一种用于电沉积的搅拌机构制造技术

本实用新型专利技术专利公开了一种用于电沉积的搅拌机构，包括电沉积槽、阴极、阴极移动机构和搅拌机构；所述的搅拌机构包括近阴极搅拌桨、远阴极搅拌桨、近阴极悬挂梁、远阴极悬挂梁和限位座。搅拌机构工作时，水平往复移动梁带动与近阴极悬挂梁和远阴极悬挂梁分别联接的近阴极搅拌桨和远阴极搅拌桨作同步水平往复移动，通过机构中的近阴极搅拌桨和远阴极搅拌桨的双重作用，能使阴极面附近和整个沉积槽中的电解液获得高强度均匀的搅拌效果。此装置极大地改善了沉积层厚度分布均匀性，且结构简单、成本低廉。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及电沉积生产设备
，具体为一种用于电沉积的搅拌机构。
技术介绍
目前，工业生产中，电沉积（包括电镀、电铸）电解液的搅拌大多使用空气搅拌或者阴极移动装置，这两种搅拌方式各有优缺点。一般而言，阴极移动搅拌更容易使阴极面获得均匀的传质分布。但是，阴极移动搅拌的强度一般不高，且对整个电沉积槽的全局搅拌作用比较低，导致沉积速度与厚度分布均匀性普遍不高。主要原因是，常规的阴极移动搅拌只是借助工件（阴极）与电解液间的剪切作用来带动电解液运动。如果工件阴极是平面薄片状，其搅拌作用是非常弱的。尽管至今有多种阴极搅拌装置被开发出来，但仍然未达到十分理想的效果。为此，亟待开发一种兼具阴极搅拌通用优点又能在阴极面附近和整个沉积槽内获得高强度均匀搅拌效果的阴极搅拌机构。
技术实现思路
针对上述问题，本技术的目的是提出一种使阴极获得强度高且分布均匀搅拌作用的阴极搅拌机构。本技术通过如下技术方案实现。一种用于电沉积的搅拌机构，它包括水平往复移动梁、近阴极悬挂梁、近阴极搅拌桨、远阴极悬挂梁、远阴极搅拌桨和限位座；所述的水平往复移动梁设置在电沉积槽上；所述的水平往复移动梁设置在电解槽的上方；所述的近阴极悬挂梁和远阴极悬挂梁均设置在水平往复移动梁上；所述的近阴极悬挂梁和远阴极悬挂梁相对于水平往复移动梁的距离均可调；所述的限位座可滑动地设置在近阴极悬挂梁和远阴极悬挂梁的下端；所述的近阴极搅拌桨可转动地设置在近阴极悬挂梁下端的限位座上；所述的远阴极搅拌桨设置在远阴极悬挂梁下端的限位座上；所述的远阴极搅拌桨距离阴极的距离大于近阴极搅拌桨距离阴极的距离。优选地，所述的近阴极搅拌桨的上端与限位座铰接。优选地，所述的近阴极搅拌桨可绕自身轴线转动-45°~45°。优选地，所述的近阴极搅拌桨的截面形状为“”形。优选地，所述的近阴极搅拌桨的数量为3~8个。优选地，所述的远阴极搅拌桨的数量为2~6个。优选地，所述的近阴极搅拌桨上沿轴线方向等间隔4mm开设有直径为2mm通孔。优选地，所述的近阴极搅拌桨和远阴极搅拌桨均为耐化学腐蚀的电绝缘搅拌桨。具体材料可为聚丙烯、聚氯乙烯等。本技术所涉及的机构的工作原理为：水平往复移动梁在外力作用下做水平往复运动时，带动与近阴极悬挂梁和远阴极悬挂梁分别联接的的近阴极搅拌桨和远阴极搅拌桨作同步水平往复移动，这样，阴极附近的电解液由于近阴极搅拌桨的机械搅拌作用而快速流动起来，而位于电沉积槽阴极与阳极之间的电解液也因为远阴极搅拌桨的搅拌作用而运动起来，从而使得阴极附近和整个沉积槽的电解液在电沉积过程中都能获得良好的搅拌效果。加之，具有良好流动力学特性的截面形状为“”形的近阴极搅拌桨在工作过程中，相对于电解液的移动速度基本相同，从而能给阴极面电解液施加几乎相同的搅拌作用，因此，阴极附近的电解液流场分布相对比较均匀。工作时，近阴极悬挂梁和远阴极悬挂梁可根据工艺需要调整相对于水平往复移动梁的距离进而改变近阴极搅拌桨相对于阴极面的距离或远阴极搅拌桨在沉积槽中的位置，以使阴极或（和）整个沉积槽获得不同的搅拌效果。此外，能相对于自身轴线转动-45°~45°的近阴极搅拌桨可随水平往复移动梁移动方向的改变而在电解液流动阻力的作用下而转动，以减小它对来自阳极的电力线的屏蔽作用，而且近阴极搅拌桨上的通孔也便于电力线到达阴极。本技术相比现有技术具有以下优点：1、结构简单、成本低廉：仅需在现有的阴极移动搅拌装置加设远、近阴极搅拌结构就可实现，且无需额外的动力源系统。2、获得高强度均匀的搅拌效果：通过机构中的近阴极搅拌桨和远阴极搅拌桨的双重作用，能使阴极面附近和整个沉积槽中的电解液都能获得高强度均匀的搅拌效果。附图说明图1是本技术用于电沉积的搅拌机构的结构示意图；图2是本技术用于电沉积的搅拌机构的近阴极搅拌桨和限位座的连接关系示意图。图中：1、水平往复移动梁；2、电镀槽；3、近阴极悬挂梁；4、限位座；5、近阴极搅拌桨；501、近阴极搅拌桨的轴线；502、通孔；6、阴极；7、远阴极搅拌桨；8远阴极悬挂梁。具体实施方式下面结合图1和图2对本技术的实施做进一步的详细说明：一种用于电沉积的搅拌机构，它包括水平往复移动梁1、近阴极悬挂梁3、近阴极搅拌桨5、远阴极悬挂梁8、远阴极搅拌桨7和限位座4；水平往复移动梁1设置在电解槽2的上方；近阴极悬挂梁3和远阴极悬挂梁8均用螺栓固定于水平往复移动梁1上；近阴极悬挂梁3靠近水平往复移动梁1，近阴极悬挂梁3和远阴极悬挂梁8的间距为40mm；限位座4可通过螺栓固定于近阴极悬挂梁3和远阴极悬挂梁8的下端；近阴极搅拌桨5的上端通过滚动轴承与限位座4装配联接，使得它能以自身轴线501为旋转轴做旋转运动，旋转角度受限位座4底部凹腔的限位作用而局限在-45°~45°范围内。近阴极搅拌桨5的截面形状为“”形。近阴极搅拌桨5的数量为3个。远阴极搅拌桨7的数量为2个。近阴极搅拌桨5上沿轴线501方向等间隔4mm开设有直径为2mm通孔502。近阴极搅拌桨5和远阴极搅拌桨7的材质均为耐化学腐蚀的聚丙烯材料。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于电沉积的搅拌机构，其特征在于：它包括水平往复移动梁（1）、近阴极悬挂梁（3）、近阴极搅拌桨（5）、远阴极悬挂梁（8）、远阴极搅拌桨（7）和限位座（4）；所述的水平往复移动梁（1）设置在电沉积槽（2）上，所述的近阴极悬挂梁（3）和远阴极悬挂梁（8）均设置在水平往复移动梁（1）上；所述的近阴极悬挂梁（3）和远阴极悬挂梁（8）相对于水平往复移动梁（1）的距离均可调；所述的限位座（4）可滑动地设置在近阴极悬挂梁（3）和远阴极悬挂梁（8）的下端；所述的近阴极搅拌桨（5）可转动地设置在近阴极悬挂梁（3）下端的限位座（4）上；所述的远阴极搅拌桨（7）设置在远阴极悬挂梁（8）下端的限位座（4）上。

【技术特征摘要】
1.一种用于电沉积的搅拌机构，其特征在于：它包括水平往复移动梁（1）、近阴极悬挂梁（3）、近阴极搅拌桨（5）、远阴极悬挂梁（8）、远阴极搅拌桨（7）和限位座（4）；所述的水平往复移动梁（1）设置在电沉积槽（2）上，所述的近阴极悬挂梁（3）和远阴极悬挂梁（8）均设置在水平往复移动梁（1）上；所述的近阴极悬挂梁（3）和远阴极悬挂梁（8）相对于水平往复移动梁（1）的距离均可调；所述的限位座（4）可滑动地设置在近阴极悬挂梁（3）和远阴极悬挂梁（8）的下端；所述的近阴极搅拌桨（5）可转动地设置在近阴极悬挂梁（3）下端的限位座（4）上；所述的远阴极搅拌桨（7）设置在远阴极悬挂梁（8）下端的限位座（4）上。2.根据权利要求1所述的一种用于电沉积的搅拌机构，其特征在于：所述的近阴极搅拌桨（5）的上端与限位座（4）铰接。3.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈东海，张艳华，明平美，陈丹佛，赵云龙，李欣潮，陈月涛，赵晨昊，秦歌，
申请(专利权)人：河南理工大学，
类型：新型
国别省市：河南;41