【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种无损检测系统。
技术介绍
半导体是目前新兴的科技产业，在提高产品品质和降低成本的需求下，其制程中所需要的检测技术非常重要。在现有的检测技术中，非破坏与非接触的方式是比较好的方式。例如在微电子工业中，扫描式声学显微镜已广泛的应用在检测中。主要是超声波能够穿透元件外部而达到非破坏的检测目的。由于电子产品或材料的尺寸越来越小，很多都在微米级别，因此其检测精度和要求更高，现有技术的检测设备无法满足小尺寸高精度的检测需求。
技术实现思路
本专利技术为了解决现有技术的问题，提供了一种能够检测微米级别物体表面或内部缺陷的一种无损检测系统。本专利技术的具体技术方案如下：一种无损检测系统，包括超声波发射组件，超声波检测组件，显微组件和待测物体，所述超声波组件包括脉冲光源，第一耦合透镜和第一准直透镜，所述第一耦合透镜设置在脉冲光源和第一准直透镜之间，所述超声波检测组件包括连续光源，第一分光镜，光折变装置，光检测器和处理单元，所述第一分光镜设置在连续光源和光折变装置之间，所述光检测器设置在光折变装置与处理单元之间。以下为本专利技术的附属技术方案。进一步的，所述显微组件还包括双色分光镜和第二分光镜，双色分光镜设置在待测物体与第二分光镜之间。进一步的，所述显微组件还包括摄影机和屏幕，摄影机设置在屏幕和第二 分光镜之间。进一步的，所述双色分光镜与待测物体之间设有物镜。进一步的，所述连续光源和第一分光镜之间依次设有第二耦合透镜和第二准直透镜。本专利技术的技术效果：本专利技术通过利用脉冲光源在待测物体形成超声波进行待测物体缺陷检测，能以不破坏元件的方式，在微米级物体表面或...
【技术保护点】
一种无损检测系统，包括超声波发射组件，超声波检测组件，显微组件和待测物体，其特征在于：所述超声波组件包括脉冲光源，第一耦合透镜和第一准直透镜，所述第一耦合透镜设置在脉冲光源和第一准直透镜之间，所述超声波检测组件包括连续光源，第一分光镜，光折变装置，光检测器和处理单元，所述第一分光镜设置在连续光源和光折变装置之间，所述光检测器设置在光折变装置与处理单元之间。
【技术特征摘要】
1.一种无损检测系统，包括超声波发射组件，超声波检测组件，显微组件和待测物体，其特征在于：所述超声波组件包括脉冲光源，第一耦合透镜和第一准直透镜，所述第一耦合透镜设置在脉冲光源和第一准直透镜之间，所述超声波检测组件包括连续光源，第一分光镜，光折变装置，光检测器和处理单元，所述第一分光镜设置在连续光源和光折变装置之间，所述光检测器设置在光折变装置与处理单元之间。2.如权利要求1所述的无损检测系统，其特征在于：所...
【专利技术属性】
技术研发人员：李杨，
申请(专利权)人：天津市卓阳无损检测有限公司，
类型：发明
国别省市：天津;12
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