一种实现高真空隔离的升降限位机构制造技术

本发明专利技术公开了一种实现高真空隔离的升降限位机构，包括有真空腔体，真空腔体内竖直设有固定导轨，固定导轨上设有上、下两个限位块，真空腔体外部设有动力设备，动力设备连接动力设备电源，动力设备电源与动力设备控制机柜连接，动力设备通过钢丝绳连接提升杆，提升杆自上至下伸入至真空腔体内，提升杆的下端设有待提升物体，待提升物体靠近固定导轨的一侧设有上、下两个限位开关，两个限位开关的控制线路通过安装在真空腔体上的航空接头连接至位于真空腔体外的动力设备控制机柜。本发明专利技术能够有效地实现高真空隔离，准确地实现上下移动限位，且使用设备简单方便可靠，克服了内外高真空过渡带来的一系列问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种升降限位机构，具体涉及一种实现高真空隔离的升降限位机构。
技术介绍
目前，提升物体有多种方式：或利用蜗轮蜗杆机构，或利用衍架结构，亦或是定滑轮或者动滑轮机构。但对处于高真空腔体内部件的升降和定位，需克服真空泄露、内高真空被破坏、内高真空带来的外壁凝水甚至结冰等一系列问题，已有普通提升机构难以解决上述难题。
技术实现思路
针对高真空腔体内物体的升降和准确限位问题，本专利技术提供了一种实现高真空隔离的升降限位机构，该装置不仅能够实现对高真空腔体内物体的准确升降限位，而且能够克服内外高真空过渡带来的一系列问题。为实现本专利技术的目的，具体技术方案如下： 一种实现高真空隔离的升降限位机构，其特征在于：包括有真空腔体，真空腔体内竖直设有固定导轨，固定导轨上设有上、下两个限位块，真空腔体外部设有动力设备，动力设备连接动力设备电源，动力设备电源与动力设备控制机柜连接，动力设备通过钢丝绳连接提升杆，提升杆自上至下伸入至真空腔体内，提升杆的下端设有待提升物体，待提升物体靠近固定导轨的一侧设有上、下两个限位开关，两个限位开关的控制线路通过安装在真空腔体上的航空接头连接至位于真空腔体外的动力设备控制机柜。 所述的实现高真空隔离的升降限位机构，其特征在于：所述提升杆中间偏下侧焊接有波纹管，波纹管外壁处于高真空环境中、内壁处于大气环境中，波纹管另一端焊接在真空室腔体上。 所述的实现高真空隔离的升降限位机构，其特征在于：所述波纹管的伸缩行程至少为待提升物体升降所需距离。 所述的实现高真空隔离的升降限位机构，其特征在于：所述波纹管内设有氮气供气管路，氮气供气管路一端伸入到波纹管内壁形成的腔体底部，保证腔体内充满常温氮气，防止波纹管外壁面温度低于露点温度使内壁中水汽凝水甚至结冰，氮气供气管路另一端连接氮气源。 所述的高真空隔离状态下使用的升降限位机构，其特征在于：所述动力设备利用钢丝绳带动与之相连的提升杆上的待提升物体上下移动。所述的高真空隔离状态下使用的升降限位机构，其特征在于：所述待提升物体上下移动时，限位块触动限位开关，限位开关的触点信号通过控制线路与动力设备控制机柜相连，进而对所述动力设备电源进行控制，通过实现动力设备的启停，实现物体在真空腔体内的升降运行和准确限位。本专利技术的工作原理是：本专利技术利用动力设备实现真空腔体内部物体的提升，利用波纹管进行高真空隔离，且在波纹管的腔体内充入常温氮气，氮气供气管路伸入到波纹管内壁形成的腔体底部，利用限位开关的信号反馈控制动力设备的启停实现准确限位；动力设备通过钢丝绳带动提升杆上的物体匀速缓慢移动，当待提升物体到达上下限位时，波纹管被压缩或被拉伸到极限工况，限位开关触碰到固定在真空腔体内部的限位块启动触点，同时发出触点信号，触点信号所在的控制线路通过在真空腔体上安装的航空接头传递到真空室外的动力设备控制机柜内，准确地实现对动力设备的控制，断开动力设备电源，从而实现物体在真空腔体内精准限位。与现有的技术相比，本专利技术的有益效果为：1、本专利技术将动力设备和控制终端外置在大气环境中，可以在外界为大气压、内部为高真空的条件下可靠使用，不影响高真空环境，使运行和控制精确稳定。2、用于真空隔离的波纹管形成的腔体内通入常温氮气进行保护可以有效地缓解内高真空带来的外壁凝水甚至结冰的问题，提高了波纹管的使用寿命。3、利用航空接头实现高真空和外部环境中控制线路的连通，便于拆卸，方便可靠。4、利用限位开关的信号反馈控制动力设备的启停，使限位更加可靠准确。附图说明图1是本专利技术升降机构上移至上限位时的结构示意图。图2是本专利技术升降机构达到下限位时的结构示意图。图中标号：1.真空腔体，2.动力设备，3.动力设备电源，4.待提升物体，5.氮气源及供气管路，6.提升杆，7.波纹管，8.限位开关及其控制线路，9.限位块，10.航空接头，11. 动力设备控制机柜，12.钢丝绳。具体实施方式下面通过具体的实施例并结合附图1-2对本专利技术进行详细说明。如图1、2所示，一种实现高真空隔离的升降限位机构，包括提升杆6、波纹管7、氮气源及供气管路5、动力设备2、动力设备控制机柜11、限位块9、限位开关及其控制线路8，提升杆6一端悬挂待提升物体4、另一端通过钢丝绳12和动力设备2连接，提升杆6中间偏下侧焊接有波纹管7；波纹管7用于真空隔离，外壁处于高真空环境，内壁处于大气环境中，波纹管7另一端焊接在真空腔体1上，从而实现待提升物体4和提升杆6外部的真空隔离，波纹管7内壁形成的腔体内通过氮气源及供气管路5通入常温氮气进行保护，波纹管7的压缩行程至少为物体升降所需距离；氮气供气管路需伸入到波纹管7内壁形成的腔体底部，保证腔体内充满常温氮气，氮气源内持续提供常温氮气；动力设备2固定在真空腔体1外部，与提升杆6之间通过钢丝绳12进行软连接，动力设备2带动钢丝绳12旋转进而拉动提升杆6上待提升物体4运行，动力设备2的启动和停止通过控制线连接动力设备控制机柜11进行控制；限位结构分成限位开关8和固定在真空腔体1内侧的限位块9，限位块9安装固定在上、下限位处，限位开关8固定在待提升物体4上，限位开关8上连接的控制线路与真空腔体1上固定的航空接头10相连，航空接头10在大气环境中的另一端通过测量线连接到动力设备控制机柜11上，三者构成一个完整的信号测量反馈控制回路，当到达限定位置的限位块9处，触动限位开关8，限位开关8所处的连锁反馈系统对动力设备2的运行进行控制，从而准确实现物体在真空腔体1内的升降运行和准确限位。在图1中，氮气源及供气管路5持续向波纹管7腔体中注入氮气对其进行保护，动力设备2通过钢丝绳12带动提升杆6上的待提升物体4匀速缓慢向上限位移动，当物体到达上限位置时，波纹管7被压缩到最小工况，限位开关8触碰到固定在真空腔体1内部的限位块9启动触点，同时发出触点信号，触点信号所在的控制线路通过在真空腔体1上安装的航空接头10传递到真空腔体1外的动力设备控制机柜11内，准确地实现对动力设备2的控制，断开动力设备电源3，从而实现物体在真空腔体1内准确限位。在图2中，氮气源及供气管路5持续向波纹管7腔体中注入氮气对其进行保护，动力设备8通过钢丝绳12带动提升杆6上的待提升物体4从上限位匀速缓慢地向下限位位置移动。开启动力设备电源3的同时，限位开关8离开限位块9，触点恢复成正常状态。当物体到达下限位置时，波纹管7被拉伸到最大工况，限位开关8触碰到固定在真空腔体1内的下限位限位块9从而启动触点，同时发出触点信号，触点信号所在的控制线路通过在真空腔体1上安装的航空接头10传递到真空腔体1外的动力设备控制机柜11内，准确地实现对动力设备2的控制，断开动力设备电源3，从而实现物体在真空腔体1内准确限位。综上所述，本专利技术一种实现高真空隔离的升降结构，能够较好地实现对高真空腔体内物体的升降和准确限位，克服内外高真空过渡带来的一系列问题。本专利技术有效克服了现有技术中的一些实际问题，具有很高的利用价值和实用意义。上述实施方式仅示例性说明本专利技术的原理及其功效，而非用于限制本专利技术。本专利技术还有很多芳名可以在不违背总体思想的前提下进行改进，对于熟悉此技术的人士皆可在不违背本专利技术的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变，因此，举凡所属技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种实现高真空隔离的升降限位机构，其特征在于：包括有真空腔体，真空腔体内竖直设有固定导轨，固定导轨上设有上、下两个限位块，真空腔体外部设有动力设备，动力设备连接动力设备电源，动力设备电源与动力设备控制机柜连接，动力设备通过钢丝绳连接提升杆，提升杆自上至下伸入至真空腔体内，提升杆的下端设有待提升物体，待提升物体靠近固定导轨的一侧设有上、下两个限位开关，两个限位开关的控制线路通过安装在真空腔体上的航空接头连接至位于真空腔体外的动力设备控制机柜。

【技术特征摘要】
1.一种实现高真空隔离的升降限位机构，其特征在于：包括有真空腔体，真空腔体内竖直设有固定导轨，固定导轨上设有上、下两个限位块，真空腔体外部设有动力设备，动力设备连接动力设备电源，动力设备电源与动力设备控制机柜连接，动力设备通过钢丝绳连接提升杆，提升杆自上至下伸入至真空腔体内，提升杆的下端设有待提升物体，待提升物体靠近固定导轨的一侧设有上、下两个限位开关，两个限位开关的控制线路通过安装在真空腔体上的航空接头连接至位于真空腔体外的动力设备控制机柜。2.根据权利要求1所述的实现高真空隔离的升降限位机构，其特征在于：所述提升杆中间偏下侧焊接有波纹管，波纹管外壁处于高真空环境中、内壁处于大气环境中，波纹管另一端焊接在真空室腔体上。3.根据权利要求2所述的实现高真空隔离...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶玲，谢远来，胡纯栋，宋士花，杨思皓，邑伟，
申请(专利权)人：中国科学院等离子体物理研究所，
类型：发明
国别省市：安徽;34