异常机台的检测方法和检测设备技术

本发明专利技术公开了一种异常机台的检测方法和检测设备。其中，该方法包括：接收晶圆抽取设备发送的对应至少两台机台的抽取顺序信息，其中，该至少两台机台分别对应不同的抽取顺序信息；在该晶圆按照该抽取顺序信息依次通过该至少两台机台的腔体后，根据该抽取顺序信息获取该至少两个机台的腔体对应的晶圆在该FOUP中的第一编号；在该晶圆通过全部机台后，获取缺陷晶圆在该FOUP中对应的第二编号；根据该第二编号与第一编号的对应关系确定该至少两个机台中异常的机台的腔体。通过本发明专利技术，解决了无法精确确认异常机台的问题，实现了精确确认发生异常的机台的腔体的效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶圆制造领域，具体而言，涉及一种异常机台的检测方法和检测设备。
技术介绍
晶圆缺陷有的是在晶圆工艺过程中，由于温度、压力、介质组分浓度，工艺机台，操作人员，工厂环境等变化而引起的；有的则是在晶体形成后，由于质点的热运动或受应力作用而产生，它们可以在晶格内迁移，以至消失，同时又可有新的缺陷产生，从而造成晶圆的低良率。现有技术中，为了检测出造成缺陷晶圆的机台，会将只通过该缺陷晶圆的腔体对应的机台找出来，但是，采用这种方式往往会找出很多机台，而无法进一步确认是哪一个机台异常。针对上述的无法精确确认异常机台的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种异常机台的检测方法和检测设备，从而精确地确认发生异常的机台的腔体。根据本专利技术实施例的一个方面，提供了一种异常机台的检测方法，包括：接收晶圆抽取设备发送的对应至少两台机台的抽取顺序信息，其中，所述抽取顺序信息包括所述晶圆抽取设备在晶圆盒FOUP中根据FOUP编号依次抽取晶圆的顺序，所述至少两台机台分别对应不同的抽取顺序信息；在所述晶圆按照所述抽取顺序信息依次通过所述至少两台机台的腔体后，根据所述抽取顺序信息获取所述至少两个机台的腔体对应的晶圆在所述
FOUP中的第一编号；在所述晶圆通过全部机台后，获取缺陷晶圆在所述FOUP中对应的第二编号；根据所述第二编号与第一编号的对应关系确定所述至少两个机台中异常的机台的腔体。可选地，在所述至少两个机台包括至少两个腔体时，所述根据所述第二编号与第一编号的对应关系确定所述至少两个机台中异常的机台的腔体包括：在所述第一编号与所述第二编号相同时，确定所述第一编号对应的机台的腔体异常。可选地，在所述至少两个机台包括一个腔体时，所述根据所述第二编号与第一编号的对应关系确定所述至少两个机台中异常的机台的腔体包括：在所述第二编号包含在所述第一编号中且所述第二编号在所述第一编号中对应的编号为连续编号，确定所述第一编号对应的机台的腔体异常。可选地，所述接收晶圆抽取设备发送的对应至少两台机台的抽取顺序信息包括：接收晶圆抽取设备对应所述至少两台机台中的第一机台发送的第一抽取顺序信息；在所述晶圆按照所述第一抽取顺序信息依次通过所述第一机台后且所述晶圆抽取设备按照所述FOUP编号重新将所述晶圆放置在所述FOUP中时，接收晶圆抽取设备对应所述至少两台机台中的第二机台发送的第二抽取顺序信息。可选地，在所述确定所述第一编号对应的机台的腔体异常后，所述方法还包括：发出提示消息并展示所述第一编号对应的机台的标识信息。根据本专利技术实施例的另一方面，还提供了一种检测设备，包括：接收单元，用于接收晶圆抽取设备发送的对应至少两台机台的抽取顺序信息，其中，所述抽取顺序信息包括所述晶圆抽取设备在晶圆盒FOUP中根据FOUP编号依次抽取晶圆的顺序，所述至少两台机台分别对应不同的抽取顺序信息；获取单元，在所述晶圆按照所述抽取顺序信息依次通过所述至少两台机台的腔体后，根据所述接收单元接收的所述抽取顺序信息获取所述至少两个机台的腔体对应的晶圆在所述FOUP中的第一编号，在所述晶圆通过全部机台后，获取缺陷晶圆在所述FOUP中对应的第二编号；确定
单元，用于根据所述获取单元获取的第二编号与第一编号的对应关系确定所述至少两个机台中异常的机台的腔体。可选地，所述确定单元还包括：第一确定模块，用于若所述至少两个机台包括至少两个腔体，在所述第一编号与所述第二编号相同时，确定所述第一编号对应的机台的腔体异常。可选地，所述确定单元还包括：第二确定模块，用于若所述至少两个机台包括一个腔体，在所述第二编号包含在所述第一编号中且所述第二编号在所述第一编号中对应的编号为连续编号，确定所述第一编号对应的机台的腔体异常。可选地，所述接收单元包括：第一接收模块，用于接收晶圆抽取设备对应所述至少两台机台中的第一机台发送的第一抽取顺序信息；第二接收模块，用于在所述晶圆按照所述第一接收模块接收的第一抽取顺序信息依次通过所述第一机台后且所述晶圆抽取设备按照所述FOUP编号重新将所述晶圆放置在所述FOUP中时，接收晶圆抽取设备对应所述至少两台机台中的第二机台发送的第二抽取顺序信息。可选地，所述装置还包括：提示单元，用于在所述确定单元确定所述第一编号对应的机台的腔体异常后，发出提示消息并展示所述第一编号对应的机台的标识信息。在本专利技术实施例中，检测设备接收晶圆抽取设备发送的对应至少两台机台的抽取顺序信息，并根据该抽取顺序信息获取该至少两个机台的腔体对应的晶圆在该FOUP中的第一编号，在该晶圆通过全部机台后，获取缺陷晶圆在该FOUP中对应的第二编号，根据该第二编号与第一编号的对应关系确定该至少两个机台中异常的机台的腔体，这样，由于不同的机台采用不同的顺序抽取晶圆，从而能够根据缺陷晶圆的编号准确的找到异常机台的腔体。通过本专利技术，解决了无法精确确认异常机台的问题，实现了精确确认发生异常的机台的腔体的效果。附图说明此处所说明的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，构成本申请的一部分，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1是根据本专利技术实施例的一种异常机台的检测方法的流程示意图；图2是根据本专利技术实施例的一种异常机台的检测设备的结构示意图；图3是根据本专利技术实施例的一种可选的异常机台的检测设备的结构示意图；图4是根据本专利技术实施例的另一种可选的异常机台的检测设备的结构示意图；图5是根据本专利技术实施例的第三种可选的异常机台的检测设备的结构示意图；图6是根据本专利技术实施例的第四种可选的异常机台的检测设备的结构示意图。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本专利技术保护的范围。需要说明的是，本专利技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描
述的本专利技术的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。根据本专利技术实施例提供一种异常机台的检测方法，如图1所示，本专利技术的执行主体可以是异常机台的检测设备，该方法可以包括：步骤S101、接收晶圆抽取设备发送的对应至少两台机台的抽取顺序信息。其中，该抽取顺序信息包括该晶圆抽取设备在晶圆盒FOUP中根据FOUP编号依次抽取该晶圆的顺序，该至少两台机台分别对应不同的抽取顺序信息。需要说明的是，该抽取顺序信息可以预先通过控制系统进行设置，该控制系统将设置好的抽取顺序信息下发至对应机台的晶圆抽取设备，晶圆抽取设备则根据该抽取顺序信息抽取通过该机台的晶圆。可选地，接收晶圆抽取本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种异常机台的检测方法，其特征在于，包括：接收晶圆抽取设备发送的对应至少两台机台的抽取顺序信息，其中，所述抽取顺序信息包括所述晶圆抽取设备在晶圆盒FOUP中根据FOUP编号依次抽取晶圆的顺序，所述至少两台机台分别对应不同的抽取顺序信息；在所述晶圆按照所述抽取顺序信息依次通过所述至少两台机台的腔体后，根据所述抽取顺序信息获取所述至少两个机台的腔体对应的晶圆在所述FOUP中的第一编号；在所述晶圆通过全部机台后，获取缺陷晶圆在所述FOUP中对应的第二编号；根据所述第二编号与第一编号的对应关系确定所述至少两个机台中异常的机台的腔体。

【技术特征摘要】
1.一种异常机台的检测方法，其特征在于，包括：接收晶圆抽取设备发送的对应至少两台机台的抽取顺序信息，其中，所述抽取顺序信息包括所述晶圆抽取设备在晶圆盒FOUP中根据FOUP编号依次抽取晶圆的顺序，所述至少两台机台分别对应不同的抽取顺序信息；在所述晶圆按照所述抽取顺序信息依次通过所述至少两台机台的腔体后，根据所述抽取顺序信息获取所述至少两个机台的腔体对应的晶圆在所述FOUP中的第一编号；在所述晶圆通过全部机台后，获取缺陷晶圆在所述FOUP中对应的第二编号；根据所述第二编号与第一编号的对应关系确定所述至少两个机台中异常的机台的腔体。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述至少两个机台包括至少两个腔体时，所述根据所述第二编号与第一编号的对应关系确定所述至少两个机台中异常的机台的腔体包括：在所述第一编号与所述第二编号相同时，确定所述第一编号对应的机台的腔体异常。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述至少两个机台包括一个腔体时，所述根据所述第二编号与第一编号的对应关系确定所述至少两个机台中异常的机台的腔体包括：在所述第二编号包含在所述第一编号中且所述第二编号在所述第一编号中对应的编号为连续编号，确定所述第一编号对应的机台的腔体异常。4.根据权利要求1至3任一项所述的方法，其特征在于，所述接收晶圆抽取设备发送的对应至少两台机台的抽取顺序信息包括：接收晶圆抽取设备对应所述至少两台机台中的第一机台发送的第一抽取顺序信息；在所述晶圆按照所述第一抽取顺序信息依次通过所述第一机台后且所述晶圆抽取设备按照所述FOUP编号重新将所述晶圆放置在所述FOUP中时，接收晶圆抽取设备对应所述至少两台机台中的第二机台发送的第二抽取顺序信息。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述确定所述第一编号对应的机台的腔体异常后，所述方法还包括：发出提示消息并展示所述第一编号对应的机台的标识信息...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘颖奇，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31