一种真空阴极旋转永磁体动态磁场及其组装方法技术

本发明专利技术公开了一种真空阴极旋转永磁体动态磁场及其组装方法，所述一种真空阴极旋转永磁体动态磁场包括驱动系统、旋转系统、磁场系统和靶系统，所述驱动系统位于旋转系统上，所述磁场系统位于旋转系统和靶系统之间，所述旋转系统包括旋转座板、轴承座和轴承回转体，所述轴承座固定在旋转座板上，所述轴承回转体固定在轴承座上，所述轴承回转体包括从动齿轮和连接座，所述连接座固定在从动齿轮上，所述磁场系统包括内磁座和内极板，所述内极板分别固定在内磁座和连接座上，所述靶系统包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面。本发明专利技术提供的真空阴极旋转永磁体动态磁场不仅结构简单，而且能使靶材刻蚀范围加大，降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及磁场领域，尤其涉及一种真空阴极旋转永磁体动态磁场及其组装方法。
技术介绍
目前市场真空行业中真空阴极磁场控制方式种类繁多，靶材使用率较低，结构复杂，一般方法是用固定式永磁体或电磁线圈控制磁场方式，靶材磁场约束采用电磁线圈方式的磁场约束能力弱，离化率低，所以生产成本高。
技术实现思路
鉴于目前真空阴极磁场存在的上述不足，本专利技术提供一种靶材刻蚀范围大，生产成本低的真空阴极旋转永磁体动态磁场。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案：一种真空阴极旋转永磁体动态磁场，包括驱动系统、旋转系统、磁场系统和靶系统，所述驱动系统在旋转系统上，所述磁场系统位于旋转系统和靶系统之间，所述旋转系统包括旋转座板、轴承座和轴承回转体，所述轴承座固定在旋转座板上，所述轴承回转体固定在轴承座上，所述轴承回转体包括从动齿轮和连接座，所述连接座固定在从动齿轮上，所述磁场系统包括内磁座和内极板，所述内极板分别固定在内磁座和连接座上，所述靶系统包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面。依照本专利技术所述另一个方面，所述驱动系统包括电机和主动齿轮，所述电机固定在旋转座板上，所述主动齿轮固定在电机轴端，并与从动齿轮紧扣吻合。依照本专利技术所述另一个方面，所述轴承回转体还包括轴承压盖、第一滚动轴承、轴承定位内环、第二滚动轴承和轴承定位外环，所述第一滚动轴承、轴承定位内环、第二滚动轴承和轴承定位外环都位于轴承压盖上，所述轴承压盖固定在轴承座上。依照本专利技术所述另一个方面，所述磁场系统还包括永磁体、外磁座和外极板，所述外极板固定在外磁座上，所述永磁体在外磁座和外极板中。依照本专利技术所述另一个方面，所述旋转座板上设有第一支撑柱和第二支撑柱，所述第一支撑柱一端固定到外磁座上，所述第一支撑柱的另一端固定到旋转座板上，所述第二支撑柱一端固定到靶座上，所述第二支撑柱的另一端固定到旋转座板上。依照本专利技术所述另一个方面，所述旋转座板上还设有把手，所述把手固定在旋转座板上。一种真空阴极旋转永磁体动态磁场的组装方法，所述真空阴极旋转永磁体动态磁场包括驱动系统、旋转系统、磁场系统和靶系统，所述驱动系统位于旋转系统上，所述磁场系统位于旋转系统和靶系统之间，所述旋转系统包括旋转座板、轴承座和轴承回转体，所述轴承座固定在旋转座板上，所述轴承回转体固定在轴承座上，所述轴承回转体包括从动齿轮和连接座，所述连接座固定在从动齿轮上，所述磁场系统包括内磁座和内极板，所述内极板分别固定在内磁座和连接座上，所述靶系统包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面，其特征在于：所述真空阴极旋转永磁体动态磁场的组装方法包含以下步骤：把驱动系统和轴承座固定在旋转座板上；把从动齿轮套入轴承座中；把轴承回转体固定到轴承座上；把内极板固定在内磁座上；把内极板固定在连接板上；把连接板固定在从动齿轮上；将靶材固定在靶座上。依照本专利技术所述另一个方面，所述驱动系统包括电机和主动齿轮，所述电机固定在旋转座板上，所述主动齿轮固定在电机轴端，并与从动齿轮紧扣吻合，所述把驱动系统和轴承座固定在旋转座板上步骤具体可包含以下步骤：将电机和轴承座固定在旋转座板上；将主动齿轮固定在电机轴端。依照本专利技术所述另一个方面，所述轴承回转体还包括轴承压盖、第一滚动轴承、轴承定位内环、第二滚动轴承和轴承定位外环，所述
第一滚动轴承、轴承定位内环、第二滚动轴承和轴承定位外环都位于轴承压盖上，所述轴承压盖固定在轴承座上，所述把轴承回转体固定到轴承座上步骤具体可包含以下步骤：把第一滚动轴承装入轴承座中；依次装入轴承定位内环、轴承定位外环和第二滚动轴承；把轴承压盖固定到轴承座上。依照本专利技术所述另一个方面，所述磁场系统还包括永磁体、外磁座和外极板，所述外极板固定在外磁座上，所述永磁体在外磁座和外极板中，所述旋转座板上设有第一支撑柱和第二支撑柱，所述第一支撑柱一端固定到外磁座上，所述第一支撑柱的另一端固定到旋转座板上，所述第二支撑柱一端固定到靶座上，所述第二支撑柱的另一端固定到旋转座板上，所述把连接板固定在从动齿轮上之后还包含以下步骤：把永磁体分别镶嵌到外极板和外磁座中；把外极板固定在外磁钢座上；将第一支撑柱一端拧紧到外磁钢座上；将第一支撑柱另一端固定到旋转座板上；将第二支撑柱一端拧紧到靶座上；将第二支撑柱另一端用螺钉固定到旋转座板上。本专利技术实施的优点：一种真空阴极旋转永磁体动态磁场，包括驱动系统、旋转系统、磁场系统和靶系统，驱动系统在旋转系统上，磁场系统位于旋转系统和靶系统之间，旋转系统包括旋转座板、轴承座和轴承回转体，轴承座固定在旋转座板上，轴承回转体固定在轴承座上，轴承回转体包括从动齿轮和连接座，连接座固定在从动齿轮上，磁场系统包括内磁座和内极板，内极板分别固定在内磁座和连接座上，靶系统包括靶座和靶材，靶材固定在靶座下面，这样驱动系统可以带动内磁座和内极板一起不停的旋转，从而使靶材刻蚀范围加大，降低了生产成本；旋转座板上设有第一支撑柱和第二支撑柱，第一支撑柱一端固定到外磁座上，第一支撑柱的另一端固定到旋转座板上，第二支撑柱一端固定到靶座上，第二支撑柱的另一端固定到旋转座板上，
旋转座板上还设有把手，把手固定在旋转座板上，因此本专利技术真空阴极旋转永磁体动态磁场结构也简单，维修也方便。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术真空阴极旋转永磁体动态磁场的立体示意图；图2为本专利技术真空阴极旋转永磁体动态磁场的爆炸式结构示意图；图3为本专利技术真空阴极旋转永磁体动态磁场的结构示意图。具体实施方式下面将结合附图对本专利技术作进一步说明。如图1、图2、图3所示，一种真空阴极旋转永磁体动态磁场，包括驱动系统101、旋转系统102、磁场系统103和靶系统104，驱动系统101位于旋转系统102上，磁场系统103位于旋转系统102和靶系统104之间，旋转系统102包括旋转座板201、轴承座202和轴承回转体203，轴承座202固定在旋转座板201上，轴承回转体203固定在轴承座202上，轴承回转体203包括从动齿轮204和连接座205，连接座205固定在从动齿轮204上，磁场系统103包括内磁座206和内极板207，内极板207分别固定在内磁座206和连接座205上，靶系统104包括靶座208和靶材209，靶材209固定在靶座208下面，这样驱动系统101可以带动内磁座206和内极板207一起不停的旋转，从而使靶材刻蚀范围加大，降低生产成本。在实际应用中，驱动系统101可包括电机210和主动齿轮211，电机210固定在旋转座板201上，主动齿轮211固定在电机210轴端，并与从动齿轮204紧扣吻合，轴承回转体203还包括轴承压盖212、第一滚动轴承213、第二滚动轴承222、轴承定位内环214和轴承定位外环215，第一滚动轴承213、第二滚动轴承222、轴承定位内环214和轴承定位外环215都位于轴承压盖212上，轴承压盖212固定在轴承座202上，磁场系统103还可包括永磁体216、外磁座217和外极板218，永磁
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【技术保护点】
一种真空阴极旋转永磁体动态磁场，包括驱动系统、旋转系统、磁场系统和靶系统，其特征在于：所述驱动系统位于旋转系统上，所述磁场系统位于旋转系统和靶系统之间，所述旋转系统包括旋转座板、轴承座和轴承回转体，所述轴承座固定在旋转座板上，所述轴承回转体固定在轴承座上，所述轴承回转体包括从动齿轮和连接座，所述连接座固定在从动齿轮上，所述磁场系统包括内磁座和内极板，所述内极板分别固定在内磁座和连接座上，所述靶系统包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面。

【技术特征摘要】
1.一种真空阴极旋转永磁体动态磁场，包括驱动系统、旋转系统、磁场系统和靶系统，其特征在于：所述驱动系统位于旋转系统上，所述磁场系统位于旋转系统和靶系统之间，所述旋转系统包括旋转座板、轴承座和轴承回转体，所述轴承座固定在旋转座板上，所述轴承回转体固定在轴承座上，所述轴承回转体包括从动齿轮和连接座，所述连接座固定在从动齿轮上，所述磁场系统包括内磁座和内极板，所述内极板分别固定在内磁座和连接座上，所述靶系统包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面。2.按照权利要求1所述的一种真空阴极旋转永磁体动态磁场，其特征在于：所述驱动系统包括电机和主动齿轮，所述电机固定在旋转座板上，所述主动齿轮固定在电机轴端，并与从动齿轮紧扣吻合。3.按照权利要求1所述的一种真空阴极旋转永磁体动态磁场，其特征在于：所述轴承回转体还包括轴承压盖、第一滚动轴承、轴承定位内环、第二滚动轴承和轴承定位外环，所述第一滚动轴承、轴承定位内环、第二滚动轴承和轴承定位外环都位于轴承压盖上，所述轴承压盖固定在轴承座上。4.按照权利要求1所述的一种真空阴极旋转永磁体动态磁场，其特征在于：所述磁场系统还包括永磁体、外磁座和外极板，所述外极板固定在外磁座上，所述永磁体在外磁座和外极板中。5.按照权利要求1至4之一所述的一种真空阴极旋转永磁体动态磁场，其特征在于：所述旋转座板上设有第一支撑柱和第二支撑柱，所述第一支撑柱一端固定到外磁座上，所述第一支撑柱的另一端固定到旋转座板上，所述第二支撑柱一端固定到靶座上，所述第二支撑柱的另一端固定到旋转座板上。6.按照权利要求5所述的一种真空阴极旋转永磁体动态磁场，其特征在于：所述旋转座板上还设有把手，所述把手固定在旋转座板上。7.一种真空阴极旋转永磁体动态磁场的组装方法，所述真空阴极旋转永磁体动态磁场包括驱动系统、旋转系统、磁场系统和靶系统，所述驱动系统位于旋转系统上，所述磁场系统位于旋转系统和靶系统之间，所述旋转系统包括旋转座板、轴承座和轴承回转体，所述轴承座固定在旋转座板上，所述轴承回转体固定在轴承座上，所述轴承回转体包括从动齿轮和连接座，所述连接座固...

【专利技术属性】
技术研发人员：王叔晖，孟庆学，
申请(专利权)人：上海法德机械设备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31