直接描画装置用的GUI装置、直接描画系统、描画区域设定方法以及记录介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种直接描画装置用的GUI装置、直接描画系统、描画区域设定方法以及程序，能够用很少的工作量且直观地设定圆形状的基板上的圆弧带状区域作为直接描画装置的描画区域或者非描画区域。在GUI装置的画面(7)所示的输入区域(90)中的区域(92)中输入与圆弧带状区域的圆周方向的长度关联的角度信息，在区域(93)中输入从基板的中心到圆弧带状区域的长度信息，在区域(94)中输入圆弧带状区域在径向上的宽度信息，来设定应该利用直接描画装置进行描画的圆弧带状区域。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种在形成有光致抗蚀剂膜的基板上描画布线图案等的直接描画装置所使用的图形用户界面(Graphical User Interface)装置(GUI装置)。
技术介绍
以往，向半导体基板、印刷布线基板、玻璃基板等各种各样的基板照射透过光掩模的光，由此来形成图案。近年来，为了应对形成各种各样的图案，而采用如下一种技术，即，不必使用光掩模，向基板直接照射被空间调制过的光来描画图案，并进行曝光处理。如上述，进行曝光处理的曝光装置被称为直接描画装置，例如在专利文献1中记载有直接描画装置所使用的GUI装置(例如，专利文献1中的第0054段以及图3)。该GUI装置在以在圆形状的基板上的大致整面的范围内设定的多个块(block)为单位来设定描画参数等曝光条件时等使用。该块呈矩形状，在基板上沿着行方向以及列方向排列。换言之，多个块在基板上配置成矩阵状。另外，例如，在专利文献2中记载有一种在基板的端部对应该形成电镀用电极的圆弧带状区域进行曝光处理的技术(例如，专利文献2中的第0029段以及图17)。除了电镀用电极以外，在基板的端部还设定有已经通过激光雕刻等形成有序列号等的圆弧带状的编号区域，也需要考虑该圆弧带状区域来进行曝光处理。现有技术文献专利文献专利文献1：JP特开2013-77718号公报专利文献2：JP特开2005-5462号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题图17示出应该在圆形状的基板W的端部沿着周缘形成8个电镀用电极的圆弧带状区域E1～E8。在利用直接描画装置对这些圆弧带状区域E1～E8进行描画处理的情况下，需要在GUI装置中将圆弧带状区域E1～E8的位置设定为描画区域或者非描画区域。例如，考虑一种方法，在利用GUI装置指定一个圆弧带状区域E1的情况下，指定位于圆弧带状区域E1的四角的位置P1、位置P2、位置P3以及位置P4各自的二维坐标值(x1，y1)、(x2，y2)、(x3，y3)以及(x4，y4)。在这种方法中存在如下问题，由于各坐标值有两个信息，所以共计需要向GUI装置输入8个信息，导致设定工作量增大。另外，在操作者如上述使用GUI装置输入圆弧带状区域的四角的坐标值时，还会产生难以直观地知道圆弧带状区域在圆形状的基板上的位置和范围的其他问题。例如，若基板呈矩形状，则容易直观地利用二维坐标值来设定带状区域，但是若基板是圆形状，则并不容易直观地利用二维坐标来掌握圆弧带状区域。鉴于如上述的问题，本专利技术的目的在于，提供一种直接描画装置用的GUI装置、直接描画系统、描画区域设定方法以及程序，能够以较少的工作量且直观地将圆形状的基板上的圆弧带状区域设定为该直接描画装置的描画区域或者非描画区域。用于解决问题的手段第1专利技术是一种直接描画装置用的GUI装置，所述直接描画装置对在圆形状的基板的表面上形成的光致抗蚀剂膜描画图案，所述GUI装置用于将基板内的圆弧带状区域设定为描画区域或者非描画区域，其特征在于，具有：显示部，具有画面，操作部，操作所述显示部的所述画面，显示控制部，控制所述显示部的画面显示；所述显示控制部具有：周信息输入部，在所述显示部的所述画面上显示用于输入与圆弧带状区域的圆周方向的长度关联的信息的输入区域，径信息输入部，在所述显示部的所述画面上显示用于输入在基板的径向上的圆弧带状区域的位置信息的输入区域，宽度信息输入部，在所述显示部的所述画面上显示用于输入圆弧带状区域在径向上的宽度信息的输入区域，描画指示输入部，在所述显示部的所述画面上显示用于输入圆弧带状区域为描画区域或者非描画区域中的哪一个的输入区域，该圆弧带状区域由所述径信息输入部、所述周信息输入部以及所述宽度信息输入部设定，确认显示部，在显示部的画面上显示基板外形和所述圆弧带状区域，所述圆弧带状区域基于利用操作部分别输入到所述径信息输入部、所述周信息输入部、所述宽度信息输入部以及所述描画指示输入部的信息来设定。第2专利技术在第1专利技术的基础上，所述显示控制部将所述周信息输入部、所述径信息输入部、所述宽度信息输入部以及所述描画指示输入部作为一个组合，在显示部的画面上显示用于沿着周向以该组合依次输入各信息的输入区域。第3专利技术在第1专利技术或第2专利技术的基础上，所述周向输入部在所述显示部的所述画面上显示用于输入角度的数值的输入区域或者用于输入圆弧的长度尺寸的输入区域，该角度的数值和该圆弧的长度尺寸为与圆弧带状区域的圆周方向的长度关联的信息。第4专利技术是在第1专利技术～第3专利技术中任一项专利技术的基础上，所述宽度信息输入部在所述显示部的所述画面上显示用于在径向上的多个范围分别输入宽度信息的多个输入区域。第5专利技术(直接描画系统)具有：第1专利技术～第4专利技术中的任一项的GUI装置，直接描画装置，对所述光致抗蚀剂膜扫描被空间调制过的光束来描画图案。第6专利技术是一种描画区域设定方法，利用具有显示部以及操作部的GUI装置，来设定圆弧带状区域，该圆弧带状区域为应该由直接描画装置进行描画的描画区域或者不描画的非描画区域，其特征在于，包括：输入画面显示工序，在所述显示部的画面上显示：用于输入与圆弧带状区域的圆周方向的长度关联的信息的输入区域、用于输入在基板的径向上的位置信息的输入区域、用于输入圆弧带状区域在径向上的宽度信息的输入区
域以及用于输入圆弧带状区域是描画区域或者非描画区域中的哪一个的信息的输入区域，信息输入工序，利用所述操作部向通过所述输入画面显示工序在所述显示部的所述画面上显示的各输入区域分别输入各信息，确认显示工序，在所述显示部的所述画面上显示基板外形以及基于通过所述信息输入工序输入的各信息设定的圆弧带状区域。第7专利技术在第6专利技术的基础上，在周向上显示有多个通过所述输入画面显示工序显示的各输入区域的组合，所述信息输入工序是沿着周向针对每个各输入区域的组合依次输入各信息的工序。第8专利技术是一种程序，直接描画装置用的GUI装置所具有的计算机能够读取，所述直接描画装置对在圆形状的基板的表面形成的光致抗蚀剂膜描画图案，所述GUI装置用于将基板内的圆弧带状区域设定为描画区域或者非描画区域，其特征在于，使计算机发挥如下的功能：周信息输入区域的显示功能，在所述GUI装置所具有的显示部的画面上显示用于输入与圆弧带状区域的圆周方向的长度关联的信息的输入区域，径信息输入区域的显示功能，在所述GUI装置所具有的显示部的画面上显示用于输入在基板的径向上的圆弧带状区域的位置信息的输入区域，宽度信息输入区域的显示功能，在所述GUI装置所具有的显示部的画面上显示用于输入圆弧带状区域在径向上的宽度信息的输入区域，描画指示输入区域的显示功能，在所述GUI装置所具有的显示部的画面上显示用于输入由所述径信息输入部、所述周信息输入部以及所述宽度信息输入部设定的圆弧带状区域是描画区域或者非描画区域中的哪一个的信息的输入区域，确认显示功能，在所述GUI装置所具有的显示部的画面上显示基板外形和所述圆弧带状区域，所述圆弧带状区域基于利用所述GUI装置所具有的操作部分别输入到所述径信息输入区域、所述周信息输入区域、所述宽度信息输入区域以及所述描画指示输入区域的信息来设定。第9专利技术在第8专利技术的基础上，使计算机发挥如下功能：以所述径信息输入区域、所述周信息输入区域、所述宽度信息输入区域以及所述描画指示输入区域作为一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种直接描画装置用的GUI装置，所述直接描画装置对在圆形状的基板的表面上形成的光致抗蚀剂膜描画图案，所述GUI装置用于将基板内的圆弧带状区域设定为描画区域或者非描画区域，其特征在于，具有：显示部，具有画面，操作部，操作所述显示部的所述画面，显示控制部，控制所述显示部的画面显示；所述显示控制部具有：周信息输入部，在所述显示部的所述画面上显示用于输入与圆弧带状区域的圆周方向的长度关联的信息的输入区域，径信息输入部，在所述显示部的所述画面上显示用于输入在基板的径向上的圆弧带状区域的位置信息的输入区域，宽度信息输入部，在所述显示部的所述画面上显示用于输入圆弧带状区域在径向上的宽度信息的输入区域，描画指示输入部，在所述显示部的所述画面上显示用于输入圆弧带状区域为描画区域或者非描画区域中的哪一个的输入区域，该圆弧带状区域由所述径信息输入部、所述周信息输入部以及所述宽度信息输入部设定，确认显示部，在显示部的画面上显示基板外形和所述圆弧带状区域，所述圆弧带状区域基于利用操作部分别输入到所述径信息输入部、所述周信息输入部、所述宽度信息输入部以及所述描画指示输入部的信息来设定。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.02.27 JP 2014-0365131.一种直接描画装置用的GUI装置，所述直接描画装置对在圆形状的基板的表面上形成的光致抗蚀剂膜描画图案，所述GUI装置用于将基板内的圆弧带状区域设定为描画区域或者非描画区域，其特征在于，具有：显示部，具有画面，操作部，操作所述显示部的所述画面，显示控制部，控制所述显示部的画面显示；所述显示控制部具有：周信息输入部，在所述显示部的所述画面上显示用于输入与圆弧带状区域的圆周方向的长度关联的信息的输入区域，径信息输入部，在所述显示部的所述画面上显示用于输入在基板的径向上的圆弧带状区域的位置信息的输入区域，宽度信息输入部，在所述显示部的所述画面上显示用于输入圆弧带状区域在径向上的宽度信息的输入区域，描画指示输入部，在所述显示部的所述画面上显示用于输入圆弧带状区域为描画区域或者非描画区域中的哪一个的输入区域，该圆弧带状区域由所述径信息输入部、所述周信息输入部以及所述宽度信息输入部设定，确认显示部，在显示部的画面上显示基板外形和所述圆弧带状区域，所述圆弧带状区域基于利用操作部分别输入到所述径信息输入部、所述周信息输入部、所述宽度信息输入部以及所述描画指示输入部的信息来设定。2.如权利要求1所述的直接描画装置用的GUI装置，其特征在于，所述显示控制部将所述周信息输入部、所述径信息输入部、所述宽度信息输入部以及所述描画指示输入部作为一个组合，在显示部的画面上显示用于沿着周向以该组合依次输入各信息的输入区域。3.如权利要求1或2所述的直接描画装置用的GUI装置，其特征在于，所述周向输入部在所述显示部的所述画面上显示用于输入角度的数值的输入区域或者用于输入圆弧的长度尺寸的输入区域，该角度的数值和该圆弧的长度尺寸为与圆弧带状区域的圆周方向的长度关联的信息。4.如权利要求1～3中任一项所述的直接描画装置用的GUI装置，其特
\t征在于，所述宽度信息输入部在所述显示部的所述画面上显示用于在径向上的多个范围分别输入宽度信息的多个输入区域。5.一种直接描画系统，其特征在于，具有：权利要求1～4中任一项所述的GUI装置，直接描画装置，对所述光致抗蚀剂膜扫描被空间调制过的光束来描画图案。6.一种描画区域设定方法，利用具有显示部以及操作部的GUI装置来设定圆弧带状区域，该圆弧带状区域为应该由直接描画装置进行描画的描画区域或者不描画的非描画区域，其特征在于，包括：输入画面显示工序，在所述显示部的画面上显示用于输入与圆弧带状区域的圆周方向的长度关联的信息的输入区域、用于输入在基板的径向上的位置信息的输入区域、用于输入圆...

【专利技术属性】
技术研发人员：古川至，中井一博，北村清志，
申请(专利权)人：株式会社思可林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP