述步骤(A)中，所述镜头装置的镜头孔径略大于所述VCSEL阵列的发光面积。优选地，所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测方法，所述步骤(A)进一步包括步骤：(A1)提供一承载装置，用于承载所述VCSEL阵列，使得所述VCSEL阵列发光。优选地，所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测方法，所述两个偏振片可旋转的设置于所述透镜装置和所述承载装置之间。优选地，本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，其特征在于，包括：一镜头装置，用于增大一VCSEL阵列成像距离；一图像采集装置，用于采集所述VCSEL阵列成像；和一分析判断装置，用于分析判断所述图像采集装置采集的所述VCSEL阵列成像的信息，判断所述VCSEL阵列是否存在坏点。
【技术特征摘要】
1.一种垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，其特征在于，包括：一镜头装置，用于增大一VCSEL阵列成像距离；一图像采集装置，用于采集所述VCSEL阵列成像；和一分析判断装置，用于分析判断所述图像采集装置采集的所述VCSEL阵列成像的信息，判断所述VCSEL阵列是否存在坏点。2.如权利要求1所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，进一步包括一偏振装置，设置于所述镜头装置光线入射方向。3.如权利要求2所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，所述镜头装置的镜头孔径略大于所述VCSEL阵列的发光面积。4.如权利要求3所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，进一步包括一承载装置，用于提供所述VCSEL测试条件，所述承载装置设于所述偏振装置下方。5.如权利要求4所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，所述偏振装置可旋转的设置于所述透镜装置和所述承载装置之间。6.如权利要求5所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，进一步包括一支撑主体和一调节装置，所述调节装置安装于所述支撑主体，所述承载装置连接于调节装置。7.如权利要求6所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，所述调节装置包括一X轴调节器，一Y轴调节器和一Z轴调节器，所述承载装置连接于所述X轴调节器和所述Y轴调节器，所述图像采集装置连接于所述Z轴调节器。8.如权利要求1至7任一所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，所述图像采集装置包括一感光芯片，用于采集所述VCSEL阵列的成像。9.如权利要求1至7任一所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，所述承载装置包括一供电工装和一散热工装。10.如权利要求1至7任一所述的垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测系统，所述偏振装置为两个偏振片。11.一种垂直腔面发射激光器阵列的坏点检测方法，其特征在于，包括如下步骤：(A)提供一镜头装置，设置于一VCSEL阵列的发光单元前方位置，使得所述VCSEL阵列的成像距离增大；(B)提供一图像采集装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：张扣文，鲁丁，李强，余梦璐，
申请(专利权)人：宁波舜宇光电信息有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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